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张慧慧

作品数：10 被引量：0H指数：0
供职机构：中国科学院微电子研究所更多>>
相关领域：电子电信理学更多>>

合作作者

文献类型

  • 9篇专利
  • 1篇会议论文

领域

  • 3篇电子电信
  • 1篇理学

主题

  • 4篇晶体
  • 4篇光子
  • 4篇光子晶体
  • 4篇硅基
  • 3篇三角晶格
  • 3篇线缺陷
  • 2篇低损耗
  • 2篇氧化硅
  • 2篇制作方法
  • 2篇透射
  • 2篇透射谱
  • 2篇转换器
  • 2篇模斑转换器
  • 2篇模数转换
  • 2篇模数转换器
  • 2篇介质
  • 2篇光斑
  • 2篇光传输
  • 2篇硅栅
  • 2篇复合介质

机构

  • 10篇中国科学院微...

作者

  • 10篇张慧慧
  • 10篇周静涛
  • 8篇申华军
  • 7篇杨成樾
  • 6篇刘焕明
  • 5篇刘新宇

年份

  • 1篇2014
  • 2篇2013
  • 2篇2012
  • 2篇2011
  • 2篇2010
  • 1篇2009
共 10 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
一种50nm及以下的硅栅结构的制作方法
本发明公开了一种50nm及以下的硅栅结构的制作方法，该方法先制作出100nm左右的粗硅栅，然后再经过二次处理形成50nm及以下尺寸的硅栅结构。该方法工艺简单，降低了细光栅制作过程中对光刻工艺的难度要求，解决了器件可重复性...
杨成樾周静涛张慧慧刘焕明申华军
基于自准直效应的光子晶体偏振分束器结构
本发明公开了一种基于自准直效应的光子晶体偏振分束器结构，该光子晶体偏振分束器结构是在二维介质基板中打孔形成正三角晶格结构，并用填充介质填充孔形成光子晶体自准直结构，其中对沿着电磁波入射方向的由部分正三角晶格结构形成四边形...
张慧慧申华军周静涛刘新宇
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具有阶梯状V型槽结构的硅基光学基板及其制作方法
本发明公开了一种具有阶梯状V型槽结构的硅基光学基板及其制作方法。该硅基光学基板由制作于单晶硅片上的具有不同宽度和深度的V型槽级连在一起构成的，该些V型槽通过一次各向异性湿法腐蚀完成，在光轴方向上严格准直并在对接处形成台阶...
杨成樾申华军周静涛张慧慧
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硅基复合介质模斑转换器及其制备方法
本发明公开了一种硅基复合介质模斑转换器及其制备方法。该模斑转换器在沿光传输方向上交替由硅和氧化硅两种材料按不同的组分比例排列在一起，构成周期结构。通过两种材料组分比例的变化实现模斑转换器等效折介质射率的变化，进而实现光斑...
杨成樾周静涛张慧慧刘焕明
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基于光子晶体自准直效应的光模数转换器量化方法
本发明公开了一种基于光子晶体自准直效应的光模数转换器量化方法，该方法包括：在二维介质基板中填充一种填充介质，并在介质基板上引入正三角晶格的另一种填充介质，形成光子晶体自准直结构；依据该光子晶体自准直结构的透射谱确定透射率...
周静涛刘新宇申华军张慧慧杨成樾刘焕明
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一种采用多模干涉耦合的光延时器
本发明公开了一种采用多模干涉耦合的光延时器，该光延时器采用全通滤波器结构，该全通滤波器结构是若干个微环谐振腔依次与总线波导耦合的结构，其中微环谐振腔与总线波导之间的耦合段为2×2多模干涉耦合器。本发明采用多模干涉耦合结构...
周静涛申华军张慧慧刘新宇
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硅基复合介质模斑转换器及其制备方法
本发明公开了一种硅基复合介质模斑转换器及其制备方法。该模斑转换器在沿光传输方向上交替由硅和氧化硅两种材料按不同的组分比例排列在一起，构成周期结构。通过两种材料组分比例的变化实现模斑转换器等效折介质射率的变化，进而实现光斑...
杨成樾周静涛张慧慧刘焕明
一种50nm及以下的硅栅结构的制作方法
本发明公开了一种50nm及以下的硅栅结构的制作方法，该方法先制作出100nm左右的粗硅栅，然后再经过二次处理形成50nm及以下尺寸的硅栅结构。该方法工艺简单，降低了细光栅制作过程中对光刻工艺的难度要求，解决了器件可重复性...
杨成樾周静涛张慧慧刘焕明申华军
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基于光子晶体自准直效应的光模数转换器量化方法
本发明公开了一种基于光子晶体自准直效应的光模数转换器量化方法，该方法包括：在二维介质基板中填充一种填充介质，并在介质基板上引入正三角晶格的另一种填充介质，形成光子晶体自准直结构；依据该光子晶体自准直结构的透射谱确定透射率...
周静涛刘新宇申华军张慧慧杨成樾刘焕明
基于自准直特性的硅基光子晶体的应用研究(英文)
硅基光子晶体在半导体技术中具有操控光子的优异特性,文中首先展示了基于自准直特性的硅基光子晶体的应用,接着采用时域有限差分法计算了硅基光子晶体的能带结构,结果发现不同模式的硅基光子晶体具有不同的能带结构和光子带隙。进一步为...
张慧慧申华军周静涛刘新宇
关键词：光子晶体带隙
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