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迟庆国
作品数:
8
被引量:1
H指数:1
供职机构:
哈尔滨工业大学
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相关领域:
一般工业技术
理学
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合作作者
费维栋
哈尔滨工业大学材料科学与工程学...
李伟力
哈尔滨工业大学
李伟力
哈尔滨工业大学材料科学与工程学...
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哈尔滨工业大...
作者
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迟庆国
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费维栋
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李伟力
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李伟力
传媒
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郑州大学学报...
年份
1篇
2011
1篇
2010
4篇
2009
2篇
2006
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8
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具有“三明治”结构的多孔强织构热释电薄膜的制备方法
具有“三明治”结构的多孔强织构热释电薄膜的制备方法,它涉及一种多孔热释电薄膜的制备方法。它解决了现有方法制备出的多孔热释电薄膜中织构难以形成、漏电流大及薄膜表面质量差的问题。方法:一、制备热释电薄膜A;二、在薄膜A的基础...
费维栋
迟庆国
李伟力
文献传递
具有“三明治”结构的多孔强织构热释电薄膜的制备方法
具有“三明治”结构的多孔强织构热释电薄膜的制备方法,它涉及一种多孔热释电薄膜的制备方法。它解决了现有方法制备出的多孔热释电薄膜中织构难以形成、漏电流大及薄膜表面质量差的问题。方法:一、制备热释电薄膜A;二、在薄膜A的基础...
费维栋
迟庆国
李伟力
文献传递
TiO_2种子层对(Pb,La,Ca)TiO_3薄膜织构的影响
被引量:1
2009年
利用脉冲激光法(PLD)制备了镧钙掺杂的钛酸铅(Pb0.8La0.1Ca0.1)Ti0.975O3(PLCT)热释电薄膜,通过广角X射线衍射(XRD)研究了薄膜的相组成,利用X射线镜面反射表征TiO2种子层的厚度,通过X射线衍射及ω扫描研究了TiO2种子层对薄膜晶体学织构及其弥散程度的影响.结果表明,合适的晶化温度可以获得纯钙钛矿相的PLCT热释电薄膜.种子层的引入改变了薄膜的织构类型,无种子层时,薄膜倾向于形成(100)织构;而引入TiO2种子层则有利于薄膜(301)织构的形成.
迟庆国
李伟力
费维栋
关键词:
织构
钛酸铅基铁电薄膜组织结构控制及性能研究
PbTiO3(PT)基铁电薄膜在热释电探测器,动态随机存储器,非挥发性铁电存储器及微电机械系统系中具有广泛的应用前景。但是,将PT基铁电薄膜应用于实际器件时,还存在一些障碍,总的说来主要有体材料优良电学性能的保持,降低处...
迟庆国
关键词:
钛酸铅
铁电薄膜
残余应力
电学性能
文献传递
La和Ca掺杂PbTiO/_3磁控溅射靶材制备及薄膜结构表征
本文采用射频磁控溅射方法制备了/(Pb/_/(1-x-y/)La/_xCa/_y/) Ti/_/(1-x//4/)O/_3 /(PLCT/)薄膜。在薄膜溅射前,成功制备出溅射用靶材。利用XRD、SEM、XRF手段分别对靶...
迟庆国
关键词:
射频磁控溅射法
残余应力
铁电性能
文献传递
La和Ca掺杂PbTiO<sub>3</sub>磁控溅射靶材制备及薄膜结构表征
本文采用射频磁控溅射方法制备了(Pb<sub>1-x-y</sub>La<sub>x</sub>Ca<sub>y</sub>) Ti<sub>1-x/4</sub>O<sub>3</sub> (PLCT)薄膜。在薄膜溅射...
迟庆国
关键词:
射频磁控溅射法
残余应力
铁电性能
一种高铁电性能复合钛酸铅基铁电薄膜的制备方法
一种高铁电性能复合钛酸铅基铁电薄膜的制备方法,它涉及一种钛酸铅基铁电薄膜的制备方法。它解决了现有方法制备出的钛酸铅基薄膜在晶化过程中易与电极发生互扩散,在界面处产生缺陷,从而导致铁电性能下降的问题。制备方法:一、在基底上...
费维栋
迟庆国
李伟力
文献传递
低结晶温度下制备织构可控的铅基铁电薄膜的方法
低结晶温度下制备织构可控的铅基铁电薄膜的方法,它涉及一种制备铅基铁电薄膜的方法。它解决了现有方法在铁电薄膜制备过程中晶化温度过高、织构难以控制、成本高且不利于大面积Si集成电路的应用的问题。方法:一、制备种子层薄膜A;二...
费维栋
迟庆国
李伟力
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