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丁靓

作品数：10 被引量：1H指数：1
供职机构：浙江大学更多>>
发文基金：国家自然科学基金更多>>
相关领域：电子电信医药卫生一般工业技术更多>>

合作作者

文献类型

  • 9篇专利
  • 1篇学位论文

领域

  • 1篇电子电信
  • 1篇医药卫生
  • 1篇一般工业技术

主题

  • 4篇氧化钛薄膜
  • 4篇金属
  • 4篇金属钛
  • 4篇溅射
  • 4篇磁控
  • 3篇电池
  • 3篇太阳能电池
  • 3篇铜薄膜
  • 3篇气相沉积
  • 3篇前驱物
  • 3篇化学气相
  • 3篇磁控溅射
  • 2篇导电
  • 2篇导电玻璃
  • 2篇颜料
  • 2篇氧化法
  • 2篇氧化铁黄
  • 2篇氧化铁黄颜料
  • 2篇氧化锌薄膜
  • 2篇氧化钛

机构

  • 10篇浙江大学

作者

  • 10篇丁靓
  • 9篇吴韬
  • 8篇王琦
  • 4篇方燕翎
  • 3篇杨文平
  • 2篇孔哲
  • 1篇王海华

年份

  • 2篇2012
  • 2篇2011
  • 6篇2010
共 10 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
新型一价铜前驱物的制备及其用于化学气相沉积铜薄膜的研究
在微电子和半导体等工业中，铜薄膜的制造是很重要一部分。利用化学气相沉积方法制备铜薄膜得到了非常广泛的关注。与其他制备铜薄膜方法相比，化学气相沉积方法制备铜薄膜有很好的阶梯覆盖率，有较好的选择性沉积的能力和可控性。用于化学...
丁靓
关键词：铜薄膜化学气相沉积热稳定性晶粒生长
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一价铜化合物及使用该类化合物进行化学气相沉积制备铜薄膜的方法
本发明公开了一种一价铜化合物及使用该类化合物进行化学气相沉积制备铜薄膜的方法。一价铜化合物具有式(1)所示的通式：(R<Sup>1</Sup>COCHCOR<Sup>2</Sup>)CuL<Sub>n</Sub> (1)...
王琦丁靓吴韬孔哲
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一价铜化合物及使用该类化合物进行化学气相沉积制备铜薄膜的方法
本发明公开了一种一价铜化合物及使用该类化合物进行化学气相沉积制备铜薄膜的方法。一价铜化合物具有式(1)所示的通式：(R<Sup>1</Sup>COCHCOR<Sup>2</Sup>)CuL<Sub>n</Sub>(1)式...
王琦丁靓吴韬孔哲
一种从废铁盐酸洗液制备氧化铁黄颜料的方法
本发明公开的从废铁盐酸洗液制备氧化铁黄颜料的方法，采用的是湿法氧化法，步骤包括：处理废铁盐酸洗液，制备晶种，褪红，二步氧化，压滤，干燥。本发明方法能够快速、简单处理来源于冶金、钢铁、机械、化工、制药等工业排放的亚铁浓度较...
杨文平丁靓吴韬王琦
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利用磁控溅射法制备复合银钛氧化物抗菌薄膜的方法
本发明公开了一种利用磁控溅射法制备复合银钛氧化物抗菌薄膜的方法，主要包括如下步骤：1)对载膜基材的表面进行预处理，然后在超声波条件下依次用两种以上的有机溶剂、去离子水进行清洗，使用所述各有机溶剂以及去离子水进行清洗的时间...
吴韬杨文平王琦丁靓王海华
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一种制备二氧化钛多孔膜的方法
本发明公开的制备二氧化钛多孔膜的方法，采用的是磁控溅射法，在清洁后的基材上先生长金属锌薄膜再生长氧化钛薄膜。本发明制备工艺简单，制得的二氧化钛多孔膜分布均匀、厚度可控、表面积大、附着力强、不开裂，在大规模工业化生产中更加...
吴韬方燕翎王琦丁靓
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二氧化钛多孔薄膜的制备方法
本发明公开的二氧化钛多孔薄膜制备方法，采用的是磁控溅射法，在清洁后的基材上以3种不同方式溅射金属钛靶和锌靶，方式1先生长氧化锌薄膜再生长氧化钛薄膜；方式2同时生长氧化锌和氧化钛薄膜；方式3先同时生长氧化锌和氧化钛薄膜，后...
吴韬方燕翎王琦丁靓
一种从废铁盐酸洗液制备氧化铁黄颜料的方法
本发明的公开的从废铁盐酸洗液制备氧化铁黄颜料的方法，采用的是湿法氧化法，步骤包括：处理废铁盐酸洗液，制备晶种，褪红，二步氧化，压滤，干燥。本发明方法能够快速、简单处理来源于冶金、钢铁、机械、化工、制药等工业排放的亚铁浓度...
杨文平丁靓吴韬王琦
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染料敏化太阳能电池所用的复合膜制备方法
本发明公开了一种染料敏化太阳能电池所用的复合膜制备方法。它的步骤如下：1）超声波条件下用有机溶剂和去离子水清洗基材，干燥；2）将基材放入溅射反应室中，加热，通入反应气体和工作气体，以金属钛为靶材，压强控制在0.5～2.0...
吴韬方燕翎丁靓
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二氧化钛多孔薄膜的制备方法
本发明公开的二氧化钛多孔薄膜制备方法，采用的是磁控溅射法，在清洁后的基材上以3种不同方式溅射金属钛靶和锌靶，方式1先生长氧化锌薄膜再生长氧化钛薄膜；方式2同时生长氧化锌和氧化钛薄膜；方式3先同时生长氧化锌和氧化钛薄膜，后...
吴韬方燕翎王琦丁靓
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