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钟金德
作品数:
7
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供职机构:
大连交通大学
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相关领域:
一般工业技术
理学
电气工程
电子电信
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合作作者
薛钰芝
大连交通大学材料科学与工程学院
周丽梅
大连交通大学材料科学与工程学院
张兴寰
大连交通大学材料科学与工程学院
张发荣
大连交通大学
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2005(第...
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2005’全...
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2006
3篇
2005
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Al/Al2O3多层膜的研究
用真空蒸镀及自然氧化方法在玻璃基底上制备纳米量级的4、5、6、7对层的Al/Al2O3多层膜,采用称重法测定薄膜的厚度;在常温和低温下使用三点法测定多层膜的电特性;用扫描电镜(SEM)观察薄膜的表面和截面的形貌及成分,结...
周丽梅
薛钰芝
钟金德
张兴寰
关键词:
多层膜
真空蒸镀
Al/Al2O3多层膜的研究
用真空蒸镀及自然氧化方法在玻璃基底上制备纳米量级的4、5、6、7对层的Al/AlO多层膜。采用称重法测定薄膜的厚度:在常温和低温下使用三点法测定多层膜的电特性:用扫描电镜(SEM)观察薄膜的表面和截面的形貌及成分。结果表...
周丽梅
薛钰芝
钟金德
张兴寰
关键词:
多层膜
文献传递
纳米硅/氧化硅多层膜的电性能及结构研究
2006年
用真空蒸发技术和自然氧化法在玻璃衬底上制备纳米级的硅/氧化硅薄膜和多层膜。本文采用三点法测定了常温、低温下的U-I特性,发现常温、低温下纳米量级的硅/氧化硅多层膜具有类似负阻的特性。SEM检测表明,硅/氧化硅多层膜的厚度和称重法所估算的厚度相符,薄膜表面均匀。TEM和XRD观察表明薄膜主要以无序状态存在,局部有晶化现象。
钟金德
薛钰芝
张发荣
周丽梅
关键词:
多层膜
电性能
Al/Al_2O_3多层膜的研究
2006年
用真空蒸镀及自然氧化方法在玻璃基底上制备纳米量级的4、5、6、7对层的A l/A l2O3多层膜。采用称重法测定薄膜的厚度;在常温和低温下使用三点法测定多层膜的电特性;用扫描电镜(SEM)观察薄膜的表面和截面的形貌及成分。结果表明:制备的是纳米量级非晶态的A l/A l2O3多层膜,在常温和低温(77 K)下均具有类似负阻的特性。
周丽梅
薛钰芝
钟金德
张兴寰
关键词:
多层膜
金属/氧化物、半导体/氧化物多层膜的研究
本论文简要阐述了纳米多层膜的研究意义及其应用。由于其优异的性能,纳米多层膜已成为微电子与光电子领域研究热点之一。 本文在本课题组以前工作的基础上,用加热蒸发和自然氧化方法,用纯铝、纯铬在玻璃基底上制备出4、5、...
钟金德
关键词:
纳米多层膜
文献传递
自然氧化法制备纳米多层膜的特性研究
本文运用真空蒸发沉积和自然氧化的方法制备了Al/A12O3、Cr/Cr2O3纳米多层膜,并检测其电性能,发现在常温下和低温下(77K)两种多层膜均具有类负阻效应。文章运用扫描电镜、能谱、原子力显微镜进行了表面形貌的观察,...
薛钰芝
钟金德
关键词:
纳米膜
氧化法
文献传递
Cr/Cr_2O_3多层膜的研究
2006年
用真空蒸镀及自然氧化方法在玻璃基底上制备纳米量级的4、5、6、7对层的C r/C r2O3多层膜。采用称重法测定薄膜的厚度;在常温和低温下使用三点法测定多层膜的电特性;用扫描电镜(SEM)观察薄膜的表面和截面的形貌及成分;用X射线衍射仪检测相结构。结果表明:制备的是纳米量级非晶态的C r/C r2O3多层膜,在常温和低温(77K)下均具有类似负阻的特性。
周丽梅
薛钰芝
钟金德
张兴寰
关键词:
多层膜
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