田种运
- 作品数：7 被引量：4H指数：2
- 供职机构：昆明物理研究所更多>>
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- 混合红外焦平面倒装焊工艺模拟实验
- 1990年
- 运用蒸Al、镀In、光刻技术,在InSb、HgCdTe和Si片上制成雨维In柱电极,完成两维列阵模拟互连工艺。
- 田种运孙娟李菊兰
- 关键词：红外探测器焦平面
- 红外焦平面组件的近期发展被引量：2
- 1998年
- ２８８×４元，２５６×２５６元，６４０×４８０元规格的短、中、长波红外焦平面芯片已批量生产，包括杜瓦瓶致冷机的焦平面组年也在市场上销售。１２０４×１０２４规格的焦平面已在使用中，作者认为：今后相当长的时间内，大于３×１６＾５像元规格红外焦平面的发展会受到制约，将集中于提高红外焦平面的工作温度，尤其是室温附近工作的焦平面组件，其次是使红外焦平面的生产全部硅工艺化。
- 田种运孙娟
- 关键词：前视红外焦平面红外传感器高温红外探测器
- 混合式红外焦平面用对焊机的研制
- 1991年
- 对焊工艺是制备混合红外焦平面器件的关键工艺。本文介绍了我们根据对焊工艺要求自行研制的 HDD-1型红外对焊机的原理、性能及测试方法,并给出了该机在红外焦平面列阵对焊工艺中的试用结果。
- 田种运孙娟季若曦
- 关键词：红外焦平面对焊机混合式
- InSb混合红外焦平面工艺研究被引量：2
- 1991年
- InSb 光伏线列器件是以 n 型 InSb 为衬底,扩散 Cd 形成 p-n 结,经光刻、蒸电极、焊接等工艺制成。SiCCD 为表面 p 沟器件,可按延时积分(TDI)和多路传输(MUX)两种方式工作。在研制1×12、2×12、1×64、2×64元 InSb 光伏线列器件并与 SiCCD 进行互连的基础上,从开发64×64元 InSb 混合红外焦平面着眼,我们进行了64×16元 InSb 光伏面阵的研制,并在 InSb 面阵和 Si 上电镀 In 柱,用我们研制的 HDD-1型红外对准倒焊机进行了对焊,开展了背面辐照 InSb 混合红外焦平面的工艺研究。本文介绍了工艺实验状况,并对工艺实验中有关问题进行了讨论。
- 张星灿田种运雷胜琼
- 关键词：焦平面INSB红外探测器
- 1×12元InSb混合红外CCD器件性能参数讨论
- 1990年
- 本文主要介绍一种采用时间延迟积分模式的硅CCD和1×12元InSb红外探测器互连而成的器件,并就如何提高其探测率进行了讨论。
- 李菊兰田种运
- 关键词：红外CCD器件INSB探测器
- 串扫2×12元混合红外电荷藕合器件
- 描述用硅CCD作读出、工作波段为3—5微米的2×12元InSb探测器的混合工艺。InSb探测器件是制备在一块n型InSb衬底上的光电二极管，在焦平面中，通过P沟道的CCD对InSb列阵进行时间延迟积分。测量了它...
- 田种运李菊兰季若曦
- 关键词：探测器光电二极管光电效应生产工艺
- 室温工作的低成本氧化钒红外焦平面器件
- 1998年
- 文章给出了氧化钒焦平面器件的基本工作原理、设计思想、关键工艺、应用前景、现在已经达到和将来可能达到的性能指标,指出本器件是军民两用的低成本器件。
- 田种运雷胜琼孙娟
- 关键词：红外焦平面阵列热敏电阻二氧化钒
