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齐国生

作品数：97 被引量：210H指数：8
供职机构：清华大学更多>>
发文基金：国家重点基础研究发展计划国家自然科学基金国家电子信息产业发展基金更多>>
相关领域：自动化与计算机技术电子电信化学工程机械工程更多>>

合作作者

文献类型

  • 42篇期刊文章
  • 41篇专利
  • 8篇会议论文
  • 6篇科技成果

领域

  • 37篇自动化与计算...
  • 8篇电子电信
  • 5篇化学工程
  • 5篇机械工程
  • 2篇理学
  • 1篇动力工程及工...
  • 1篇电气工程
  • 1篇一般工业技术

主题

  • 26篇光存储
  • 22篇光刻
  • 19篇电路
  • 19篇光致
  • 16篇光致变色
  • 15篇集成电路
  • 13篇母盘
  • 11篇母盘刻录
  • 11篇刻录
  • 11篇激光
  • 10篇阵列式
  • 10篇光刻系统
  • 9篇光束
  • 8篇电路图形
  • 8篇波长
  • 7篇光学头
  • 6篇蓝光
  • 6篇棱镜
  • 6篇分光
  • 6篇大规模集成电...

机构

  • 97篇清华大学
  • 1篇中国科学院

作者

  • 97篇齐国生
  • 82篇徐端颐
  • 34篇蒋培军
  • 30篇钱坤
  • 25篇范晓冬
  • 19篇佘鹏
  • 19篇沈全洪
  • 15篇胡华
  • 14篇李庆祥
  • 13篇雷志军
  • 12篇张启程
  • 11篇刘嵘
  • 9篇胡恒
  • 8篇潘龙法
  • 8篇赵辉
  • 8篇马建设
  • 7篇麦雪松
  • 7篇巩马理
  • 6篇廖宁放
  • 6篇肖家曦

传媒

  • 9篇光学技术
  • 6篇物理学报
  • 6篇清华大学学报...
  • 5篇光电子．激光
  • 3篇电子技术应用
  • 3篇1988年全...
  • 2篇中国激光
  • 2篇光学学报
  • 2篇计算机工程与...
  • 1篇传感器技术
  • 1篇科学通报
  • 1篇化学通报
  • 1篇计算机研究与...
  • 1篇多媒体世界
  • 1篇电子工业专用...
  • 1篇激光与红外
  • 1篇2008中国...
  • 1篇第三届全国光...
  • 1篇第十五届全国...
  • 1篇2004全国...

年份

  • 1篇2009
  • 2篇2008
  • 6篇2007
  • 5篇2006
  • 19篇2005
  • 28篇2004
  • 12篇2003
  • 13篇2002
  • 2篇2001
  • 2篇2000
  • 1篇1996
  • 1篇1995
  • 1篇1994
  • 1篇1991
  • 3篇1988
共 97 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
投影光刻机自动对准系统的实验研究
齐国生年有权徐振明
关键词：光学投影系统半导体工艺大规模集成电路光刻机
用于数字彩色多层多阶光盘读写的合光装置
本发明涉及一种用于数字彩色多层多阶光盘读写的合光装置，包括激光器和合光器，合光器由准直透镜和合光棱镜等组成，由激光器发出的光经准直透镜准直后从合光棱镜的另一面射出后成同轴平行光束，多波长同轴平行光束用于彩色多层多阶光盘的...
徐端颐齐国生巩马理阎平廖宁放
文献传递
阵列式光探针扫描集成电路光刻系统中的对准方法及其装置
本发明涉及一种阵列式光探针扫描集成电路光刻系统中的对准方法和装置,首先根据电路图形确定关键点,将电路图形的区别特征进行编码,并刻写在硅片上,设置一对校准图形,使校准图形位于电路图形处,校准图形由校准子图形组成。根据图形关...
徐端颐齐国生钱坤李庆祥范晓冬蒋培军
文献传递
自动对准投影光刻机结构原理及设计
徐振明齐国生廖艳姣
关键词：光学投影系统半导体工艺大规模集成电路光刻机
基于圆形假设和多边形近似的血细胞图像分解被引量：11
2003年
提供了一种用于分解有粘连的二值血细胞图像的算法。这种算法在分解中利用多边形近似寻找出所有可能的分割线,结合血细胞是圆形的假设确定最佳分割线。在与其它两种图像分解算法的比较中表明,这种算法具有较好的分解结果,并且在多个细胞粘连的情况下可以对细胞进行更好的分解。
齐国生叶丹洪强宁徐端颐
关键词：二值图像图像分割
阵列式光探针扫描集成电路光刻系统中的对准装置
本发明涉及一种阵列式光探针扫描集成电路光刻系统中的对准方法和装置，首先根据电路图形确定关键点，将电路图形的区别特征进行编码，并刻写在硅片上，设置一对校准图形，使校准图形位于电路图形处，校准图形由校准子图形组成。根据图形关...
徐端颐齐国生钱坤李庆祥范晓冬蒋培军
文献传递
高密度母盘刻录系统
李玉和李庆祥齐国生赵大鹏訾艳阳蒋培军李晟范晓冬钱坤王亮郭阳宽
高密度母盘刻录是数据存储中的关键技术。对母盘刻录系统的工作原理、结构组成及控制方法进行了分析研究，提出了基于DSP中央处理器和CPLD逻辑单元为中心的下位机式刻录控制方法，完成了模型建立、参数优化、硬件设计与仿真，并进行...
关键词：
关键词：光存储母盘刻录
蓝光大数值孔径超分辨率存储光学系统
庄松林徐福侯全兆根郑继红徐端颐齐国生范晓冬沈全洪肖家曦钱坤蒋培军胡恒
蓝光大数值孔径超分辨率存储光是超分辨率技术是在同样数值孔径下，进一步缩小光盘记录符尺寸，提高光盘存储密度，增大光盘存储容量的有效途径之一。另外，蓝光光盘存储（Blue-Ray Disc）也是继DVD之后下一代光存储的基本...
关键词：
关键词：蓝光大数值孔径超分辨
高速光盘读出信号抖晃测试系统
徐端颐谢登科齐国生马建设张启程沈全洪胡华雷志军佘鹏宋洁胡恒耿远迎肖家曦
“高速光盘读出信号抖晃测试系统”在现有各种精密时间间隔测量技术的基础上首次提出一种两级级联延时线法测量原理，利用逻辑器件的转换延时和路径传输延时构建两级延时线对时间间隔进行数字量化，使测量分辨率达到皮秒量级，并使用24个...
关键词：
关键词：抖晃
多波长多阶光度式母盘刻录技术及系统
徐端颐齐国生庄松林陈玉鹏马建设潘龙法钱坤蒋培军范晓冬佘鹏雷志军胡华沈全洪张启程宋洁肖家曦耿远迎张建勇李蓉徐福候金兆根郑继红
主要用于刻录光度式多波长多阶母盘，利用记录材料对光的选择吸收和光子型反应的可分阶特性，实现多波长多阶光度式记录，可大幅度提高存储容量和数据传输率。多波长多阶光度式母盘刻录技术和实验系统是多波长多阶只读光盘制造中的关键技术...
关键词：
关键词：多波长母盘刻录
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