史强
- 作品数：5 被引量：2H指数：1
- 供职机构：中国科学院电工研究所更多>>
- 相关领域：电子电信自动化与计算机技术更多>>
- 电子束投影曝光机的标记检测系统研究
- 本文介绍缩小投影电子束曝光实验装置中的标记检测系统,给出了实验中得到的标记检测重复精度,提出进一步提高精度的方法.
- 靳鹏云史强
- 关键词：电子束曝光
- 文献传递
- 电子束缩小投影曝光机数字对准处理技术被引量：1
- 2002年
- 介绍电子束缩小投影曝光机对准系统的构成及原理 ,阐述数字处理技术在对准系统中的应用 ,以及对准数据的产生及数字处理的软件设计 。
- 史强靳鹏云张福安
- 电子束缩小投影曝光机对准模拟软件设计
- 2002年
- 文章介绍了对准技术,设计出用于电子束缩小投影曝光机的标记对准模拟软件,阐述其数学模型和算法设计,并模拟出标记对准的背散射信号。
- 史强靳鹏云张福安
- 关键词：软件设计
- 高能电子束缩小投影曝光机标记信号检测及对准技术的研究
- 该论文介绍了电子束缩小投影曝光机标记信号检测及对准技术的相关系统设计、流程设计、算法设计等,给出了实验数据和结果,实现了3б为45nm的检测精度.在电子束缩小投影曝光系统对准技术的原理实验中,介绍了电子束缩小投影曝光机对...
- 史强
- 关键词：信号检测模拟软件
- 文献传递
- 电子束缩小投影曝光机对准模拟软件应用被引量：1
- 2002年
- 介绍了用于电子束缩小投影曝光机的标记对准模拟软件及标记图形 ,模拟出标记对准的背散射信号 ,并与实际实验信号图形进行了对比。
- 史强靳鹏云张福安
