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李刚

作品数:8 被引量:5H指数:1
供职机构:西安工业学院光电工程学院更多>>
发文基金:陕西省自然科学基金更多>>
相关领域:理学一般工业技术电子电信金属学及工艺更多>>

文献类型

  • 5篇期刊文章
  • 3篇会议论文

领域

  • 4篇理学
  • 3篇一般工业技术
  • 2篇电子电信
  • 1篇金属学及工艺

主题

  • 3篇数对
  • 3篇离子
  • 3篇离子镀
  • 3篇离子源
  • 3篇工艺参
  • 2篇电弧离子镀
  • 2篇真空
  • 2篇真空电弧
  • 2篇真空电弧离子...
  • 2篇膜厚
  • 2篇类金刚石
  • 2篇薄膜厚度
  • 1篇等离子
  • 1篇等离子体
  • 1篇等离子体源
  • 1篇增透
  • 1篇增透膜
  • 1篇脉冲
  • 1篇金刚石薄膜
  • 1篇均匀性

机构

  • 8篇西安工业学院
  • 2篇西安交通大学

作者

  • 8篇蔡长龙
  • 8篇李刚
  • 7篇严一心
  • 6篇杭凌侠
  • 3篇朱昌
  • 2篇徐均琪
  • 1篇弥谦
  • 1篇王季梅
  • 1篇权贵秦

传媒

  • 2篇西安工业学院...
  • 1篇真空科学与技...
  • 1篇真空电子技术
  • 1篇光学仪器
  • 1篇中国真空学会...
  • 1篇第九届全国光...

年份

  • 1篇2003
  • 4篇2002
  • 3篇2001
8 条 记 录,以下是 1-8
排序方式:
脉冲碳等离子体源发射特性研究被引量:1
2003年
 研究讨论了在脉冲工作方式下,碳等离子体源的发射特性.根据离子束流分布和膜层厚度测试结果,分析了影响脉冲碳等离子体源发射特性的因素.给出了改善脉冲碳等离子体源发射特性的途径.
杭凌侠蔡长龙弥谦严一心李刚朱昌
关键词:真空电弧离子镀
脉冲离子源所镀膜层厚度分布曲线的测量被引量:2
2002年
为了解决大面积类金刚石薄膜的均匀性,首先要研究脉冲离子源所镀制的类金刚石薄膜的厚度分布曲线。针对这一目的,做了大量工艺实验,在不同的脉冲离子源电源参数(主回路电压,脉冲频率)、基片高度以及磁场等工艺参数下制备了样品,并选择了一种合适的膜厚测量仪器进行了膜厚分布测量,获得了在各种工艺参数下脉冲离子源所镀膜层厚度的分布曲线。
蔡长龙王季梅李刚杭凌侠徐均琪严一心
脉冲真空电弧离子源工艺参数对薄膜厚度分布的影响被引量:1
2002年
薄膜厚度的均匀性是影响沉积方法应用的一个重要的因素,利用脉冲真空电弧离子镀技术在Si基片上沉积山类金刚石薄膜,采用轮廓仪对膜的厚度进行了测量,研究服不同工艺参数对薄膜均匀性的影响。实验结果表明:脉冲离子源阴极和基片的距离,主回路工作电压以及沉积频率对薄膜均匀性有不同程度的影响。根据分析结果,找出最佳工艺参数,通过比较两种离子源的结果表明,离子源结构对其镀膜均匀性有较大的影响。
李刚蔡长龙
关键词:离子源工艺参数
脉冲真空电弧离子源工艺参数对薄膜厚度分布的影响
薄膜厚度的均匀性是影响沉积方法应用的一个重要的因素。利用脉冲真空电弧离子镀技术在si基片上沉积出类金刚石薄膜,采用轮廓仪对膜的厚度进行了测量,研究了不同工艺参数对薄膜均匀性的影响。实验结果表明:脉冲离子源阴极和基片的距离...
李刚蔡长龙杭凌侠严一心
关键词:离子镀
文献传递
脉冲真空电弧离子镀发射特性的测量被引量:1
2001年
通过大量工艺实验 ,镀制了改变脉冲真空电弧离子源电源参数 (主回路电压 ,脉冲频率 )、基片高度以及磁场等工艺参数的样品 ,选择了一种合适的膜厚测量仪器进行了膜厚分布测量 。
蔡长龙杭凌侠李刚徐均琪严一心朱昌
关键词:离子源类金刚石薄膜
脉冲真空电弧制备类金刚石红外增透膜的性能测试
类金刚石(DLC)薄膜作为新一代的光学薄膜材料具有十分优异的性能:红外区透明、热导率高、耐摩擦、化学性能稳定、耐热冲击……等等,能较好地满足红外光学系统的需要,采用脉冲真空电弧制备类金刚石薄膜,膜层性能稳定、3.4μm处...
严一心蔡长龙李刚杭凌侠朱昌
文献传递
脉冲真空电弧离子源工艺参数对薄膜厚度分布的影响
薄膜厚度的均匀性是影响沉积方法应用的一个重要的因素.利用脉冲真空电弧离子镀技术在Si基片上沉积出类金刚石薄膜,采用轮廓仪对膜的厚度进行了测量,研究了不同工艺参数对薄膜均匀性的影响.实验结果表明:脉冲离子源阴极和基片的距离...
李刚蔡长龙杭凌侠严一心
关键词:薄膜厚度真空电弧离子镀
文献传递
脉冲电弧离子源镀膜均匀性研究被引量:1
2002年
薄膜厚度的均匀性是影响沉积方法应用的一个重要因素 .利用脉冲电弧离子镀技术在硅基片上沉积类金刚石薄膜 ,并用轮廓仪对薄膜的厚度进行测量 ,研究了不同参数对薄膜均匀性的影响 .结果表明 :离子源阴极和基片的距离、主回路工作电压以及沉积频率都不同程度地影响薄膜均匀性 ,文章还就不同类型离子源对薄膜均匀性的影响进行了探讨 .
李刚蔡长龙权贵秦严一心
关键词:离子源均匀性薄膜厚度
共1页<1>
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