邱熹程
- 作品数：4 被引量：2H指数：1
- 供职机构：广东工业大学更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金广东省科技计划工业攻关项目更多>>
- 相关领域：理学一般工业技术自动化与计算机技术机械工程更多>>
- 扫描探针显微镜的隔振技术研究
- 2008年
- 扫描探针显微镜(SPM)等超精密加工与检测仪器容易受到外界环境微小振动等干扰,致使仪器在通常条件下无法达到要求的指标。为此,结合主动隔振和被动隔振技术研究对外界微小振动扰动有效隔离方法。以本原纳米仪器有限公司制作的CSPM4000扫描探针显微镜作为实验对象进行试验,探讨利用主动隔振系统来降低超精密仪器对于外部试验环境的苛刻要求,进而改善超精密仪器的试验性能。实验结果显示隔振试验装置具有较好的隔振效果,可满足使用要求。
- 邱熹程傅惠南巫立东
- 关键词：SPM被动隔振主动隔振
- 基于AFM的微注射量检测装置设计
- 2007年
- 介绍了一种基于原子力显微镜(AFM)的微注射量检测的新方法,设计聚酯悬臂感应结构,利用原子力显微镜具有纳米级高度分辨率的特点,对聚酯悬臂在注射微滴重力作用产生的挠度进行检测,达到微滴量检测的目的。通过改进检测装置隔震系统的阻尼器结构,抑制影响微滴检测过程的低频扰动因素。最后对30pl内的微注射量进行检测试验。
- 夏继盛傅惠南邱熹程
- 关键词：原子力显微镜悬臂
- 原子力显微镜超微量注射检测的影响分析被引量：1
- 2008年
- 微量注射与检测受到越来越广泛的关注和研究,例如细胞工程与基因工程中,采用显微注射其注射量对操作成功率影响巨大,注射量精确检测成为人们关注的课题。利用原子力显微镜具有纳米级高度分辨率的特点,设计悬臂装置对注射微滴重力产生的挠度进行检测,实现微滴量定量检测的目的。分析讨论影响微滴检测过程的扰动因素,其中采用悬挂机构有效抑制中高频扰动,观察注意到悬架式隔振系统水平方向的微小摆动对检测信号扰动不可忽视。研究中为抑制这种低频扰动对超微量注射检测的影响,设计液体阻尼器并采用增大水平阻尼与转动阻尼的方法使之得到有效地改善;进行皮升级注射量检测试验,结果表明所采用的基于原子力显微镜的超微量注射检测能够实现10～30pL微量注射检测。
- 夏继盛傅惠南邱熹程
- 关键词：原子力显微镜悬臂
- 扫描探针显微镜主动隔振研究
- 随着科学技术的发展和人类社会的进步，人们对各类高精尖技术领域振动的控制要求也日趋严格。各种振动很大程度上限制着超精密仪器的性能发挥，例如扫描探针显微镜(SPM)在加工检测时易受到外界干扰。尤其在各类高分辨率测量场合和超精...
- 邱熹程
- 关键词：扫描探针显微镜被动隔振主动隔振PID控制方法
- 文献传递
