2024年8月28日
星期三
|
欢迎来到维普•公共文化服务平台
登录
|
进入后台
[
APP下载]
[
APP下载]
扫一扫,既下载
全民阅读
职业技能
专家智库
参考咨询
您的位置:
专家智库
>
>
洪海燕
作品数:
1
被引量:2
H指数:1
供职机构:
无锡微电子科研中心
更多>>
相关领域:
电子电信
更多>>
合作作者
贾永华
无锡微电子科研中心
郑宜钧
无锡微电子科研中心
王明善
无锡微电子科研中心
作品列表
供职机构
相关作者
所获基金
研究领域
题名
作者
机构
关键词
文摘
任意字段
作者
题名
机构
关键词
文摘
任意字段
在结果中检索
文献类型
1篇
中文期刊文章
领域
1篇
电子电信
主题
1篇
离子注入
1篇
工艺技术
1篇
光刻
1篇
硅
机构
1篇
无锡微电子科...
作者
1篇
王明善
1篇
郑宜钧
1篇
洪海燕
1篇
贾永华
传媒
1篇
半导体技术
年份
1篇
2001
共
1
条 记 录,以下是 1-1
全选
清除
导出
排序方式:
相关度排序
被引量排序
时效排序
一种新的深硅槽工艺技术
被引量:2
2001年
提出采用离子注入方法提高主掩膜光刻胶的耐干法腐蚀和腐蚀窗口磋的腐蚀速率,实现了在比较简陋的干法腐蚀设备上采用反应离子腐蚀模式进行深/浅硅槽工艺。
郑宜钧
王明善
贾永华
洪海燕
关键词:
离子注入
光刻
全选
清除
导出
共1页
<
1
>
聚类工具
0
执行
隐藏
清空
用户登录
用户反馈
标题:
*标题长度不超过50
邮箱:
*
反馈意见:
反馈意见字数长度不超过255
验证码:
看不清楚?点击换一张