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极紫外Mg/SiC、Mg/Co多层膜的稳定性被引量：8: 2013年; 采用磁控溅射法在Si(100)基底上镀制了膜系结构分别为[Mg/Co]20、[Mg/SiC]20的两组多层膜,以研究Mg基多层膜的稳定性。对放置在室温和80%相对湿度环境下的样品进行显微镜、表面粗糙度和X射线掠入射反射率测试,对比研究了Mg/Co和Mg/SiC两种多层膜结构在相同环境中的损坏状况。对比结果显示:放置4天后,Mg/SiC损坏面积为26.34%,表面粗糙度为10nm;Mg/Co的损坏面积为2.78%,表面粗糙度为5nm。6天后,X射线掠入射反射率测量显示Mg/SiC多层膜一级反射峰完全消失,而Mg/Co多层膜的一级反射峰仍有47.63%的反射率。实验表明,Mg/Co多层膜的表面层和内部多层膜结构的损坏速度较Mg/SiC慢,具有较好的环境稳定性。另外,X射线光电子谱(XPS)测试Mg基多层膜损坏后的产物主要为MgCO3、Mg(OH)2和少量的MgO,且内层Mg(OH)2与MgCO3含量的比值显著高于表面层。分析认为,水汽是造成Mg基多层膜损坏的主要原因,今后Mg基多层膜保护层的研究可主要针对如何防止水汽进入膜层。; 朱京涛宋竹青丁涛马爽李浩川; 关键词：稳定性

三波长脉冲激光共同作用下损伤阈值测量装置和装调方法: 本发明公开了一种三波长脉冲激光共同作用下损伤阈值测量装置和装调方法，所述测量装置将三波长激光分离，单独进行能量控制和光束汇聚，再经过与分光系统光程匹配的光束耦合系统确保三波长在时间上同步。利用准直激光、两个通光光阑，三波...; 马彬沈正祥丁涛程鑫彬周刚焦宏飞张锦龙王占山

一种光学元件精密抛光后的清洗方法: 本发明涉及一种光学元件精密抛光后的清洗方法，特别适用于古典法抛光拼盘加工K9玻璃和熔融石英元件的清洗。具体步骤为：将下盘后的光学元件在汽油中浸泡 30分钟以上，在四氯化碳中浸泡 2小时后在40kHz、120kHz的超声频...; 沈正祥王占山丁涛王晓强马彬; 文献传递

一种激光薄膜的清洗方法: 本发明涉及一种激光薄膜表面的清洗方法，具体步骤为：用蘸有丙酮的棉签轻拭激光薄膜表面，将擦拭后的激光薄膜置于第一清洗槽中，第一清洗槽中加入碱性溶液对该样品进行清洗，溶液温度为室温；所述碱性溶液体积比为NH4</S...; 丁涛孙晓雁马彬程鑫彬焦宏飞沈正祥张锦龙王占山; 文献传递

一种改善K9玻璃基底表面质量的清洗方法: 本发明涉及一种改善K9玻璃基底表面质量的清洗方法，先通过酸性溶液去除K9玻璃表面的金属污染，然后通过碱性溶液去除颗粒和有机物污染，清洗过程结合去离子水漂洗，以降低离子在表面的浓度和除去清洗溶剂分子或离子。与现有技术相比，...; 叶晓雯丁涛沈正祥程鑫彬马彬焦宏飞张锦龙王占山

一种三硼酸氧钙钇晶体(YCOB)高激光损伤阈值增透膜的制备方法: 本发明公开了一种非线性晶体三硼酸氧钙钇晶体表面高激光损伤阈值增透膜的制备方法。针对YCOB晶体各向异性强及增透膜的损伤机理，该方法的步骤包括YCOB基板的氢氟酸刻蚀、YCOB基板的冷加工、YCOB基板的离子束刻蚀、YCO...; 张锦龙丁涛程鑫彬谢雨江王占山; 文献传递

1064nm高反射薄膜激光损伤阈值测量方法被引量：11: 2011年; 参照国际上对激光损伤阈值不同测量技术建立起来的相应检测规范和标准,分别采用1-on-1,S-on-1,R-on-1和光栅扫描共4种测量方式,在1 064 nm波长下对HfO2/SiO2周期性高反射薄膜进行了激光损伤阈值的测量研究。根据测量结果,比较并分析了这4种测量方式之间的差异,重点研究了R-on-1和光栅扫描测量方式中存在的激光预处理效应对薄膜损伤阈值的影响,以及辐照激光光斑尺寸与损伤阈值之间的联系,并讨论了光栅扫描方式中预处理效应与扫描间距和扫描能量密度梯度的关系。研究表明:R-on-1方式下测得的损伤阈值最高,光栅扫描和1-on-1次之,S-on-1最小;1 000个脉冲激光辐照下的累积效应不显著,并且在激光光斑尺寸的差异较小时,阈值与光斑尺寸的对应关系并不明显;光斑尺寸相同时,扫描光斑的间距越小,激光预处理效果越好。; 周刚马彬焦宏飞丁涛张锦龙沈正祥程鑫彬王占山; 关键词：激光损伤阈值激光预处理光斑尺寸光栅扫描

一种激光薄膜元件用光学基板的离子束刻蚀装置及方法: 本发明涉及一种激光薄膜元件用光学基板的离子束刻蚀装置及方法，所述装置位于镀膜机内，由离子源、刻蚀工装和定位链组成，将刻蚀工装用定位链吊至镀膜机内离子源上方，将超声波清洗后的光学基板放置入刻蚀工装内；待镀膜机内真空抽至7....; 王占山丁涛程鑫彬马彬焦宏飞张锦龙沈正祥; 文献传递

一种光学薄膜0-70°入射的宽光谱透射率测量方法及装置: 本发明涉及一种光学薄膜0-70°入射的宽光谱透射率测量方法及装置，其方法具体包括以下步骤：1)测量基板在入射角为0°时的透射率T0°；2)根据1)中测得的透射率T0°计算基板在...; 刘永利张锦龙程鑫彬马彬焦宏飞丁涛韩金张艳云王玲王占山; 文献传递

一种激光薄膜的制备方法: 本发明涉及一种激光薄膜的制备方法，属于薄膜光学技术领域。该方法的步骤为熔石英基板的冷加工、熔石英基板的氢氟酸刻蚀、熔石英基板的超声波清洗、熔石英基板的真空离子束清洗、在熔石英基板上制备薄膜、缺陷后处理。实验证明，采用本发...; 王占山程鑫彬沈正祥张锦龙马彬丁涛焦宏飞

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丁涛