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非晶硅薄膜的准分子激光晶化研究被引量：3: 2015年; 利用Kr F准分子激光器晶化非晶硅薄膜,研究了不同的激光能量密度和脉冲次数对非晶硅薄膜晶化效果的影响。利用X射线衍射(XRD)和扫描电子显微镜(SEM)对晶化前后的样品的物相结构和表面形貌进行了表征和分析。实验结果表明,在激光频率为1 Hz的条件下,能量密度约为180 m J/cm2时,准分子激光退火处理实现了薄膜由非晶结构向多晶结构的转变;当大于晶化阈值180 m J/cm2小于能量密度230 m J/cm2时,随着激光能量密度增大,薄膜晶化效果越来越好;激光能量密度为230 m J/cm2时,晶化效果最好、晶粒尺寸最大,约60 nm,并且此时薄膜沿Si(111)面择优生长;脉冲次数50次以后对晶化的影响不大。; 秦娟娟邵景珍刘凤娟方晓东; 关键词：非晶硅薄膜多晶硅能量密度

248 nm高反膜抗激光损伤性能被引量：2: 2014年; 用电子束蒸发法在熔融石英基底上沉积了适用于248nm的HfO2/SiO2高反膜,为提高其抗激光损伤能力,设计并制备了两种保护层,一种是在常规高反膜系的基础上镀制二分之一波长厚度的SiO2保护层,另一种是用Al2O3/MgF2做保护层。测试了3种高反膜样品的激光损伤情况,通过损伤形貌的变化分析了两种保护层使抗激光损伤能力提高的原因以及存在的问题。; 刘凤娟周曙秦娟娟邵景珍方晓东; 关键词：NM 高反膜激光损伤保护层

应用于极紫外光刻系统多层膜的研究进展被引量：4: 2014年; 极紫外光刻是采用波长为13.5 nm的极紫外光作为光源,实现半导体集成电路工艺22 nm以及更窄线宽节点的主要候选光刻技术。性能优越稳定的多层膜技术是构建整个极紫外光刻系统的重要技术之一、从高反射率、波长匹配、控制面形以及稳定性和寿命方面总结了极紫外光刻系统中多层膜的性能要求和最新的研究进展,叙述了制备高性能多层膜的方法和沉积设备,讨论了多层膜制备技术存在的问题和发展的方向。; 秦娟娟董伟伟周曙游利兵方晓东; 关键词：激光技术极紫外光刻

用脉冲激光沉积法在Al_2O_3上沉积类金刚石薄膜被引量：1: 2011年; 为了研究沉积时间和衬底温度对类金刚石薄膜的影响,在用脉冲激光沉积法在Al2O3衬底上制备类金刚石薄膜的实验中,保持其他实验参数不变,先取沉积时间分别为15 min和40 min来沉积薄膜;再取衬底温度分别30℃和300℃来沉积薄膜。用显微镜观察薄膜是否有起皱现象,用Raman光谱仪检测薄膜的微观结构,用原子力显微镜检测薄膜的表面形貌。结果表明:薄膜中存在一些石墨颗粒。沉积时间和衬底温度对薄膜的黏附性和微观结构均有显著影响——延长沉积时间或升高衬底温度都将导致薄膜内的残余应力增加和薄膜起皱。缩短沉积时间或升高衬底温度都将导致薄膜中的sp3/sp2比值减小、非晶态的sp2键向石墨晶相转化、石墨晶粒数量增多,体积增大。最后,根据脉冲激光沉积类金刚石薄膜的机理对实验现象进行了分析。; 罗乐储雅琼秦娟娟方晓东方尚旭陶汝华; 关键词：脉冲激光沉积法类金刚石薄膜衬底温度黏附性微观结构

AIB用于改进PLD沉积在机械瓣膜上的类金刚石膜的质量被引量：1: 2010年; 用脉冲激光沉积(PLD)法在热解C制作的人工心脏机械瓣膜上沉积类金刚石(DLC)薄膜,并用3KeV的氩离子轰击(AIB)DLC薄膜。采用拉曼(Raman)光谱和X射线光电子能谱(XPS)分别对AIB前后的DLC薄膜进行检测分析,用光学显微镜观察AIB前后的DLC薄膜表面。实验结果表明:AIB不影响薄膜的黏附性。但是可以在一定程度上导致薄膜微观结构的变化和sp3/sp2比值的提高,可以在薄膜中掺杂微量的Ar元素,可以有效消除薄膜表面吸附的O,但对薄膜中C-O、C=O和COOH的影响较小。因此,离子轰击法可以作为一种改进类金刚石薄膜质量的方法。; 罗乐秦娟娟孙伟方晓东严中亚

ZnO光阳极染料敏化太阳电池: ＜正＞本文综述了基于ZnO光阳极的染料敏化太阳电池的研究进展:染料敏化太阳能电池是一种新型光电化学太阳能纳米薄膜电池（DSC）,它制作工艺简单、成本低、性能稳定,具有潜在的高光电转换效率,并且对环境无污染,因此具有良好的...; 秦娟娟储雅琼高健赵树弥符晓四罗乐; 文献传递

激光脉冲能量对类金刚石薄膜及其红外光学特性的影响被引量：7: 2010年; 为了研究在氮气中激光的脉冲能量对类金刚石薄膜的微结构组成、表面形貌和红外光学特性的影响,在KrF准分子脉冲激光沉积(PLD)类金刚石薄膜的实验中,在沉积腔中充入10-1Pa氮气并保持其他实验参数不变,脉冲能量分别取120 mJ和150 mJ来沉积类金刚石薄膜。用拉曼光谱仪和X射线光电子能谱仪(XPS)对类金刚石薄膜的微结构与组成进行检测分析;用原子力显微镜(AFM)对薄膜的表面形貌进行检测分析;用傅里叶变换红外光谱仪对类金刚石薄膜和硅衬底的红外光透射谱进行检测分析。实验结果表明,脉冲能量从120 mJ增加到150 mJ导致类金刚石薄膜中的氮含量和sp3键含量增加,C-O,C=O和O的含量减少,石墨晶粒的数量减少、尺寸变小,薄膜表面的粗糙度显著降低。同时,脉冲能量增加导致类金刚石薄膜对红外光的增透作用减弱,增透范围变窄。; 罗乐张君芳方晓东夏天荣秦娟娟陶汝华; 关键词：光谱学类金刚石薄膜表面形貌傅里叶变换红外透射谱

ZnO纳米棒阵列薄膜的制备及其在染料敏化太阳能电池中的应用: 综合论述了染料敏化太阳电池的研究与发展，归纳总结出染料敏化太阳电池的优势以及研究过程中存在的问题。综合论述了量子点敏化太阳电池的研究与发展，归纳总结出量子点敏化太阳电池的优势以及研究过程中存在的问题。综合论述了ZnO纳米...; 秦娟娟; 关键词：染料敏化太阳能电池光电转换效率

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秦娟娟