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刘义冬

作品数：4 被引量：3H指数：1
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所更多>>
发文基金：上海-AM基金国家重点基础研究发展计划更多>>
相关领域：自动化与计算机技术电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 2篇专利
  • 1篇期刊文章
  • 1篇学位论文

领域

  • 1篇电子电信
  • 1篇自动化与计算...

主题

  • 4篇微机械
  • 3篇热电堆
  • 3篇红外
  • 2篇多晶
  • 2篇多晶硅
  • 2篇氧化物半导体
  • 2篇探测器
  • 2篇微电子
  • 2篇微电子机械
  • 2篇微电子机械系...
  • 2篇微机械热电堆
  • 2篇金属氧化物半...
  • 2篇互补金属氧化...
  • 2篇各向异性腐蚀
  • 2篇红外探测
  • 2篇红外探测器
  • 2篇红外吸收
  • 2篇半导体
  • 2篇CMOS兼容
  • 1篇兼容性

机构

  • 4篇中国科学院

作者

  • 4篇刘义冬
  • 3篇李铁
  • 3篇王翊
  • 3篇王跃林
  • 2篇熊斌

传媒

  • 1篇功能材料与器...

年份

  • 1篇2008
  • 1篇2007
  • 2篇2006
共 4 条 记 录，以下是 1-4
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排序方式：
CMOS兼容的微机械P/N多晶硅热电堆红外探测器
随着红外探测技术在军事和民用领域的地位日益提高，近年来非制冷红外技术已成为红外技术低成本、小型化的主流发展方向，它采用目前日臻成熟的MEMS技术，利用光-热-电转化探测红外光，具有重量小、复杂程度低、功耗小、成本低等优势...
刘义冬
关键词：微电子机械系统CMOS工艺兼容性
文献传递
与互补金属氧化物半导体工艺兼容的微机械热电堆红外探测器及制作方法
本发明涉及一种与互补金属氧化物半导体(Complementary Metal-Oxide Semiconductor，CMOS)兼容的微机械热电堆红外探测器结构及其制作方法，其特征为利用(100)单晶硅各向异性腐蚀特性采...
李铁刘义冬王翊熊斌王跃林
文献传递
与互补金属氧化物半导体工艺兼容的微机械热电堆红外探测器及制作方法
本发明涉及一种与互补金属氧化物半导体(Complementary Metal－Oxide Semiconductor，CMOS)兼容的微机械热电堆红外探测器结构及其制作方法，其特征为利用(100)单晶硅各向异性腐蚀特性采...
李铁刘义冬王翊熊斌王跃林
文献传递
CMOS兼容的微机械P/N多晶硅热电堆红外探测器被引量：3
2007年
提出一种采用正面开口进行湿法腐蚀释放热电堆的结构,通过利用高精度光刻、LPCVD(low-pressure chemical vapor deposition)薄膜生长、IBE(ion beam etching)干法刻蚀、TMAH((CH3)4NOH)腐蚀等微机械加工技术,设计并制作了CMOS兼容的微机械多晶硅热电堆红外探测器。实验得到的器件成品率达到90%以上,响应率为12.5V/W,探测率1×107cmHz1/2/W,为进一步大规模红外面阵研究奠定了基础。
刘义冬李铁王翊王跃林
关键词：红外热电堆微电子机械系统
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