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齐国生
作品数:
97
被引量:210
H指数:8
供职机构:
清华大学
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合作作者
徐端颐
清华大学机械工程学院精密仪器与...
蒋培军
清华大学机械工程学院精密仪器与...
钱坤
清华大学机械工程学院精密仪器与...
范晓冬
清华大学机械工程学院精密仪器与...
沈全洪
清华大学机械工程学院精密仪器与...
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1篇
1995
1篇
1994
1篇
1991
3篇
1988
共
97
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投影光刻机自动对准系统的实验研究
齐国生
年有权
徐振明
关键词:
光学投影系统
半导体工艺
大规模集成电路
光刻机
用于数字彩色多层多阶光盘读写的合光装置
本发明涉及一种用于数字彩色多层多阶光盘读写的合光装置,包括激光器和合光器,合光器由准直透镜和合光棱镜等组成,由激光器发出的光经准直透镜准直后从合光棱镜的另一面射出后成同轴平行光束,多波长同轴平行光束用于彩色多层多阶光盘的...
徐端颐
齐国生
巩马理
阎平
廖宁放
文献传递
阵列式光探针扫描集成电路光刻系统中的对准方法及其装置
本发明涉及一种阵列式光探针扫描集成电路光刻系统中的对准方法和装置,首先根据电路图形确定关键点,将电路图形的区别特征进行编码,并刻写在硅片上,设置一对校准图形,使校准图形位于电路图形处,校准图形由校准子图形组成。根据图形关...
徐端颐
齐国生
钱坤
李庆祥
范晓冬
蒋培军
文献传递
自动对准投影光刻机结构原理及设计
徐振明
齐国生
廖艳姣
关键词:
光学投影系统
半导体工艺
大规模集成电路
光刻机
基于圆形假设和多边形近似的血细胞图像分解
被引量:11
2003年
提供了一种用于分解有粘连的二值血细胞图像的算法。这种算法在分解中利用多边形近似寻找出所有可能的分割线,结合血细胞是圆形的假设确定最佳分割线。在与其它两种图像分解算法的比较中表明,这种算法具有较好的分解结果,并且在多个细胞粘连的情况下可以对细胞进行更好的分解。
齐国生
叶丹
洪强宁
徐端颐
关键词:
二值图像
图像分割
阵列式光探针扫描集成电路光刻系统中的对准装置
本发明涉及一种阵列式光探针扫描集成电路光刻系统中的对准方法和装置,首先根据电路图形确定关键点,将电路图形的区别特征进行编码,并刻写在硅片上,设置一对校准图形,使校准图形位于电路图形处,校准图形由校准子图形组成。根据图形关...
徐端颐
齐国生
钱坤
李庆祥
范晓冬
蒋培军
文献传递
高密度母盘刻录系统
李玉和
李庆祥
齐国生
赵大鹏
訾艳阳
蒋培军
李晟
范晓冬
钱坤
王亮
郭阳宽
高密度母盘刻录是数据存储中的关键技术。对母盘刻录系统的工作原理、结构组成及控制方法进行了分析研究,提出了基于DSP中央处理器和CPLD逻辑单元为中心的下位机式刻录控制方法,完成了模型建立、参数优化、硬件设计与仿真,并进行...
关键词:
关键词:
光存储
母盘刻录
蓝光大数值孔径超分辨率存储光学系统
庄松林
徐福侯
全兆根
郑继红
徐端颐
齐国生
范晓冬
沈全洪
肖家曦
钱坤
蒋培军
胡恒
蓝光大数值孔径超分辨率存储光是超分辨率技术是在同样数值孔径下,进一步缩小光盘记录符尺寸,提高光盘存储密度,增大光盘存储容量的有效途径之一。另外,蓝光光盘存储(Blue-Ray Disc)也是继DVD之后下一代光存储的基本...
关键词:
关键词:
蓝光
大数值孔径
超分辨
高速光盘读出信号抖晃测试系统
徐端颐
谢登科
齐国生
马建设
张启程
沈全洪
胡华
雷志军
佘鹏
宋洁
胡恒
耿远迎
肖家曦
“高速光盘读出信号抖晃测试系统”在现有各种精密时间间隔测量技术的基础上首次提出一种两级级联延时线法测量原理,利用逻辑器件的转换延时和路径传输延时构建两级延时线对时间间隔进行数字量化,使测量分辨率达到皮秒量级,并使用24个...
关键词:
关键词:
抖晃
多波长多阶光度式母盘刻录技术及系统
徐端颐
齐国生
庄松林
陈玉鹏
马建设
潘龙法
钱坤
蒋培军
范晓冬
佘鹏
雷志军
胡华
沈全洪
张启程
宋洁
肖家曦
耿远迎
张建勇
李蓉
徐福候
金兆根
郑继红
主要用于刻录光度式多波长多阶母盘,利用记录材料对光的选择吸收和光子型反应的可分阶特性,实现多波长多阶光度式记录,可大幅度提高存储容量和数据传输率。多波长多阶光度式母盘刻录技术和实验系统是多波长多阶只读光盘制造中的关键技术...
关键词:
关键词:
多波长
母盘刻录
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