黄雅婷
- 作品数：13 被引量：25H指数：3
- 供职机构：北京工商大学材料与机械工程学院更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金北京市教委科技计划面上项目国家杰出青年科学基金更多>>
- 相关领域：理学电子电信轻工技术与工程金属学及工艺更多>>
- 用于晶圆的刷洗装置
- 本发明公开了一种用于晶圆的刷洗装置，包括机架；支撑部件，所述支撑部件设置在所述机架上以支撑晶圆；清洗液供给单元，所述清洗液供给单元设置在所述机架上用于向晶圆的表面施加清洗液；以及一对刷子，所述一对刷子包括刷子主体和设置于...
- 路新春梅赫赓裴召辉黄雅婷何永勇雒建斌
- 文献传递
- 食品机械方向创新创业教育课程知识体系研究
- 2019年
- 创新创业课程的知识体系是培养环节中的关键内容。文章依据高等学校创新创业教育改革的要求,分析机械类专业食品机械方向的创新创业教育课程的特点以及知识体系构建的原则,提出应当建立基于专业的合理的课程内容以及"索引式"创业教育课程知识体系。
- 高东明刘玉德黄雅婷王建利
- 关键词：创新创业知识体系
- 高频超声清洗中声场分布的仿真及实验研究被引量：3
- 2014年
- 高频超声乃至兆声清洗广泛应用于半导体器件的超精密清洗,可以有效去除纳米颗粒污染。其中,声能在声场中的分布决定了清洗效果,包括去除均匀性和清洗对象破坏。对于矩形清洗槽内的声场分布,采用简正分解理论直接求解声压分布。结果表明,兆声声能集中于声源辐射轴所在的局部区域,声压波腹和波节分布反映声源振动面形状,而超声波声能扩散至全声场。采用水听器对超声波声场声压分布进行测量,与理论结果相符。由于截断误差和非线性空化误差的存在,理论值小于实验测量结果。
- 谢爱云黄雅婷冯涛董秀萍
- 关键词：兆声清洗声场计算机仿真
- 基于微/纳二元结构镁合金超疏水膜层的制备被引量：9
- 2014年
- 利用微弧氧化技术在镁合金表面制备微米级粗糙结构，采用环氧树脂溶液和纳米二氧化硅分散液对该表面进行涂覆处理，再利用全氟硅烷改性，制备得到具有超疏水性的复合膜层。采用扫描电镜、X射线衍射仪、接触角测量仪、高速摄影系统和电化学工作站评价膜层的形貌结构、润湿性和耐蚀性。结果表明：微弧氧化层所具有的微米级结构和纳米二氧化硅颗粒组成的微／纳二元粗糙结构对疏水性的提高具有重要作用；复合膜层表面的接触角随二氧化硅分散液浓度的提高呈现先增加后减小的趋势，并最终逐渐稳定在150°左右；当二氧化硅分散液溶度为10g／L时，复合表面的接触角最大可达161°。同时该表面对水滴呈现低黏附特性。动电位极化曲线表明：与镁合金基底相比，微弧氧化层和复合膜层的耐蚀性提高2-3个数量级。
- 李杰刘玉德黄雅婷高东明张会臣栗苗苗
- 关键词：镁合金超疏水微弧氧化纳米二氧化硅
- 铜互连兆声清洗中结构损伤预测的有限元分析
- 2013年
- 尽管用于铜及低介电材料(low-k材料)互联加工的兆声清洗工艺可以提高纳米颗粒的去除率,但清洗过程中的声波能量会破坏微小器件结构从而导致器件功能失效。本文采用有限元分析法分析和预测了兆声波的破坏作用,研究了铜及low-k材料互联结构在兆声清洗过程中的应力分布及变形。基于ABAQUS软件,采用二维有限元模型对循环布线图形当中的一个典型元胞在空化气泡破裂冲击下的应力应变进行分析,并讨论了它的破坏形式和破坏规律。结果表明,最大应力集中在铜及low-k材料键合处将导致low-k材料分层。当线宽为22nm时,应力和结构变形达最大值,分别为1 379MPa和3.074nm;之后随线宽增加最大应力应变值均减小。另外,兆声频率增大不改变应力应变分布规律,对应力应变极值影响亦不明显。分析及预测结果与工业实践得到的结果相符。
- 黄雅婷孟春玲董秀萍路新春
- 关键词：化学机械抛光兆声清洗有限元分析
- 激光加工结合自组装制备铝合金超疏水表面被引量：9
- 2015年
- 通过激光加工在铝合金表面构造出具有规则结构的微米级纹理结构,再利用5种有机硅烷试剂分别对该表面进行修饰改性,以期制备得到超疏水表面。采用三维形貌仪、扫描电镜、接触角测量仪等评价制备表面的形貌结构和润湿性。结果表明,试样表面的微米级纹理结构和自组装分子膜均对试样的润湿性具有重要影响;不同有机硅烷改性修饰微米级纹理结构后的表面对水接触角存在明显差异,最大接触角可达160°。制备的超疏水表面对不同p H值的水滴均呈现超疏水性,且在大气环境下具有较好的耐久性。
- 李杰刘玉德高东明黄雅婷张会臣
- 关键词：铝合金激光加工自组装接触角超疏水表面
- 一种用于晶圆的刷洗装置
- 本实用新型公开了一种用于晶圆的刷洗装置，包括机架；支撑部件，所述支撑部件设置在所述机架上以支撑晶圆；清洗液供给单元，所述清洗液供给单元设置在机架上用于向晶圆的表面施加清洗液；以及一对刷子，所述一对刷子包括刷子主体和设置于...
- 路新春梅赫赓裴召辉黄雅婷何永勇雒建斌
- 文献传递
- 粘附性具有可控响应性的智能超疏水表面研究进展被引量：3
- 2014年
- 具有特殊粘附性的超疏水表面因其广阔的应用前景而引起人们的极大关注。讨论了表面形貌和表面化学组成对超疏水表面粘附性的影响及超疏水表面粘附性的评价标准,综述了近年来粘附性具有可控响应性的超疏水表面的研究进展,并对超疏水表面粘附性的研究进行了总结和展望。
- 李杰刘玉德高东明黄雅婷张会臣
- 关键词：超疏水表面形貌化学组成
- 用于晶圆的刷洗装置
- 本发明公开了一种用于晶圆的刷洗装置，包括机架；支撑部件，所述支撑部件设置在所述机架上以支撑晶圆；清洗液供给单元，所述清洗液供给单元设置在所述机架上用于向晶圆的表面施加清洗液；以及一对刷子，所述一对刷子包括刷子主体和设置于...
- 路新春梅赫赓裴召辉黄雅婷何永勇雒建斌
- 抛光后清洗中纳米颗粒去除机理与实验研究
- 黄雅婷
- 关键词：流体动力表面活性剂
