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超硬薄膜β-C_3N_4的制备和表征被引量：5: 2000年; 本文采用微波等离子体化学气相沉积 (MPCVD)法 ,用高纯氮气 (99.999% )和甲烷 (99.9% )作反应气体 ,在单晶硅和多晶铂基片上沉积 β -C3N4薄膜。X射线能谱 (EDX)分析了这种晶态C -N膜的化学成分 ,对不同样品的分析结果表明 ,N/C原子比在 1.1～ 2 .0范围内。X射线衍射结构分析结果与计算的α -和 β -C3N4单相X射线的峰位和强度相比较 ,说明它是α -和 β -C3N4的混合物。FT -IR和Raman谱支持C -N共价键的存在。薄膜的体弹性模量达到 349GPa。; 张永平顾有松常香荣田中卓时东霞张秀芳袁磊; 关键词：超硬薄膜 MPCVD

MPCVD制备β-C_3N_4薄膜的成分和结构研究: 2000年; M .L .Cohcn和A .Y .Liu利用半经验公式和第一性原理计算表明 ,如果C和N能够结合成类似于 β Si3 N4结构的化合物 β C3 N4,由于C N的键长比C C的键长短和键的离子性小 ,它的体弹性模量B约为 483GPa至 42 7GPa ,接近甚至超过金刚石的体弹性模量。这是人类第一次从理论上预言一种超硬性能的新材料 ,β C3 N4的实验合成不仅可以为人类提供一种全新的材料 ,而且能够进一步检验理论预言的正确性。本文采用微波等离子体化学气相沉积法 (MPCVD) ,用高纯氮气 ( 99.999% )和甲烷 ( 99.9% )作反应气体 ,在单晶Si( 1 0 0 )基片上沉积C3 N4薄膜。利用扫描电子显微镜 (SEM)观察薄膜形貌表明 ,薄膜由密排的六棱晶棒组成。X射线能谱 (EDX)分析了这种晶态C N膜的化学成分 ,对不同样品不同区域的分析结果表明 ,N/C比接近于 4/3。X射线衍射 (XRD)结构分析说明该膜主要由 β C3 N4和α C3 N4组成。利用XPS分析说明薄膜为C+ N-极性键结合 ,FT IR和Raman谱支持C N公价键的存在。; 张永平顾有松常香荣田中卓时东霞张秀芳袁磊

微波等离子体化学气相沉积法制备C_3N_4薄膜的结构研究被引量：9: 2001年; 采用微波等离子体化学气相沉积法 ,用高纯氮气 (99.999% )和甲烷 (99.9% )作反应气体 ,在单晶Si(10 0 )基片上沉积C3N4薄膜 .利用扫描电子显微镜观察薄膜形貌 ,表明薄膜由密排的六棱晶棒组成 .X射线衍射和透射电子显微镜结构分析说明该薄膜主要由β C3N4和α C3N4组成 ,并且这些结果与α C3N4相符合较好 .由虎克定律近似关系式计算了α 和β C3N4的傅里叶变换红外光谱和Raman光谱 ,实验结果支持C—N共价键的存在 .; 张永平顾有松高鸿钧张秀芳; 关键词：微波等离子体化学气相沉积法

C_3N_4硬膜的人工合成和鉴定被引量：12: 1999年; 用微波等离子体化学气相沉积法 (MPCVD)在硅和铂衬底上得到高质量的C3 N4薄膜 .计算了α C3 N4和β C3 N4单相X射线谱的峰位和强度 ,沉积膜的X射线谱具有两相的所有强峰 ,证明它是α 和β C3 N4的混合物 .总的N/C比在 1 0～ 2 0之间 .FT IR和Raman谱支持C—N共价键的存在 .体积弹性模量达到 34 9GPa .; 顾有松张永平常香荣田中卓陈难先时东霞张秀芳袁磊; 关键词：氮化碳 MPCVD 硬膜化学气相沉积

理论预言的氮化碳超硬膜研究新进展被引量：12: 1999年; β－Ｃ３Ｎ４的理论预言发表之后，经过广大科学工作者近１０年的努力，已经取得了一些重要进展．理论上对碳氮化合物的研究已经更为广泛和深入．实验合成方面也取得了长足的进展．文章作者在Ｓｉ、Ｐｔ等基底上初步合成了晶态的β－Ｃ３Ｎ４薄膜，实验分析表明，薄膜主要由α－或β－Ｃ３Ｎ４晶相组成，成分接近理论值，Ｎ／Ｃ原子比接近４／３。; 顾有松张永平常香荣田中卓时东霞张秀芳袁磊; 关键词：超硬材料氮化碳晶态

微波等离子体化学气相沉积法制备C_3N_4薄膜的研究被引量：2: 2000年; 本文采用微波等离子体化学气相沉积法(MPCVD),高纯N2(99.999%)和CH4(99.9%)作反应气体,在多晶Pt(99.99%)基片上沉积C3N4薄膜。X-射线能谱(EDX)分析结果表明N/C原子比为1.0～1.4,接近C3N4的化学比;X射线衍射谱说明薄膜主要由β和α-C3N4组成;FT-IR谱和Raman谱支持C-N键的存在。; 张永平顾有松常香荣田中卓时东霞张秀芳袁磊; 关键词：微波等离子体化学气相沉积

用微波等离子体CVD制备C_3N_4薄膜被引量：5: 2000年; 采用微波等离子体化学气相沉积法（MPCVD），使用高纯N2（99．999％）和CH4（99．9％）作反应气体，在多晶Pt（9．99％）基片上沉积C3N4薄膜X射线能潜（EDX）分析结果表明N／C原子比为1．0～1．4；接近C3N4的化学比；X射线衍射谱（XRD）说明薄膜生要由β-和α-C3N4组成；X射线光电子谱（XPS）、傅立叶变换红外谱（FT－IR）和喇曼（Raman）谱说明在C3N4薄膜中存在C－N键.; 张永平顾有松常香荣田中卓时东霞张秀芳袁磊; 关键词：微波等离子体化学气相沉积

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张秀芳