李群庆
- 作品数：47 被引量：57H指数：4
- 供职机构：清华大学更多>>
- 发文基金：国家重点基础研究发展计划国家自然科学基金霍英东基金更多>>
- 相关领域：理学电子电信一般工业技术轻工技术与工程更多>>
- 碳化硅纳米晶须生长和显微结构被引量：16
- 1998年
- 采用两步生长法生成碳化硅纳米晶须首先是二氧化硅与硅反应生成一氧化硅，再与碳纳米管先驱体反应生成β－SiC纳米晶须其直径为3～35nm，长度为2～20μm．用高分辨透射电镜研究晶须的形貌、显微结构，讨论了碳化硅纳米晶须生长机制．
- 韩伟强范守善李群庆顾秉林
- 关键词：碳化硅纳米晶须晶须显微结构
- 纳米级电子束光刻技术及ICP深刻蚀工艺技术的研究被引量：4
- 2009年
- 对100kV高压电子束光刻系统的曝光工艺进行了系统研究,针对正性电子束抗蚀剂ZEP520A进行了工艺参数的优化,在具有合理厚度、可供后续加工的光刻胶上获得了占空比为1:1,线宽为50nm的光栅图形.针对ICP刻蚀工艺进行了深入研究,探讨了刻蚀腔体气压、电极功率、气体流量等工艺参数对刻蚀效果的影响,最终在硅基底上获得了线宽为100nm,占空比为1:1,深度为900nm的光栅图形,光栅的边壁波纹起伏小于5nm.100nm以下深硅刻蚀技术的发展,有利于工作区域在可见光范围的纳米光学器件的制备.
- 李群庆张立辉陈墨范守善
- 关键词：电子束光刻反应离子刻蚀
- 一种酒糟水分含量检测的方法
- 本发明提供了一种基于近红外光谱的酒糟水分含量的检测方法，通过近红外反射光谱的测量，结合理化计量学方法进行数据预处理与分析，建立酒糟水分含量预测模型，进而实现对对酒糟水分含量快速、准确的测量。本发明的优势在于可以实现快速、...
- 李群庆金元浩刘淼张宿义熊燕飞许德富杨平秦辉涂飞勇周军蔡小波黄孟阳罗杰李慧娟
- 太阳能电池组
- 一种太阳能电池组，其包括：多个电池单元，每个电池单元均包括依次并排且接触设置的一第一电极层、一P型硅层、一N型硅层及一第二电极层，该P型硅层与该N型硅层接触并形成一P-N结区，所述多个电池单元相互电连接，每个电池单元的上...
- 李群庆金元浩范守善
- 文献传递
- 太阳能电池组
- 一种太阳能电池组，其包括：多个电池单元，每个电池单元均包括依次并排且接触设置的一第一电极层、一P型硅层、一N型硅层及一第二电极层，该P型硅层与该N型硅层接触并形成一P-N结区，所述多个电池单元相互电连接，每个电池单元的上...
- 李群庆金元浩范守善
- 文献传递
- MIM.MIS隧道结的隧穿特性研究
- 李群庆
- 关键词：隧道结
- 碳纳米管薄膜晶体管柔性CMOS逻辑器件的制备与性能研究
- CMOS 逻辑器件由于其极低的静态功耗，稳定可靠的逻辑性质从而成为电子器件的最主要基本单元。碳纳米管薄膜晶体管由于其优异的电学与机械特性，被认为是制备柔性逻辑器件的主要候选材料。我们研究了影响碳纳米管薄膜晶体管性能的因素...
- 李群庆
- 关键词：碳纳米管薄膜晶体管CMOS
- 电子元件
- 本发明涉及一种电子元件，该电子元件包括一基体；一透明导电层，该透明导电层设置于上述基体的一表面上。其中，所述的透明导电层包括一碳纳米管层。
- 李群庆姜开利刘亮范守善
- 文献传递
- 采用碳纳米管制备氮化物纳米晶须的方法
- 本发明涉及一种采用碳纳米管制备氮化物纳米晶须的方法，该方法是将与生成的不同类氮化物晶须相对应的原料置于气氛炉内，气氛炉可以是石英玻璃管炉，氧化铝管炉或碳阻式气氛炉，原料置于反应舟内，碳纳米管置于其上或与之混合，抽真空后用...
- 范守善韩伟强李群庆顾秉林
- 文献传递
- 叠层圆柱台表面等离激元器件的共振特性被引量：1
- 2017年
- 基于金属纳米结构增强光与物质的相互作用,调控光学响应是光学前沿研究。金属纳米结构能显著增强电磁场和热点空间位置调控,是表面等离激元器件应用的关键。借鉴衍射光学元件设计思想,文中提出一种简单的多尺度叠层圆柱台(double stacked nanocone,DSC)金属纳米结构,实现近/远场深度调控。在给定激发条件下,DSC纳米结构中腔模与局域表面等离激元模式间产生杂化,实现多尺度级联场增强,远场响应也得到有效调制,且"热点"能有效地定位到纳米结构的上表面。进一步,提出并研究了掩模重构的纳米加工方法,低成本、可控地制备了DSC纳米结构,工艺控制是三台阶DSC器件特性的关键,实验结果与理论设计一致。
- 朱振东朱振东白本锋谭峭峰李群庆王雪深
- 关键词：表面等离激元杂化
