毛海央
- 作品数：107 被引量：92H指数：6
- 供职机构：中国科学院微电子研究所更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金霍英东基金国家高技术研究发展计划更多>>
- 相关领域：电子电信自动化与计算机技术一般工业技术理学更多>>
- 静电注入对55nm MV/HV GGNMOS ESD性能的影响被引量：1
- 2021年
- 静电防护问题是提升集成电路可靠性面临的主要挑战之一。基于55 nm HV CMOS工艺,研究了静电注入对中压(MV)和高压(HV)GGNMOS(Gate-Grounded NMOS)器件静电防护性能的影响。研究结果表明,对MV GGNMOS器件来说,静电注入能够在有效降低开启电压(V_(t))、保持电压(V_(h))的同时,减小对二次击穿电流(I_(t2))的影响,且注入面积的改变对器件性能的影响极为有限;对HV GGNMOS器件来说,提高静电注入浓度能够有效提高静电防护能力。
- 王新泽毛海央毛海央龙克文
- 关键词：静电防护
- 一种多样性纳米结构的加工方法
- 本发明涉及一种多样性纳米结构的加工方法，其步骤包括：1)准备并清洗衬底；2)在衬底的表面上依次沉积薄膜一和薄膜二；3)在薄膜二上旋涂光刻胶，并对光刻胶进行前烘和曝光，在薄膜二上形成光刻胶图形一；4)采用氧等离子体去胶机对...
- 毛海央吴文刚张煜龙郝一龙王阳元
- 文献传递
- 复合量程微加速度计的研究被引量：9
- 2006年
- 在同一个物理过程中往往存在相差上数十倍甚至上万倍的多个加速度值需要测量,例如,分析弹体在发射和飞行过程中的受力情况,既需要测试发射过程中上万个g的加速度,也需要测试飞行过程中几个g的加速度.在这些场合用同一个加速度计很难满足整个过程的测试要求.针对类似的需求,介绍了一种由四个压阻式微加速度计组成的复合量程微加速度计,四个微加速度计量程分别为100g、500g、1000g和2000g.除了主要介绍微加速度计阵列的设计、制造和测试外,还着重介绍了低量程传感器在高过载环境下的结构防护问题.线性测试结果表明该复合量程微加速度计具有较好的线性度,因而可以同时在测量四个不同的量程的加速度值.
- 熊继军毛海央张文栋徐栋郭涛
- 关键词：压阻式体硅工艺线性度
- 架空式热电堆红外探测器
- 本发明涉及热电堆红外探测器，具体是一种架空式热电堆红外探测器。进一步改进了热电堆红外探测器。所述探测器的加工步骤包括：1、在SOI衬底正面加工两隔离槽，划分出了两个热电偶加工区；2、加工SiO2介质支撑膜；3、加工构成热...
- 谭秋林陈媛婧熊继军薛晨阳张文栋刘俊毛海央明安杰欧文陈大鹏
- 文献传递
- 纳米森林结构的制备方法及纳米森林结构的调控方法
- 本发明提供了一种纳米森林结构的制备方法及纳米森林结构的调控方法。该纳米森林结构的制备方法包括以下步骤：S1，采用包括偶联剂和聚合物的混合物在衬底上形成薄膜层；S2，对薄膜层进行等离子体轰击，形成纳米森林结构。采用等离子体...
- 杨宇东毛海央
- 复合式微加速度计
- 本发明涉及一种微加速度计，具体是用于常规弹药制导抗高过载复合式微加速度计，解决了有些物理过程存在相差上百甚至上千倍的多个加速度值需要测量，而现有技术中一个微加速度计无法完成测试的问题。包括四组微加速度计单元，所述四组微加...
- 郭涛熊继军张文栋刘俊马游春张斌珍李丽华毛海央翟成瑞李杰
- 文献传递
- 黑硅、制备工艺及基于黑硅的MEMS器件制备方法
- 本公开提供了一种黑硅制备工艺，包括：在一衬底上形成聚合物层；去除聚合物层，并利用去除聚合物层过程中的产物在聚合物层的初始位置上形成纳米森林结构；以及在纳米森林结构上沉积硅薄膜材料层，完成黑硅制备。本公开还提供了一种采用上...
- 毛海央杨宇东
- 文献传递
- 高吸收热电堆及其制作方法
- 一种高吸收热电堆及其制作方法，所述热电堆包括红外吸收层；其中，所述红外吸收层包括旋涂碳材质。本发明首次将旋涂碳材质应用到热电堆作为红外吸收层材料，利用该旋涂碳材质增强红外吸收层的吸光效果，提高热电堆的红外吸收性能。
- 周娜毛海央李俊杰高建峰杨涛李俊峰王文武陈大鹏
- 一种细颗粒物过滤结构及其制备方法
- 本发明公开了一种细颗粒物过滤结构及其制备方法。该过滤结构包括若干微小颗粒过滤结构层和若干聚合物层，每2层微小颗粒过滤结构层之间键合聚合物层；微小颗粒过滤结构层包括基底，基底上设有贯通其上端面和下端面的空气流通腔体；基底的...
- 吴文刚谌灼杰毛海央
- 文献传递
- 复合量程微加速度计中阻尼的分析与设计
- 为了避免微加速度计在工作过程中因为共振导致结构损坏,需要在结构中合理设计阻尼.本文设计了一个复合量程压阻式微加速度计,为了使结构中各个传感器具有较好的阻尼参数,通过静电键合在硅结构层下制作一玻璃层.根据Reynolds方...
- 毛海央熊继军张文栋郭涛徐栋
- 关键词：压阻式传感器
- 文献传递
