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彭志辉

作品数：4 被引量：17H指数：2
供职机构：上海交通大学微电子学院更多>>
相关领域：电子电信理学经济管理航空宇航科学技术更多>>

合作作者

文献类型

  • 2篇期刊文章
  • 1篇会议论文

领域

  • 1篇经济管理
  • 1篇电子电信
  • 1篇理学

主题

  • 2篇特种气体
  • 2篇气体
  • 2篇阈限值
  • 2篇限值
  • 1篇代工
  • 1篇晶体
  • 1篇晶圆
  • 1篇晶圆代工
  • 1篇半导体
  • 1篇半导体晶体

机构

  • 3篇上海交通大学

作者

  • 3篇黄其煜
  • 3篇彭志辉

传媒

  • 1篇半导体技术
  • 1篇集成电路应用
  • 1篇2005中国...

年份

  • 3篇2005
共 4 条 记 录，以下是 1-3
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排序方式：
浅析半导体晶圆代工厂的特气供应系统被引量：3
2005年
本文先从特种气体在半导体晶圆代工厂的应用及气体的不同特性进行了分类和讨论,进而对特种气体在晶圆厂的主要供应流程及其要点进行了较具体阐述,并且对在晶圆厂有着重要作用的关键管件及设计要点进行了探讨,以便读者对整个特种气体供应系统在晶圆代工厂的储存、输送与控制等有较为清楚的了解。
彭志辉黄其煜
关键词：阈限值
半导体代工厂的特气供应系统探讨被引量：16
2005年
对在半导体晶圆代工厂中应用的特种气体及气体的不同特性进行了分类和讨论,进而对特种气体在晶圆厂的主要供应流程及其要点进行了阐述,并且对在晶圆厂有着重要作用的关键管件及重要设计进行了探讨。
彭志辉黄其煜
关键词：晶圆代工特种气体阈限值
浅析半导体晶元代工厂的特气供应系统
本文对特种气体在半导体晶元代工厂的应用及气体的不同特性进行了分类和讨论,对特种气体在晶元厂的主要供应流程及其要点进行了较具体阐述,并对在晶元厂有着重要作用的关键管件及设计要点进行了探讨,以便读者对整个特种气体供应系统在晶...
彭志辉黄其煜
关键词：半导体晶体特种气体
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