胡立琼
- 作品数：5 被引量：2H指数：1
- 供职机构：北京印刷学院更多>>
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- 掺氮对类金刚石薄膜的力学性能的影响
- 采用射频等离子体增强化学气相沉积(RF-PECVD)方法,以CH4、N2和Ar作为气源,在不同氮气分压下制备掺氮类金刚石薄膜(α-C:H(N)薄膜)并对其进行FTIR,Raman分析测试其成分,结合进行纳米硬度、摩擦磨损...
- 周美丽胡立琼张跃飞陈强葛袁静
- 关键词：RF-PECVD类金刚石拉曼光谱
- 文献传递
- 两种等离子体化学气相沉积制备类金刚石薄膜摩擦性研究
- 2005年
- 采用平行板电容耦合射频辉光放电化学气相沉积(RF-PECVD)装置,在镀有TiN/Ti过渡层的碳钢表 面制备类金刚石膜(DLC),以及直接在基材表面制备掺氮的类金刚石膜,研究成膜内应力减小机理．通过对成 膜表面的傅里叶变换红外光谱(FTIR)、激光Raman光谱、X射线光电子能谱(XPS)的测试,分析成膜表面的组 分和微观结构对薄膜的性能影响．以薄膜表面摩擦因数的大小,初步评估试样的耐磨程度,研究α-C:H及 α-C:H(N)薄膜的摩擦学性能与其结构的关系．
- 胡立琼张跃飞王瑜陈强葛袁静
- 关键词：等离子体化学气相沉积摩擦磨损性能
- 两种等离子体化学气相沉积制备类金刚石薄膜摩擦性研究
- 采用平行板电容耦合射频辉光放电化学气相沉积（RF-PECVD）装置,在镀有TiN/Ti 过渡层的碳钢表面制备类金刚石膜（DLC）,以及直接在基材表面制备掺氮的类金刚石膜,研究成膜内应力减小机理.通过对成膜表面的傅里叶变换...
- 胡立琼张跃飞王瑜陈强葛袁静
- 关键词：等离子体化学气相沉积摩擦磨损性能
- 文献传递
- 掺氮类金刚石薄膜的制备及其表征
- 本文采用射频-等离子体增强化学气相沉积(RF-PECVD)法,以N、CH和Ar为源气体,制备掺氮类金刚石薄膜(α-C:H(N)薄膜),采用傅立叶变换红外光谱FTIR,拉曼光谱Raman,X射线光电子能谱XPS,X射线衍射...
- 胡立琼
- 关键词：掺氮类金刚石薄膜摩擦学性能
- 文献传递
- 掺氮对类金刚石薄膜的力学性能的影响
- 采用射频等离子体增强化学气相沉积（RF-PECVD）方法,以CH4、N2和Ar作为气源,在不同氮气分压下制备掺氮类金刚石薄膜（α-C:H（N）薄膜）并对其进行FTIR,Raman分析测试其成分,结合进行纳米硬度、摩擦磨损...
- 周美丽胡立琼张跃飞陈强葛袁静
- 关键词：RF-PECVD类金刚石拉曼光谱
- 文献传递
