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王争

作品数：1 被引量：0H指数：0
供职机构：北京师范大学化学学院更多>>
发文基金：北京市自然科学基金更多>>
相关领域：化学工程更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇化学工程

主题

  • 1篇量子效率
  • 1篇抗蚀剂
  • 1篇光产酸剂
  • 1篇光解
  • 1篇光致
  • 1篇光致抗蚀剂

机构

  • 1篇北京师范大学

作者

  • 1篇刘娟
  • 1篇王争
  • 1篇王力元

传媒

  • 1篇影像技术

年份

  • 1篇2011
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
几种硫鎓盐类光产酸剂的合成与性质
2011年
硫鎓盐类光产酸剂因其较高的产酸效率和好的热稳定性而广泛应用于化学增幅光致抗蚀剂中。本论文选择不同的酚化合物为原料,使之与二甲基亚砜和氯化氢反应,合成了一系列硫鎓盐化合物,研究了其在有机溶剂中的溶解性、热稳定性、紫外吸收性质及其光解特性。以低压汞灯为曝光光源,测定了该类光产酸剂的光解量子效率在0.2—0.7范围。
刘娟王争王力元
关键词：光产酸剂光致抗蚀剂光解量子效率
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共1页<1>
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