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马斌
作品数:
5
被引量:4
H指数:1
供职机构:
中国电子科技集团公司
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相关领域:
电子电信
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合作作者
马良
中国电子科技集团公司第二研究所
杜虎明
中国电子科技集团公司第二研究所
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中国电子科技集团公司第二研究所
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中国电子科技集团公司第二研究所
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等离子清洗在LED封装工艺中的应用
2012年
在LED封装工艺过程中,器件表面的氧化物及颗粒污染物会降低产品可靠性,影响产品质量。如在封装前进行等离子清洗,则可有效去除上述污染物。介绍了等离子清洗设备原理,并对清洗前后的效果做了对比。
马斌
程丕俊
师筱娜
马良
关键词:
等离子清洗
发光二极管
光伏太阳能硅片清洗工艺的探索
被引量:3
2010年
对两种不同清洗方法的工作原理、清洗效果和适用范围等特点进行了分析。不同的工艺应采用不同的清洗方法才能获得最佳效果。介绍了硅片清洗机的清洗工艺和腐蚀工艺。指出了硅片清洗工艺的发展趋势。
杜虎明
牛进毅
王莉
马斌
关键词:
硅片清洗
清洗工艺
在线式等离子清洗在封装中的应用
被引量:1
2011年
IC封装工艺过程中,芯片表面的氧化物及颗粒污染物会降低产品质量,如果在封装工艺过程中的装片前、引线键合前及塑封固化前进行等离子清洗,则可有效去除这些污染物。介绍了在线式等离子清洗设备及清洗原理,并对清洗前后的效果做了对比。
刘畅
马斌
马良
关键词:
IC封装
封装工艺
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