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曾军

作品数：1 被引量：0H指数：0
供职机构：赫瑞瓦特大学更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文专利

主题

  • 1篇体表
  • 1篇腔体
  • 1篇微系统
  • 1篇金属
  • 1篇封装
  • 1篇封装结构
  • 1篇衬底

机构

  • 1篇赫瑞瓦特大学

作者

  • 1篇曾军
  • 1篇王长海

年份

  • 1篇2011
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
密封方法
这项发明提供一个应用于一个微系统器件（17）的含有腔体的封装结构（1），包括一个面对腔体（15）的带有表面（4）的第一个衬底（3），一个背对着腔体（15）的带有表面（6）的第二个衬底（5）和一个复和材料环（7）。这个环有...
王长海曾军
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