贾科淼
- 作品数：13 被引量：10H指数：2
- 供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金教育部科学技术研究重点项目国家重点基础研究发展计划更多>>
- 相关领域：电子电信更多>>
- 一种由硅和二氧化硅共同支撑的可移动微结构及制作方法
- 本发明涉及一种由硅和二氧化硅共同支撑的可移动微结构及其制备方法。针对微观下静电驱动力小的问题，采用硅梁和二氧化硅膜作为共同支撑部件，共同支撑中间可动部件。既增加了支撑强度又提高了静电力驱动下的位移；针对用梁支撑的可动结构...
- 龙文华杨建义李广波贾科淼王跃林
- 文献传递
- 阵列波导光栅的研制及其发展
- 本文首先报道所研制的具有传统结构的AWG，包括具有Gauss通带的AWG与采用多模干涉耦合器进行通带平坦化的AWG。利用硅刻蚀技术制作集成光波导微镜，构成波导阵列，提出并研制了具有集成微镜的AWG，这种AWG可以具有紧凑...
- 杨建义江晓清贾科淼唐衍哲王跃林王明华
- 关键词：集成光学光波分复用阵列波导光栅
- 文献传递
- 一种由硅和二氧化硅共同支撑的可移动微结构及制作方法
- 龙文华杨建义李广波贾科淼王跃林
- 本发明涉及一种由硅和二氧化硅共同支撑的可移动微结构及其制备方法。针对微观下静电驱动力小的问题，采用硅梁和二氧化硅膜作为共同支撑部件，共同支撑中间可动部件。既增加了支撑强度又提高了静电力驱动下的位移；针对用梁支撑的可动结构...
- 关键词：
- 关键词：硅可移动微结构二氧化硅
- 集成波导反射微镜型阵列波导光栅的研制
- 贾科淼
- 关键词：阵列波导光栅
- SiO_2 8×8阵列波导光栅的研制被引量：1
- 2006年
- 在Si基Si O2材料上设计并制作了中心波长为1.55μm、通道间隔为0.8nm的8×8阵列波导光栅(AWG)。详细介绍了器件的设计、制作和测试,并对测试结果及工艺误差进行了深入的分析讨论。封装后的测试结果显示,器件的3dB带宽为0.22nm;中央通道输入时,最小和最大插入损耗分别为4.01dB和6.32dB;边缘通道输入时,最小和最大插入损耗分别为6.24dB和9.02dB;对比不同通道输入时输出通道的中心波长,其偏移量低于0.039nm;器件的通道间串扰小于-25dB;偏振依赖损耗(PDL)小于0.3dB。
- 李广波龙文华贾科淼唐衍哲吴亚明杨建义王跃林
- 关键词：光波分复用集成光学
- 基于二维分布阵列波导光栅的光波分复用器/解复用器被引量：6
- 2004年
- 基于二维分布衍射光栅与平面波导概念,提出了基于二维分布阵列波导光栅的光波分复用器/解复用器。光波分复用器/解复用器利用二维衍射光栅的波长变化下光波的衍射路径由两个方向的色散值矢量合成决定这一特性,同时适当地控制其自由谱范围特性的设计,使其具有二维光波分分布特性,从而可以在输入和/或输出端设计二维输入/输出通道,大大增加波分复用与解复用的通道数的设计能力。对器件的特性与应用进行了讨论。
- 杨建义江晓清贾科淼李锡华王明华吴亚明王跃林
- 关键词：解复用器阵列波导光栅光波分复用器衍射光栅波长变化平面波导
- 玻璃基硅光波导的研制被引量：1
- 2005年
- 采用硅-玻璃键合和选择性腐蚀技术研制出了玻璃上硅(SOG)光波导材料。所研制出的光波导材料表面质量主要取决于所用绝缘体上硅(SO I)材料。当所用SO I材料为基于SIMOX技术的材料时,表面RM S粗糙度为3nm左右,自相关长度为100nm左右。采用SOG材料所制作出的脊型光波导的传输损耗与相应的SO I材料上制作出的光波导相当。这种光波导材料既具有SO I材料的众多优点,还可以在器件制作中同时实施硅的下界面处理,同时它采用玻璃作为波导的下限制层,得到较厚的下限制层。
- 李广波龙文华贾科淼江晓清王明华王跃林杨建义
- 关键词：集成光学硅键合
- 1×32硅基二氧化硅阵列波导光栅的研制被引量：2
- 2005年
- 采用高精度光刻版、PECVD材料生长、反应离子刻蚀和端面8°角抛光等技术,设计并研制了1×32硅基二氧化硅阵列波导光栅.研制的AWG芯片,其相邻通道引起的通道串扰小于-28dB,非相邻通道引入的串扰小于-35dB.通道的插入损耗在进行光纤耦合封装后进一步提高,平均损耗约为4.9dB,不均匀性约为1.72dB.
- 龙文华李广波贾科淼屈红昌唐衍哲吴亚明杨建义王跃林
- 关键词：阵列波导光栅硅基二氧化硅集成光学
- 采用MMI结构研制具有平顶谱特性的AWG
- 在AWG输入端设置多模干涉(MMI)耦合器,我们在SiO2光波导材料上设计并制作了具有平顶谱特性的1×8阵列波导光栅(AWG)。本文首先简要介绍了采用MMI结构展宽AWG滤波谱线的原理,给出了数值模拟结果。通过对所研制的...
- 贾科淼唐衍哲李柏阳杨建义江晓清吴亚明王跃林
- 关键词：波分复用阵列波导光栅带宽
- 文献传递
- 集成波导转弯微镜型阵列波导光栅的研制
- 光波分复用器件是密集波分复用系统的核心器件之一。现有的可以实现波分复用功能的器件结构有多种，其中阵列波导光栅AWG以其出色的性能特点在光波分复用器件中具有重要的地位，尤其在多通道数时的器件结构选择中，AWG占有绝对优势。...
- 贾科淼
- 关键词：阵列波导光栅集成波导弯曲波导硅材料
- 文献传递
