邢旭
- 作品数：13 被引量：15H指数：2
- 供职机构：哈尔滨工业大学更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金国家科技重大专项更多>>
- 相关领域：机械工程电子电信自动化与计算机技术医药卫生更多>>
- 甚多轴高速超精密激光干涉测量技术与仪器
- 2021年
- 甚多轴高速超精密激光干涉测量技术与仪器是高端装备制造与前沿研究领域的重大核心技术基础.一方面,作为高端装备中不可替代的核心单元,直接决定了装备能达到的极限运动精度与整体性能;另一方面,作为国家/国防溯源精度最高的长度计量测试仪器,可以准确统一全国相关量值,并支撑国际单位制量子化变革等前沿研究.以国际先进微电子装备为例,其内部通常需嵌入包含20个以上测量轴的高速超精密激光干涉测量仪器,以实时测量米/秒级高速运动台的位置,测量精度要求已达到数纳米,并将进一步突破至亚纳米量级.世界科技强国十分重视甚多轴高速超精密激光干涉测量技术与仪器的开发和应用,我国由于一直未能掌握该类技术,高端装备制造等领域的相关技术研究长期受制于人.
- 胡鹏程付海金杨宏兴杨睿韬邢旭常笛
- 关键词：激光干涉测量超精密量子化高端装备
- 抗光学混叠的双频激光光栅干涉二维测量方法及系统
- 抗光学混叠的双频激光光栅干涉二维测量方法及系统属于光栅测量技术；该系统包括激光器、光栅干涉镜组、光电探测与信号处理单元，激光器同时输出的两束频率不同、空间分开的激光束平行入射到偏振分光镜，第一束经偏振分光镜反射后入射到参...
- 谭久彬胡鹏程邢旭
- 文献传递
- 基于BOLD磁共振成像的骨质疏松研究
- 骨质疏松是一组以骨量减少，骨呈多孔状，密度降低，致使骨的强度下降，脆性增加而容易发生骨折为主要特征的全身性骨骼类疾病。骨质疏松症的直接后果是骨折，老年人发生髋部骨折的后果很严重，很有可能导致死亡。随着人类寿命的延长、社会...
- 邢旭
- 关键词：骨质疏松磁共振成像
- 低周期非线性误差外差光栅干涉测量技术研究
- 超精密激光测量技术是尖端微电子制造装备不可或缺的核心基础技术，对先进制造和高端装备具有重要的支撑作用。与激光干涉测量技术相比，光栅干涉测量技术具有稳定性高、便于多自由度测量的优势，但仍存在周期非线性误差过大、角度容差过小...
- 邢旭
- 文献传递
- 一种外差激光干涉仪光功率与对比度变化引起探测误差的等效测试装置
- 本发明是一种外差激光干涉仪光功率与对比度变化引起探测误差的等效测试装置。本发明涉及外差激光干涉仪探测误差测量技术领域，本发明为了针对外差激光干涉仪光功率和对比度变化引起的探测误差测量困难、干扰因素众多的问题。通过调节干涉...
- 邢旭王嘉宁孙启凡孙云科胡鹏程谭久彬
- 一种粗精测尺差频调制与解调的相位激光测距装置与测距方法
- 本发明是一种粗精测尺差频调制与解调的相位激光测距装置与测距方法。本发明测距装置包括多频率发生模块、激光调制模块、测量光路和光信号接收及处理模块；测距方法开启激光器和多频率发生模块；激光经过调制产生精测尺c/v<Sub>1...
- 杨宏兴李婧胡鹏程邢旭谭久彬
- 文献传递
- 外差激光干涉仪信号处理环节分辨力的通用测试装置及其测试方法
- 外差激光干涉仪信号处理环节分辨力的通用测试装置及其测试方法，涉及外差干涉仪高精度位移测量以及干涉信号处理领域。解决现有仅在中心频率处测试分辨力的方法，存在的测试结果不完整的问题。装置采用光束调制系统产生频率可控的强度调制...
- 邢旭孙云科李文俊王嘉宁胡鹏程谭久彬
- 一种粗精测尺差频调制与解调的相位激光测距装置及方法
- 本发明是一种粗精测尺差频调制与解调的相位激光测距装置与测距方法。本发明测距装置包括多频率发生模块、激光调制模块、测量光路和光信号接收及处理模块；测距方法开启激光器和多频率发生模块；激光经过调制产生精测尺c/v<Sub>1...
- 杨宏兴李婧胡鹏程邢旭谭久彬
- 抗光学混叠的双频激光光栅干涉二维测量方法及系统
- 抗光学混叠的双频激光光栅干涉二维测量方法及系统属于光栅测量技术；该系统包括激光器、光栅干涉镜组、光电探测与信号处理单元，激光器同时输出的两束频率不同、空间分开的激光束平行入射到偏振分光镜，第一束经偏振分光镜反射后入射到参...
- 谭久彬胡鹏程邢旭
- 空间分离式外差二自由度平面光栅干涉仪被引量：7
- 2019年
- 为了实现平面二自由度位移测量,设计并搭建了空间分离式外差二自由度平面光栅干涉仪,并对所设计的光栅干涉仪的光学结构、测量原理、面内旋转安装误差补偿等进行了研究。基于平面光栅衍射特性和空间分离式外差光栅干涉结构设计并搭建了具有对称性的测头光路,结合实际光学器件的特点,利用琼斯矩阵分析了二自由度测量原理与显著降低周期非线性误差的特性。通过实验测定了光栅面内旋转安装误差以便于应用旋转矩阵对测量数据进行解耦。随后利用矩形和圆形轨迹分别验证了两测量轴在各自和同时运动的情况下,所设计的平面光栅干涉仪的测量能力。实验结果表明,在解耦补偿0.350°的光栅实际面内旋转安装误差的前提下,该空间分离式外差二自由度平面光栅干涉仪能够实现压电位移台30μm内的位移测量,主要由机械振动等因素引起的误差不超过0.15μm。本研究将空间分离式外差光栅干涉仪的测量维度拓展到了平面二自由度。
- 邢旭常笛胡鹏程谭久彬
