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陆惠宗
作品数:
23
被引量:62
H指数:2
供职机构:
浙江工业大学
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发文基金:
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国家自然科学基金
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合作作者
吕冰海
浙江工业大学机械工程学院特种装...
袁巨龙
湖南大学机械与运载工程学院国家...
吴俊杰
浙江工业大学
邓乾发
浙江工业大学
张翔
浙江工业大学
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无锡迈福光学...
作者
23篇
陆惠宗
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吕冰海
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袁巨龙
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吴俊杰
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张翔
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超精密平面抛光关键技术研发及产业应用
袁巨龙
吕冰海
邓乾发
赵文宏
赵萍
陆惠宗
陈明
熊万里
邓朝晖
戴瑜兴
彭光清
葛莹莹
许亮
高性能超精密平面零件是微电子系统、光电系统、精密仪器设备中的关键基础元件,其加工质量决定了光-机-电系统的整体性能。化学机械抛光(CMP)是获得超精密高性能平面的关键加工工序,但是传统CMP技术普遍存在:抛光易造成划痕表...
关键词:
关键词:
抛光工艺
精密仪器
一种适用于位移传感器测量大型圆形物时的横向对光装置
一种适用于位移传感器测量大型圆形物时的横向对光装置,包括固定平台、移动平台和位移测量传感器,固定平台和移动平台上分别安装位移测量传感器,所述装置还包括准直光源和光学差分探测系统,固定平台上设置所述准直光源,移动平台上设置...
陆惠宗
陈泓谕
吕冰海
张翔
吴俊杰
文献传递
滚动传输过程中精密测量工件沿传输方向上的尺寸的装置
本实用新型公开了一种滚动传输过程中精密测量工件沿传输方向上的尺寸的装置,包括传输装置、两个线阵扫描相机、标准工件、被测工件以及驱动系统,驱动系统连接传输装置并驱动传输装置的运动,传输装置用于放置和传输标准工件和被测工件,...
陆惠宗
袁巨龙
文献传递
一种非接触式测量轴承球体几何参数的装置
一种非接触式测量轴承球体几何参数的装置,包括两个光学位移传感器,两个光学位移传感器相对设置且位于同一个测量平面上,两个光学位移传感器的光轴位于同一轴线上,被测轴承球体放置在一个可沿一垂直于两个光学传感器的光轴方向的转轴上...
陆惠宗
钱佳立
文献传递
一种非接触式测量轴承球体几何参数的装置
一种非接触式测量轴承球体几何参数的装置,包括两个光学位移传感器,两个光学位移传感器相对设置且位于同一个测量平面上,两个光学位移传感器的光轴位于同一轴线上,被测轴承球体放置在一个可沿一垂直于两个光学传感器的光轴方向的转轴上...
陆惠宗
钱佳立
文献传递
一种适用于光学及类似测量系统长距离角度对光装置
一种适用于光学及类似测量系统长距离角度对光装置,包括固定平台、移动平台和位移测量传感器,所述固定平台和移动平台上分别安装位移测量传感器,所述装置还包括激光干涉系统,所述激光干涉系统包括激光准直光源、第一分光镜、直角全反射...
陆惠宗
陈泓谕
吕冰海
张翔
吴俊杰
文献传递
一种球体表面微小瑕疵的光学快速检测装置
一种球体表面微小瑕疵的光学快速检测装置,包括偏振激光器,所述偏振激光器的输出方向设置第一偏振片和分光棱镜,所述分光棱镜的反射出光侧依次布置1/2波片、渥氏棱镜和物镜,所述物镜远离渥氏棱镜的另一侧为被测面;所述分光棱镜的折...
陆惠宗
钱佳立
文献传递
非球面超精密抛光技术研究现状
被引量:52
2012年
非球面应用范围的拓展以及应用精度要求的不断提高对非球面元件的尺寸精度与表面质量提出了更高要求;作为终加工手段,非球面超精密抛光技术也越来越受到世界各国的重视。掌握非球面超精密抛光过程中的材料去除机理以及由此导致的亚表面损伤等特性对提高非球面抛光的精度与效率十分重要。对非球面抛光技术的发展进行回顾,并根据非球面超精密抛光技术的发展脉络,阐述当前主要非球面超精密抛光技术的加工原理及加工实例,随后从亚表面损伤、边缘效应等方面对几种非球面超精密抛光技术进行比较,并以提高抛光精度与效率为目标,对非球面超精密抛光技术的发展趋势进行预测。
袁巨龙
吴喆
吕冰海
阮德南
陆惠宗
赵萍
关键词:
非球面
超精密加工
抛光
滚动传输过程中精密测量工件沿传输方向上的尺寸的方法
本发明公开了一种滚动传输过程中精密测量工件沿传输方向上的尺寸的方法,先将标准工件放置在传输装置上,利用驱动系统驱动传输装置带动标准工件沿传输方向以平均速度v进行传输,利用两个线阵扫描相机分别采集标准工件的图像;再将被测工...
陆惠宗
袁巨龙
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一种区分透明薄板上下表面图像的检测方法
本发明公开了一种区分透明薄板上下表面图像的检测方法,检测前用已知上表面有图像的标准透明薄板进行校正,使两组光学成像系统中所成的图像在各自采集图中的位置一致,再通过传送机构将被测透明薄板输送到标准透明薄板检测的位置,利用两...
陆惠宗
袁巨龙
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