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曾雪锋

作品数：27 被引量：63H指数：6
供职机构：清华大学信息科学技术学院微电子学研究所更多>>
发文基金：国家自然科学基金清华大学基础研究基金资助清华大学校科研和教改项目更多>>
相关领域：电子电信理学机械工程自动化与计算机技术更多>>

合作作者

文献类型

  • 16篇期刊文章
  • 7篇会议论文
  • 3篇专利
  • 1篇学位论文

领域

  • 10篇电子电信
  • 7篇理学
  • 6篇机械工程
  • 2篇化学工程
  • 2篇自动化与计算...
  • 1篇动力工程及工...

主题

  • 17篇介质上电润湿
  • 9篇微流体
  • 6篇微机械
  • 5篇芯片实验室
  • 4篇水性
  • 4篇全分析
  • 4篇微全分析系统
  • 4篇芯片
  • 3篇液滴
  • 3篇支撑物
  • 3篇驱动器
  • 3篇微机电系统
  • 3篇微流控
  • 3篇接触角
  • 3篇介质
  • 3篇介质层
  • 3篇机电系统
  • 3篇极板
  • 3篇薄膜介质
  • 3篇电系统

机构

  • 27篇清华大学

作者

  • 27篇曾雪锋
  • 26篇岳瑞峰
  • 26篇刘理天
  • 26篇吴建刚
  • 9篇胡欢
  • 7篇董良
  • 7篇康明
  • 3篇王喆垚
  • 1篇何枫

传媒

  • 3篇仪器仪表学报
  • 3篇电子器件
  • 2篇分析化学
  • 2篇光学技术
  • 2篇第九届全国敏...
  • 1篇电子学报
  • 1篇清华大学学报...
  • 1篇中国机械工程
  • 1篇中国科学（E...
  • 1篇微细加工技术
  • 1篇真空科学与技...
  • 1篇中国微米纳米...

年份

  • 1篇2007
  • 11篇2006
  • 9篇2005
  • 6篇2004
共 27 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
基于介质层上电润湿的微液滴驱动器
本发明公开了属于微全分析系统和微机电系统范围的一种基于介质层上电润湿的微液滴驱动器。在单晶硅上有一层热氧化SiO<Sub>2</Sub>下极板衬底，在衬底上为Ti/Pt双层下电极阵列，一层薄膜介质层覆盖在下电极阵列上面，...
岳瑞峰曾雪锋吴建刚胡欢刘理天
文献传递
用于微全分析系统的数字化微流控芯片的研究被引量：11
2006年
研制出一种基于介质上电润湿(electrowetting-on-d ielectric,EWOD)机制的可编程数字化微流控芯片。它采用“三明治”结构:受控离散液滴被夹在两极板之间;下极板以硅为衬底,掺杂多晶硅作为芯片微电极阵列,其上涂覆有Teflon(AF1600薄膜的S iO2作为疏水性介质层;上极板是涂覆有Teflon(AF1600疏水薄膜的透明电极。通过分析数字化微流控系统的基本操作(离散液滴的传输、拆分及混合)的物理机理和模拟优化,在35 V低驱动电压下实现了约0.35μL和0.45μL去离子水离散液滴的传输和合并,并在70 V驱动电压下实现了0.8μL液滴的拆分等操作。
吴建刚岳瑞峰曾雪锋康明胡欢王喆垚刘理天
关键词：微机械介质上电润湿
用于“芯片实验室”的静电机制微液滴控制芯片的研制被引量：6
2006年
提出了一种结构简单、可编程控制的离散液滴控制芯片。它以硅为衬底,重掺杂多晶硅为微电极阵列,氧化硅为介质层,碳氟聚合物薄膜为疏水层。它克服了传统连续流传输、混合的局限性及层流条件的限制,通过控制施加在微电极阵列上的电压脉冲时序,成功实现了对离散液滴的快速传输和混合。在30 V驱动电压下,约0.9μL去离子水液滴传输速度可达24 mm/s;在40 V驱动电压下,约0.8μL去离子水液滴和约1.4μL的0.0001 mol/L Rhodam ine液滴在7/30 s内完成了快速混合。另外,还提出利用提高液滴速度及来回晃动混合后的液滴等几种加强混合方法。
吴建刚岳瑞峰曾雪锋刘理天
关键词：静电驱动微流体微机电系统
新型低驱动电压电子纸显示单元的研究被引量：1
2006年
研制了一种基于介质上电润湿(electrow etting-on-d ielectric,EWOD)的新型低驱动电压电子纸反射式显示单元器件.本文分析了器件的工作原理以及性能影响因素,并提出用优化的氮化硅与碳氟聚合物复合介质层来改善器件的驱动电压.实验证实,器件在15V低电压驱动下成功实现了“开启”、“关闭”功能,其“开启”、“关闭”响应时间小于1/30 s.
吴建刚岳瑞峰曾雪锋刘理天
关键词：介质上电润湿微流体微电子机械系统
介质上电润湿液滴驱动的研究
制备了介质上电润湿液滴驱动器,该驱动器采用“三明治”结构下极板由Ti/Pt微电极阵列、Si3N4介质薄膜、碳氟聚合物疏水薄膜组成,上极板是覆盖有疏水薄膜的透明电极,液滴被夹在上下电极之间。分析了驱动器的驱动原理、驱动阻尼...
吴建刚岳瑞峰曾雪锋刘理天
关键词：微流体芯片实验室微机械介质上电润湿
文献传递
基于介质上电润湿的数字微流控器件的模拟被引量：5
2006年
根据介质上电润湿的基本理论,利用计算流体动力学软件CFD-ACE+,成功模拟出了典型的“三明治“结构数字微流控器件中水滴输运、产生、分离和合并的全过程。模拟结果显示,上下极板间距和液滴输运速度之间呈线性关系;并且,当极板间距大于200μm时,液滴分离容易失败。模拟结果与已有的实验结果符合的非常好。
岳瑞峰曾雪锋吴建刚康明刘理天
关键词：介质上电润湿
介质上电润湿液滴驱动的研究被引量：7
2005年
制备了介质上电润湿液滴驱动器,该驱动器采用“三明治”结构下极板由Ti/Pt微电极阵列、Si3N4介质薄膜、碳氟聚合物疏水薄膜组成,上极板是覆盖有疏水薄膜的透明电极,液滴被夹在上下电极之间。分析了驱动器的驱动原理、驱动阻尼以及介质层捕获电荷的影响,讨论硅油填充“三明治”结构和空气填充“三明治”结构的差异。
吴建刚岳瑞峰曾雪锋刘理天
关键词：微流体芯片实验室微机械介质上电润湿
一种介质层上的电润湿微液滴驱动器
本实用新型公开了属于微全分析和微机电装置范围的一种介质层上的电润湿微液滴驱动器。在单晶硅上有一层热氧化SiO<Sub>2</Sub>下极板衬底，在衬底上为Ti/Pt下电极阵列，一层薄膜介质层覆盖在上面，碳氟聚合物薄膜厌水...
岳瑞峰曾雪锋吴建刚胡欢刘理天
文献传递
基于介质上电润湿的液滴产生器的研究被引量：4
2007年
根据介质上电润湿的基本原理,对用于数字微流控系统的“三明治”结构器件中影响液滴输运和产生的因素进行了理论分析,并研制出了一种新型液滴产生器原型:液体被夹在上下两个电极板之间;下极板采用硅作为衬底、LPCVD掺杂多晶硅微电极阵列上热氧化生长的的SiO2薄膜作为介质层;上极板采用ITO透明导电玻璃板作为地电极;另外,在上下极板的表面都均匀旋转涂覆了一层30nm厚的Teflon薄膜为表面疏水层.实验结果表明,在空气气氛中,该器件在10Hz70V的脉冲电压下成功地实现了从蓄水池中对去离子水滴的分发.
岳瑞峰吴建刚曾雪锋康明刘理天
关键词：介质上电润湿芯片实验室
感应耦合等离子体化学气相淀积制备厌水性碳氟聚合物薄膜及其特性的研究
本文采用ICP-CVD法并以c-C4F8为反应气体制备出厌水性的碳氟聚合物薄膜,并研究了淀积条件与去离子水和薄膜之间的静态接触角的关系.结果表明,随着c-C4F8的气体流量增加和射频功率减小,去离子水和薄膜之间的静态接触...
曾雪锋岳瑞峰吴建刚胡欢康明刘理天
关键词：感应耦合等离子体化学气相淀积接触角
文献传递
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