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丁海涛

作品数：16 被引量：3H指数：1
供职机构：北京大学更多>>
发文基金：国家自然科学基金更多>>
相关领域：电子电信自动化与计算机技术生物学更多>>

合作作者

文献类型

  • 11篇专利
  • 3篇学位论文
  • 2篇期刊文章

领域

  • 3篇电子电信
  • 2篇自动化与计算...
  • 1篇生物学

主题

  • 7篇锚点
  • 6篇电容
  • 5篇音叉
  • 5篇水平轴
  • 4篇电容式
  • 4篇陀螺
  • 3篇角速度
  • 2篇单片
  • 2篇弹性梁
  • 2篇蛋白
  • 2篇倒装焊
  • 2篇多触点
  • 2篇圆片
  • 2篇真空封装
  • 2篇振动
  • 2篇深刻蚀
  • 2篇双解
  • 2篇锁存
  • 2篇氢氟酸
  • 2篇微电子

机构

  • 16篇北京大学

作者

  • 16篇丁海涛
  • 13篇杨振川
  • 13篇闫桂珍
  • 9篇郭中洋
  • 9篇赵前程
  • 7篇刘雪松
  • 7篇林龙涛
  • 5篇崔健
  • 2篇刘晔
  • 2篇郝一龙
  • 2篇迟晓珠
  • 1篇张美丽

传媒

  • 1篇Journa...
  • 1篇电子学报

年份

  • 2篇2011
  • 6篇2010
  • 2篇2009
  • 3篇2008
  • 1篇2007
  • 1篇2006
  • 1篇2003
共 16 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
一种微电子机械系统圆片级真空封装及倒装焊方法
本发明涉及一种微电子机械系统的圆片级真空封装及倒装焊方法，它包括如下步骤：对盖帽玻璃片进行打孔，但不打通；在盖帽玻璃片未打引线孔的一侧溅射钨(或铬)和金，并进行光刻和腐蚀，形成掩膜；用氢氟酸腐蚀玻璃腔体，同时将未穿通的引...
丁海涛杨振川郭中洋迟晓珠赵前程郝一龙闫桂珍
文献传递
一种采用静电平衡梳齿驱动器的水平轴微机械音叉陀螺
本发明涉及一种采用静电平衡梳齿驱动器的水平轴微机械音叉陀螺，它包括衬底、一组以上的驱动电容、两检测质量块、驱动折叠梁、框架、一组以上的检测电容、检测折叠梁和锚点；每组驱动电容的一侧与相邻的检测质量块连接，检测质量块通过驱...
郭中洋杨振川赵前程林龙涛刘雪松丁海涛崔健闫桂珍
文献传递
反应离子深刻蚀中加强热传递和抑制Notching效应的方法被引量：2
2010年
提出了一种在反应离子深刻蚀中既可以加强热传递又可以抑制notching效应的方法,尤其适用于含有细长梁结构的刻蚀.通过在硅结构的下表面溅射一薄层金属,以加强刻蚀过程中产生的热量的消散,降低了硅结构的温度.用有限元仿真和实验分别验证了该方法的有效性.同时,金属层也抑制了刻蚀离子所带电荷在绝缘介质层上的积累,防止了自建电场的产生,抑制了notching效应.该方法通过扫描电子显微镜的测量也得到了实验验证.加工了一个SOI梳齿驱动器,检验了本方法的有效性和适应性.
丁海涛杨振川闫桂珍
关键词：反应离子深刻蚀热传递
一种微电子机械系统圆片级真空封装及倒装焊方法
本发明涉及一种微电子机械系统的圆片级真空封装及倒装焊方法，它包括如下步骤：对盖帽玻璃片进行打孔，但不打通；在盖帽玻璃片未打引线孔的一侧溅射钨(或铬)和金，并进行光刻和腐蚀，形成掩膜；用氢氟酸腐蚀玻璃腔体，同时将未穿通的引...
丁海涛杨振川郭中洋迟晓珠赵前程郝一龙闫桂珍
文献传递
一种电容式水平轴微机械音叉陀螺
本发明涉及一种电容式水平轴微机械音叉陀螺，其特征在于：它包括衬底，锚点，检测折叠梁，框架，驱动折叠梁，检测质量块，驱动梳齿电容及检测梳齿电容；驱动梳齿电容和检测梳齿电容分别包括可动电极和固定电极；锚点，检测折叠梁，框架，...
郭中洋杨振川赵前程林龙涛刘雪松丁海涛崔健闫桂珍
文献传递
一种电容式水平轴微机械音叉陀螺
本发明涉及一种电容式水平轴微机械音叉陀螺，其特征在于：它包括衬底，锚点，检测折叠梁，框架，驱动折叠梁，检测质量块，驱动梳齿电容及检测梳齿电容；驱动梳齿电容和检测梳齿电容分别包括可动电极和固定电极；锚点，检测折叠梁，框架，...
郭中洋杨振川赵前程林龙涛刘雪松丁海涛崔健闫桂珍
文献传递
一种水平轴微机械音叉陀螺
本发明涉及一种水平轴微机械音叉陀螺，它包括衬底，衬底上，固定驱动梳与驱动电极为欧姆接触，且都与衬底固定连接；可动驱动梳的一侧通过驱动折叠梁连接框架，框架通过检测折叠梁连接固定在衬底上的锚点，另一侧固定连接敏感质量块；敏感...
郭中洋杨振川赵前程林龙涛刘雪松丁海涛崔健闫桂珍
文献传递
一种微机械锁存开关装置
本发明提供了一种微机械锁存开关装置，由衬底、锚点、触头、挠性梁、检测质量块组成，其中，触头包括：顶触头、动触头和侧触头，所述侧触头分别位于所述动触头的两侧；挠性梁包括：顶触头挠性梁、动触头挠性梁、侧触头挠性梁以及检测挠性...
郭中洋杨振川赵前程林龙涛丁海涛闫桂珍
文献传递
基于sigma-delta调制器的闭环检测微机械陀螺研究
论文在充分调研国内外微机械陀螺研究的基础上，对当前国际上比较有代表性的微机械陀螺进行了分类总结，并对实现高精度微机械陀螺的技术途径提出了自己的看法，确定了本文的研究主题和路线--机械结构设计、工艺加工和信号检测技术三个方...
丁海涛
凋亡小体和纤连蛋白在诱导血管钙化中的作用
丁海涛
关键词：血管钙化平滑肌细胞凋亡小体纤连蛋白信号传导通路
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