严先蔚
- 作品数：6 被引量：33H指数：4
- 供职机构：东南大学电子科学与工程学院微电子机械系统教育部重点实验室更多>>
- 相关领域：自动化与计算机技术机械工程更多>>
- CMOS兼容湿度传感器的研究进展被引量：6
- 2001年
- 本文主要介绍几种与 CMOS工艺兼容的湿度传感器的结构、工艺、特点以及处理电路 ,并对湿度传感器的发展趋势作了探讨。
- 严先蔚秦明黄庆安
- 关键词：CMOS兼容湿度传感器
- 一种新型CMOS兼容湿度传感器被引量：10
- 2004年
- 给出了与 CMOS工艺兼容的一种新型梳齿状湿度传感器的结构、工艺流程及其测试结果 .利用 Coventor软件对这种新型结构进行了理论分析 ,对制备出的湿度传感器的性能如灵敏度、滞回特性、重复性、响应时间等进行了测试并讨论 .结果表明文中提出的 CMOS湿度传感器工艺简单、响应时间快、成本低、灵敏度高 ,有望在实际中得到应用 .
- 顾磊黄庆安秦明张中平严先蔚
- 关键词：湿度传感器微电子机械系统CMOSMEMS
- 集成频率输出湿度检测装置
- 集成频率输出湿度检测装置是一种与CMOS工艺兼容的集成频率输出湿度检测器，由电容传感器和检测电路所组成，检测电路由恒流源电路、斯密特触发器、脉冲整形电路所组成，恒流源电路和梳状结构电容传感器输出端接斯密特触发器的输入端，...
- 黄庆安秦明严先蔚
- 文献传递
- CMOS集成湿度传感器研究
- 该文主要研究一种CMOS集成湿度传感器.该文第一章首先介绍了集成传感器、湿度传感器以及集成湿度传感器的发展概况,回顾了湿度测量技术的发展史,介绍了湿度传感器的分类和特点,以及该课题的主要任务.第二章对CMOS工艺兼容的湿...
- 严先蔚
- 关键词：CMOS工艺传感器性能电学特性
- 文献传递
- 集成频率输出湿度检测装置
- 集成频率输出湿度检测装置是一种与CMOS工艺兼容的集成频率输出湿度检测器,由电容传感器和检测电路所组成,检测电路由恒流源电路、斯密特触发器、脉冲整形电路所组成,恒流源电路和电容传感器输出端接斯密特触发器的输入端,斯密特触...
- 黄庆安秦明严先蔚
- 文献传递
- 微电子机械系统计算机辅助设计被引量：12
- 1999年
- 主要介绍 ＭＥＭＳ 计算机辅助设计（ＣＡＤ） 的研究内容和发展，以及和 ＭＥＭＳ ＣＡＤ 有关的ＭＥＭＳ 标准化制造技术的发展情况。
- 黄庆安秦明李伟华匡一宁朱珂章彬孟为民鞠瑜华严先蔚张昭勇
- 关键词：微电子机械系统MEMSCAD
