- 双端音叉扫描探针测头系统及其测量方法
- 本发明公开了一种双端音叉扫描探针测头系统及其测量方法，由刚性支承、双端音叉和钨探针构成。刚性支承为整个扫描探针测头系统的刚性支承件，用于固定整个测头机构，并对双端音叉的一个叉端形成全约束。双端音叉的一个叉端连接于刚性支承...
- 余惠娟黄强先韩彬胡小娟张蕤
- 双端音叉扫描探针测头系统及其测量方法
- 本发明公开了一种双端音叉扫描探针测头系统及其测量方法，由刚性支承、双端音叉和钨探针构成。刚性支承为整个扫描探针测头系统的刚性支承件，用于固定整个测头机构，并对双端音叉的一个叉端形成全约束。双端音叉的一个叉端连接于刚性支承...
- 余惠娟黄强先韩彬胡小娟张蕤
- 文献传递
- 具有角度补偿功能的大行程二维纳米工作台系统
- 本实用新型公开了一种具有角度补偿功能的大行程二维纳米工作台系统，采用基于压电陶瓷致动器和柔性铰链设计的六自由度微动工作台对大行程二维工作台进行直线定位及角度误差的综合补偿。本实用新型中，大行程二维工作台采用步进电机结合滚...
- 黄强先张昔峰袁钰韩彬胡小娟
- 文献传递
- 具有角度补偿功能的大行程二维纳米工作台系统
- 本发明公开了一种具有角度补偿功能的大行程二维纳米工作台系统，采用基于压电陶瓷致动器和柔性铰链设计的六自由度微动工作台对大行程二维工作台进行直线定位及角度误差的综合补偿。本发明中，大行程二维工作台采用步进电机结合滚珠丝杠的...
- 黄强先张昔峰袁钰韩彬胡小娟
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- 大行程纳米分辨力光栅位移测量系统研究
- 随着科技的进步，纳米测量技术在大多数领域得到蓬勃发展。位移是最基本物理量之一，而现代精密位移测量技术的两个主要手段是激光干涉测量和光栅计量。相较于激光干涉测量，光栅计量不易受环境干扰、成本较低、易于小型化，因此得到广泛地...
- 胡小娟
- 关键词：位移测量系统光栅位移传感器数字滤波信号噪声
- 具有角度补偿功能的大行程二维纳米工作台系统
- 本发明公开了一种具有角度补偿功能的大行程二维纳米工作台系统，采用基于压电陶瓷致动器和柔性铰链设计的六自由度微动工作台对大行程二维工作台进行直线定位及角度误差的综合补偿。本发明中，大行程二维工作台采用步进电机结合滚珠丝杠的...
- 黄强先张昔峰袁钰韩彬胡小娟
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- 微球球度测量技术的研究进展被引量：5
- 2016年
- 根据目前微球球度测量技术的原理,首先将其分为接触式测量和非接触式测量,其中非接触测量主要分为光学图像测量法和激光干涉测量法,就此对国内外微球球度测量技术进行了介绍和比较,并指出各种测量技术需要解决的问题。然后针对这些技术的局限性,如被测尺寸较大、测量精度不高、测量对象材料限制等,探讨了目前正在研究中的新型球度测量方法和技术。最后对微球球度测量方法和技术的研究及开发趋势进行了总结和展望。
- 黄强先胡小娟卞亚魁梅腱张连生陈丽娟
- 关键词：微球
- 可同时实现三维位移测量的激光测量装置及方法
- 本发明公开了一种可同时实现三维位移测量的激光测量装置和方法，包括激光器、光隔离器、小孔光阑、偏振片、偏振分光棱镜（PBS）、四分之一波片、平凸透镜、直角棱镜、平面反射镜、消偏振分光棱镜（NPBS）、半波片、光电二极管、四...
- 黄强先武万多王超群胡小娟张芮
- 基于硅悬臂高阶谐振的动态原子力显微镜的快速扫描被引量：3
- 2014年
- 利用原子力显微镜(AFM)硅悬臂器件具有多阶谐振模态的特性,提出了基于硅悬臂高阶谐振特性构建动态AFM来实现快速扫描的方法,并研制了可工作于一阶模态和高阶模态的AFM。介绍了高阶谐振AFM系统的基本结构和工作原理,从理论上证明了利用硅悬臂梁高阶谐振特性实现快速扫描的可行性。以自制的AFM为研究对象,分析了影响动态AFM扫描速度的主要因素,对系统各模块的响应时间进行了分析、测试,并通过实验证明了AFM在二阶谐振模态下的稳定时间明显小于一阶谐振模态下的稳定时间。最后,分别用一阶、二阶谐振模态对光栅试样在同一区域的表面形貌进行了扫描测试,测试数据表明:在相同条件下,AFM的扫描速度在二阶谐振模态下约是一阶模态下的3.3倍。理论分析和实验结果证明了利用高阶谐振探针提高AFM扫描速度的可行性和有效性。
- 黄强先尤焕杰袁丹赵阳胡小娟
- 双端音叉扫描探针测头系统
- 本实用新型公开了一种双端音叉扫描探针测头系统，由刚性支承、双端音叉和钨探针构成。刚性支承为整个扫描探针测头系统的刚性支承件，用于固定整个测头机构，并对双端音叉的一个叉端形成全约束。双端音叉的一个叉端连接于刚性支承底面，另...
- 余惠娟黄强先韩彬胡小娟张蕤
- 文献传递
