袁群
- 作品数：168 被引量：116H指数：7
- 供职机构：南京理工大学电子工程与光电技术学院更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金江苏省“六大人才高峰”高层次人才项目江苏省自然科学基金更多>>
- 相关领域：机械工程理学电子电信自动化与计算机技术更多>>
- 5倍迈克尔逊型干涉显微物镜光学系统
- 本发明公开了一种5倍迈克尔逊型干涉显微物镜光学系统，属于显微物镜设计领域。本发明的5倍迈克尔逊型干涉显微物镜光学系统包括沿同一光轴从左向右排列的第一透镜、第二透镜、第三透镜、第四透镜、分光棱镜和垂直于光轴设置的参考平板。...
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- 用于光滑表面形貌测量的窄带非单色光n+1幅相移测试算法
- 本发明公开了一种用于光滑表面形貌测量的窄带非单色光n+1幅相移测试算法，本算法通过窄带非单色光干涉测量实现对光滑样品表面形貌的复原，适用于光源为白光加窄带滤光片的干涉测试系统。驱动相移器按照π/2的相移间隔进行z轴垂直扫...
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- 文献传递
- 宽频谱表面轮廓形貌干涉检测技术进展被引量：2
- 2021年
- 中国先进制造业发展很快。其中,光学元件制造向尺度愈来愈大(单体直径达数米)和愈来愈小(尺度在微纳米量级)极端方向发展,对非接触式光学检测技术带来新的挑战,本文以光学表面宽频谱轮廓形貌的检测技术及仪器为例,分析国内外的发展概貌与趋势,展现了中国自主研发的系列光学干涉检测仪器成果,对于解决卡脖子问题,具有科学意义。
- 高志山赵雨晴马剑秋袁群
- 关键词：空间频率光学检测
- 高深宽比微结构透射式干涉显微无损测量装置及测量方法
- 本发明公开了一种高深宽比微结构透射式干涉显微无损测量装置及测量方法，利用近红外光能够穿透硅基底的优势，可以用大数值孔径光束进行测量；针对显微物镜会聚的大数值孔径光束被待测样品的沟槽结构调制降低光束聚焦性的问题，设置显微物...
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- 中频波面的旋转平移法干涉绝对检验被引量：2
- 2013年
- 基于Zernike多项式拟合的传统干涉绝对检验方法由于平滑了波面和丢失了中频成分,仅可以实现面形误差的绝对检验。本文提出利用旋转平移法来实现中频波面的干涉绝对检验。将被测波面分解成旋转对称成分和旋转非对称成分,通过N次旋转被测件,求解波面中的旋转非对称成分;通过平移被测件实现伪剪切,求解波面中的旋转对称成分。与传统绝对检验方法相比,该方法既能够恢复整个波面,又不需要对整个波面进行Zernike多项式拟合;由于仅对旋转对称成分用偶次多项式进行提取,提升了计算速度,降低了拟合误差,保留了中频成分,数值仿真显示其比传统方法优越,测量精度可达到1nm rms。在ZYGO干涉仪上完成了平面元件的干涉绝对检验测量。采用改变伪剪切比和更换标准镜两种方案,分别实现了实验数据的自比对;将测试结果与经典三面互检法得到的水平和垂直方向的一维轮廓数据进行比对,验证了旋转平移法的准确性。
- 袁群高志山张聪旸成金龙朱波
- 关键词：干涉术波纹度平移
- 基于多波长干涉技术的拼接镜共相检测被引量：4
- 2021年
- 为了拓展精共相阶段平移误差的检测范围、缩减检测流程以及减少多方法检测在衔接过程中的装校要求,本文提出基于多波长干涉技术的拼接镜共相检测方法。在粗共相阶段,采用单色激光干涉以及白光干涉分别实现百微米以及微米量级的平移误差标定;在精共相阶段,采用双波长激光干涉实现微米级平移误差的高精度检测。以整镜中剖出的两块六边形球面子镜为测试对象,采用红绿激光双波长移相干涉仪与白光显微干涉仪对所提的技术方案进行实验验证,提出基于拼接镜面形检测数据的相对平移误差解算算法,设计并构建一套拼接镜共相装校系统。粗共相阶段标定平移误差至微米量级后,在精共相阶段子镜间平移误差可由601.6nm补偿至16.0nm。
- 季文袁群高志山第五蔻蔻刘威剑王若言郭珍艳
- 基于光谱分布特性的快速垂直扫描形貌测量被引量：1
- 2022年
- 传统的低相干垂直扫描方法在测量高度达数十或数百微米的台阶或沟槽类微结构的表面三维形貌时,测量效率低下。为此,提出一种基于光谱分布特性的快速垂直扫描形貌测量方法,该方法包含两次垂直扫描过程。建立描述单幅干涉图条纹对比度的评价函数,利用粗扫描来定位被测件上下表面的大致位置,并联系上下两幅粗扫描图像计算出覆盖被测件上下表面相干区域的精扫描采图区域。精扫描在其他区域直接跳过但记录位移量,结合π/2扫描移相的精扫描干涉图复原被测件的表面三维形貌。粗扫描的扫描步长由低相干光谱分布计算得到,精扫描步长为中心波长的1/8。以高度为7.805μm的台阶板和深度为200.99μm的沟槽进行实验,结果表明,所提方法相比传统垂直扫描方法的采图时间分别缩短了48.2%和55.2%。
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- 一种大口径平面干涉仪旋转平移法绝对检验的装置及方法
- 本发明公开了一种大口径平面干涉仪旋转平移法绝对检验的装置及方法，该装置包括碳化硅平面反射镜及其承载机构和平移机构；承载机构可以实现碳化硅平面反射镜的360°旋转，平移机构可以实现碳化硅平面反射镜及承载机构在水平方向上的位...
- 袁群第五蔻蔻高志山郭珍艳刘威剑车啸宇谢澎飞周俊涛
- 低相干干涉高深宽比结构高度检测信号处理技术被引量：5
- 2022年
- 低相干扫描干涉技术是微结构特征参数无损检测的有效手段。然而对高深宽比结构底部采样点需要进行大量程垂直扫描,由此引起光强漂移导致的相干信号对比度降低,以及阶跃边缘复杂衍射作用造成的相干信号混叠是高度检测过程中的两个主要难题。采用完全噪声辅助聚合经验模态分解算法分解原始信号得到一系列特征模态函数,通过提取高频特征模态函数代替原始信号滤除低频的光强漂移分量,提高相干信号对比度。高深宽比结构边缘复杂衍射作用使该位置附近的相干信号中包含两组包络,其中异常包络由相干峰位置对应上表面的附加相干信号引起并阻碍有效包络的准确判别。通过融合从相干信号中提取的对比度及强度信息并进行二值化处理,实现对高深宽比结构上下表面的识别分类,据此选择当前采样点位置对应的包络作为有效包络并最终完成结构高度的高精度检测。以校准深度为101.77μm,线宽为10.97μm的高深宽比沟槽为检测样品,10次测量的高度均值及标准差分别为101.093μm、0.316μm。
- 孙一峰高志山范筱昕张佳乐马剑秋袁群
- 关键词：高深宽比
- 具有对点、测试双探测器的红外干涉检测装置
- 本发明公开了一种用于检测红外透镜非球面面形和透射波像差质量的红外干涉检测装置，采用两个红外焦平面阵列作为红外探测器，提供了对点、测试双探测成像光路；采用五维调整架夹持被测件，五维调整架固定在配备有精密测长装置的导轨的滑块...
- 高志山袁群
