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丁金滨
作品数:
76
被引量:8
H指数:2
供职机构:
中国科学院光电研究院
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相关领域:
电子电信
机械工程
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合作作者
周翊
中国科学院光电研究院
王宇
中国科学院光电研究院
赵江山
中国科学院光电研究院
刘斌
中国科学院研究生院
沙鹏飞
中国科学院光电研究院
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一种采用环形腔结构的气体激光器放大系统
本发明公开了一种气体激光器放大系统,包括主振荡腔、功率放大腔、线性压窄模块、输出耦合镜、第一高反镜、第二高反镜、第三高反镜和部分反射镜,主振荡腔产生的种子光从输出耦合镜输出,然后经过第一高反镜反射后直接传播到部分反射镜上...
沙鹏飞
单耀莹
范元媛
丁金滨
赵江山
彭卓君
宋兴亮
李慧
鲍洋
周翊
王宇
文献传递
一种贯流风机叶轮
一种贯流风机叶轮,由若干节叶轮组成,叶轮的两端各连接一端法兰,每节叶轮之间均有一中盘,每两个中盘之间固定有周向布置的若干片风叶,每节叶轮中相邻的两片风叶之间呈一角度排列。本实用新型改善了叶轮中风叶的布局方式,可以提高放电...
丁金滨
刘斌
陈进新
王宇
周翊
赵江山
文献传递
准分子激光器的自动温控系统
本发明公开了一种准分子激光器的温控系统,所述准分子激光器具有第一腔体模块和第二腔体模块,第一腔体模块和第二腔体模块均包括放电腔、磁压缩器和固体开关,所述温控系统包括用于对所述两个磁压缩器进行冷却的冷却系统、用于对所述两个...
王魁波
丁金滨
刘斌
周翊
王宇
赵江山
放电腔的导流机构、放电腔和激光器
本实用新型公开了一种放电腔的导流机构、放电腔和激光器,所述放电腔具有对称的结构,且包括两对电极,该导流机构包括两个叶轮,该两个叶轮分别对应所述两对电极中的一对,其安装位置关于所述放电腔的对称面对称,且位于所述电极的下方,...
刘斌
丁金滨
王魁波
王宇
周翊
赵江山
文献传递
一种在线式过程气体采样分析装置
本实用新型公开了一种在线式过程气体采样分析装置,用于分析各种过程气体的成分和浓度,特别是在线测量和分析高压环境中气体成分和浓度,其中该装置包括高压气源、采样模块、安全阀、分流模块、第一阀门、限流器、第二阀门、分析模块、止...
王魁波
刘斌
丁金滨
吴晓斌
陈进新
齐威
沙鹏飞
周翊
王宇
赵江山
文献传递
一种激光修复与抛光陶瓷零件的方法
本发明公开了一种激光修复与抛光陶瓷零件的方法,包括清洗陶瓷零件,将陶瓷零件装配至三维移动平台;扫描所述陶瓷零件的表面轮廓,将所扫描的轮廓模型与标准模型相对比,划分出所述陶瓷零件表面的刻蚀区、抛光区、烧结区;利用准分子激光...
郭馨
周翊
丁金滨
刘斌
张立佳
王宇
赵江山
齐威
文献传递
20W 4kHz ArF曝光光源研发与应用
王宇
周翊
赵江山
梅东滨
杨军红
丁金滨
徐向宇
沙鹏飞
宋兴亮
刘斌
冯泽斌
李慧
范元媛
鲍洋
崔惠绒
中国高端集成电路(IC)产业严重受限于落后的光刻制造装备技术和产业,2016年进口约2271亿美元,制约了中国电子信息产业的升级,成为重大的国家安全隐患。2008年中国启动了科技重大专项“极大规模集成电路制造装备及成套工...
关键词:
激光器的整机框架
本实用新型公开了一种激光器的整机框架,所述激光器包括放电腔以及与该放电腔相关的光学系统,所述整机框架包括安装基座(1)、基础框架(2)、光学系统框架(3)和放电腔框架(4),其中,所述安装基座(1)是该整机框架的基座,用...
丁金滨
齐威
刘斌
沙鹏飞
周翊
王宇
赵江山
文献传递
激光器种子光注入锁定放大系统和功率放大腔
本实用新型公开了一种激光器种子光注入锁定放大系统和功率放大腔,功率放大腔(3)包括入射端和出射端,入射端用于入射由主谐振腔(2)出射的种子光,出射端用于出射由功率放大腔(3)对种子光进行功率放大后的激光,功率放大腔(3)...
沙鹏飞
丁金滨
赵江山
彭卓君
宋兴亮
李慧
鲍洋
周翊
王宇
文献传递
激光器放电腔的六自由度调节机构
本发明公开了一种激光器放电腔的六自由度调节机构,包括两个调节器,该两个调节器分别安装于激光器放电腔的底面上沿光轴方向的前后两端,且每个调节器包括一个万向轮装置和两个升降装置;激光器放电腔的安装平面为XY平面,该XY平面的...
丁金滨
李少华
刘斌
沙鹏飞
周翊
王宇
赵江山
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