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徐根保

作品数:21 被引量:9H指数:1
供职机构:中国建材国际工程集团有限公司更多>>
发文基金:安徽省科技攻关计划更多>>
相关领域:一般工业技术理学电子电信机械工程更多>>

文献类型

  • 18篇专利
  • 3篇期刊文章

领域

  • 5篇一般工业技术
  • 2篇电子电信
  • 2篇理学
  • 1篇机械工程

主题

  • 11篇溅射
  • 8篇磁控
  • 8篇磁控溅射
  • 6篇折射率
  • 6篇靶材
  • 4篇刻蚀
  • 3篇导电
  • 3篇导电玻璃
  • 3篇匹配层
  • 3篇溅射制备
  • 3篇高折射率
  • 3篇工作气体
  • 3篇AZO薄膜
  • 2篇等离子体刻蚀
  • 2篇选择性吸收膜
  • 2篇眩光
  • 2篇掩膜
  • 2篇掩膜版
  • 2篇阴极
  • 2篇绒面

机构

  • 15篇蚌埠玻璃工业...
  • 15篇中国建材国际...

作者

  • 21篇徐根保
  • 15篇王芸
  • 13篇姚婷婷
  • 12篇曹欣
  • 11篇蒋继文
  • 9篇李刚
  • 7篇彭寿
  • 6篇杨勇
  • 6篇张宽翔
  • 5篇张宽翔
  • 4篇杨勇
  • 2篇钱宝铎
  • 2篇杨勇
  • 1篇沈洪雪
  • 1篇金良茂

传媒

  • 1篇稀有金属材料...
  • 1篇硅酸盐学报
  • 1篇真空科学与技...

年份

  • 1篇2022
  • 1篇2020
  • 1篇2019
  • 3篇2017
  • 7篇2016
  • 3篇2015
  • 3篇2014
  • 2篇2013
21 条 记 录,以下是 1-10
排序方式:
薄膜太阳能电池前电极用绒面AZO薄膜的制备方法
一种薄膜太阳能电池前电极用绒面AZO薄膜的制备方法,包括如下步骤:(1)清洗玻璃基片,后用高压N2吹干;(2)采用反应离子束技术对所述玻璃基片表面进行刻蚀,使所述玻璃基片表面具有绒面结构;并且(3)采用磁控溅射技术在所述...
徐根保王芸杨勇曹欣姚婷婷张宽翔金克武蒋继文
文献传递
具有太阳能选择性吸收薄膜膜系的制备方法
一种具有太阳能选择性吸收薄膜膜系的制备方法,包括如下步骤:(1)采用氢氟酸和TMAH混合后的复合溶液对金属基片进行喷淋(2)清洗金属基片,后用高压N<Sub>2</Sub>吹干;(3)采用磁控溅射技术在所述金属基片表面微...
彭寿杨勇王芸徐根保李刚曹欣姚婷婷蒋继文张宽翔金克武
文献传递
一种消影导电玻璃
本实用新型公开一种消影导电玻璃,包括玻璃基板,玻璃基板上依次设有SiO<Sub>2</Sub>膜层、ITO膜层与高折射率膜层,所述高折射率膜层为Nb<Sub>2</Sub>O<Sub>5</Sub>膜层或TiO<Sub>...
李刚蒋继文金克武曹欣张宽翔杨勇姚婷婷王芸徐根保
文献传递
脉冲直流溅射制备五氧化二铌薄膜的方法
一种脉冲直流溅射制备五氧化二铌薄膜的方法,包括如下步骤,提供基板,将基板先进行前处理,然后放入溅射腔室中;及提供靶材,将所述靶材放入溅射腔室中;以及在电源的作用下,采用脉冲直流溅射在基板上溅射制备五氧化二铌薄膜。根据本发...
彭寿李刚王芸徐根保蒋继文金克武曹欣张宽翔杨勇姚婷婷
文献传递
能改变靶表面磁通量的磁控溅射靶
一种能改变靶表面磁通量的可移动磁控溅射靶,包括靶材组件和磁体组件,所述靶材组件和所述磁体组件之间可以相对运动。本实用新型的能改变靶表面磁通量的可移动磁控溅射靶,由于有电子控制单元,磁体组件水平和垂直方向的运动速率可调,可...
徐根保杨勇金克武蒋继文张宽翔曹欣姚婷婷
文献传递
靶材刻蚀对磁控溅射制备ZnO:Al薄膜性能空间分布的影响
2016年
采用未经使用和经长时间使用后的新旧掺铝氧化锌(AZO)圆形平面陶瓷靶,直流磁控溅射制备AZO薄膜,基片分别正对靶材水平放置和立在屏蔽罩旁竖直放置,并通过X射线衍射仪、霍尔效应测试系统、光学椭偏仪等设备分析其结构和光电性能,系统地研究靶材刻蚀对磁控溅射制备AZO薄膜性能空间分布的影响。研究表明,氧负离子是造成靶材刻蚀导致薄膜性能空间差异的主要原因,对于水平放置径向分布的AZO薄膜,采用新靶制备时,靶材刻蚀位置处,氧负离子对薄膜损伤作用最大,(002)晶面间距增大,电学性能最差,而在正对靶中心及其他位置处电学性能较佳,随着靶材刻蚀的加深,氧负离子对正对靶中心位置处的薄膜损伤作用最大,结晶性能和电学性能最差;而对于竖直放置纵向分布的AZO薄膜,由于受氧负离子作用弱,采用新旧靶制备的薄膜性能分布规律相似,薄膜电学和结晶性能较水平放置均有所提升,某些位置处电阻率可达(7~8)×10^(-4)Ω·cm,但可见光透过率有所下降。
彭寿张宽翔蒋继文杨勇姚婷婷曹欣李刚金克武徐根保王芸
关键词:AZO薄膜氧负离子
一种消除阴极背面辉光放电装置
本实用新型涉及一种消除阴极背面辉光放电装置,包括阴极背板(1),其特征在于:在阴极背板(1)上设有绝缘板(2)。本实用新型的优点:本实用新型提供的装置不仅可以解决平面阴极全部放置在腔体内,不会发生背板辉光放电的问题,而且...
徐根保钱宝铎徐学东金克武
文献传递
可实现可见光催化的N掺杂TiO<Sub>2</Sub>薄膜的制备方法
一种可实现可见光催化的N掺杂TiO<Sub>2</Sub>薄膜的制备方法,包括如下步骤:(a)用N离子源轰击TiO<Sub>2</Sub>薄膜;并且(b)使得所述薄膜中N元素的掺杂量提高到21%。本发明的可实现可见光催化...
徐根保姚婷婷杨勇金克武蒋继文张宽翔曹欣
文献传递
消影玻璃中折射率匹配层的连续沉积装置
一种消影玻璃中折射率匹配层的连续沉积装置,包括第一溅射单元,其使用第一工作气体对靶材进行溅射,以使得所述靶材材料的原子沉积在基片上;及第二溅射单元,其使用第二工作气体对所述靶材进行溅射,以使得所述靶材材料的原子沉积在所述...
徐根保王芸张宽翔曹欣姚婷婷杨勇金克武蒋继文
文献传递
高透过消影导电玻璃
一种高透过消影导电玻璃,包括沿垂直方向依次层叠的玻璃基板,折射率匹配层,和透明导电膜层,所述折射率匹配层由高折射率层,折射率渐变层,及低折射率层组成,所述折射率渐变层沿垂直方向位于所述高折射率层和所述低折射率层之间,所述...
徐根保蒋继文张宽翔姚婷婷曹欣杨勇金克武
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