潘鹤
- 作品数：2 被引量：7H指数：1
- 供职机构：中国矿业大学材料科学与工程学院更多>>
- 发文基金：中央高校基本科研业务费专项资金国家重点基础研究发展计划更多>>
- 相关领域：一般工业技术理学更多>>
- 硅表面复合自组装膜的制备及其摩擦性能被引量：6
- 2012年
- 采用自组装技术在单晶硅表面制备了3-氨基丙基三乙氧基硅烷(APTES)-SiO2-APTES复合膜,并对其表面的组成、结构及摩擦性能进行了表征.结果表明:复合膜表面对水的接触角约为63°,且表面平整、致密,其平均粗糙度(Ra)约为0.963nm.通过原子力显微镜(AFM)和透射电子显微镜(TEM)观察到夹层中SiO2颗粒的粒径约为20-50nm,较均匀地分布在第一层APTES膜的表面.与APTES自组装单层膜(SAMs)相比,APTES-SiO2-APTES复合膜由于纳米SiO2颗粒的引入而表现出更低的摩擦系数和更长的耐磨寿命.
- 潘鹤滕淑华丁翠翠
- 关键词：单晶硅自组装复合膜
- 硅表面自组装膜的构建及其摩擦学性能研究进展被引量：1
- 2012年
- 总结了目前在单晶硅表面构建的几类典型的分子自组装膜,并着重介绍了近十几年里各类自组装膜在摩擦学性能研究方面所取得的进展。单层膜能够有效降低硅基底的摩擦系数,但是其承载能力和抗磨损性能较差,其中较为典型的是OTS(十八烷基三氯硅烷)自组装膜;有机双层膜和多层膜的出现,一定程度上改善了单层膜的承载能力和耐磨性,但膜的有序性和稳定性还有待于进一步的提高;近年来,有机/无机复合膜的研究为改善硅表面的摩擦学性能提供了一条新的途径,有望成为今后该领域研究的一个重要方向。
- 潘鹤滕淑华丁翠翠
- 关键词：单晶硅自组装膜摩擦学性能微型电子机械系统
