蒋庆华
- 作品数:23 被引量:72H指数:6
- 供职机构:西北工业大学更多>>
- 发文基金:国家自然科学基金国家高技术研究发展计划更多>>
- 相关领域:航空宇航科学技术机械工程自动化与计算机技术电子电信更多>>
- 电容式微机械陀螺
- 本发明公开了一种电容式微机械陀螺,用来解决现有技术中不能实现驱动模态与检测模态的解耦问题,其特征在于:两根驱动梳齿梁(28)分别与固定在内锚点(96)上的内驱动弯曲梁(72)和连接在惯性质量平板框架(22)上的内敏感弯曲...
- 苑伟政常洪龙谢建兵蒋庆华
- 文献传递
- 电容式微机械惯性传感器信号检测技术研究
- 针对具有差分电容接口的微机械惯性传感器提出了一种基于电荷放大嚣和相关检测技术的接口电路方案。采用电荷放大嚣作为电容-电压转换电路,来去除传感器本身以及传输导线引起的寄生电容的干扰。利用PSPICE模拟了桥路的不对称性对电...
- 蒋庆华苑伟政常洪龙王涛
- 关键词:微机电系统电容检测电荷放大器
- 文献传递
- 电容式微加速度计的噪声分析被引量:10
- 2008年
- 噪声是以微弱信号处理为特征的电容式微加速度计性能提高的主要制约因素。针对电容式微加速度计的噪声,详细分析和研究了其特性。首先分析了电容式微加速度计的系统噪声由机械热噪声和电路噪声两部分组成;采用热力学均分理论和集成电路噪声特性分别对机械热噪声和电路噪声进行建模、分析和计算,得到了机械热噪声等效噪声加速度和各级电路的噪声值。然后用自行设计的微加速度计表头和接口电路进行试验,实验结果验证了噪声模型的正确性,确认了电容式微加速度计电容检测电路—电荷放大器是最主要的噪声源。
- 王一桦李晓莹蒋庆华
- 关键词:MEMS电容式微加速度计噪声电荷放大器
- 电容式微机械惯性传感器信号检测技术研究被引量:7
- 2005年
- 针对具有差分电容接口的微机械惯性传感器提出了一种基于电荷放大器和相关检测技术的接口电路方案.采用电荷放大器作为电容-电压转换电路,来去除传感器本身以及传输导线引起的寄生电容的干扰.利用PSPICE模拟了桥路的不对称性对电路输出的影响,经过比较采用单载波差分电桥结构以进一步增大电容检测的灵敏度.采用相关检测技术进行解调,通过解调电路对前置输出电压和载波信号进行相关运算从而消除电路的宽频噪声;给出了包括布线、接地、去耦等电路工艺的设计原则.采用一组标定电容作为传感器的模型进行了实验,实验电路灵敏度可以达到195V/pF,最小分辨率为1fF.采用该方案能够满足对普通精度的电容式微机械惯性传感器信号的检测.
- 蒋庆华苑伟政常洪龙王涛
- 关键词:微机电系统电容检测电荷放大器
- 全滑膜阻尼电容式微机械陀螺
- 本发明公开了一种全滑膜阻尼电容式微机械陀螺,用来解决现有技术中陀螺检测梳齿在沿Y方向运动时与左、右变间距梳齿之间的压膜阻尼对陀螺灵敏度特性影响的问题,其特征在于,取消了原结构中由检测梳齿与左、右变间距梳齿组成的变间距敏感...
- 苑伟政谢建兵常洪龙蒋庆华
- 电容式微机械陀螺
- 本发明公开了一种电容式微机械陀螺,用来解决现有技术中不能实现驱动模态与检测模态的解耦问题,其特征在于:两根驱动梳齿梁(28)分别与固定在内锚点(96)上的内驱动弯曲梁(72)和连接在惯性质量平板框架(22)上的内敏感弯曲...
- 苑伟政常洪龙谢建兵蒋庆华
- 文献传递
- 一种新型挠性轴内置式扭摆微加速度计的设计
- 针对扭摆式加速度计的结构特点,为了有效利用硅片面积和提高质量块质量,设计了一种新型挠性轴内置于质量块的扭摆式加速度计,该结构具有检测电极和力反馈电极。根据结构设计参数,推导出中心敏感电容、等效质量、机械灵敏度的参数表达式...
- 崔金强姜澄宇苑伟政常洪龙蒋庆华
- 关键词:硅微加速度计
- 文献传递
- 电容式微机械陀螺接口电路
- 接口电路是电容式微机械陀螺研制中的关键技术之一.本文给出了一种通用的电容式微机械陀螺接口电路方案.该方案包括电容检测和信号处理两个模块.相位相反幅度相同的两路高频载波加在敏感差动电容的两端形成敏感电桥,另一频率的高频载波...
- 蒋庆华苑伟政常洪龙
- 关键词:微机械陀螺电容检测电桥电荷放大器接口电路电容传感器
- 文献传递
- 电容式z轴微机械陀螺的噪声抑制被引量:3
- 2009年
- 将z轴微机械陀螺两个模态的机械噪声效应等效为各自在单位噪声力作用下的振动,根据陀螺的工作原理得到两个噪声力作用下陀螺敏感模态的机械输出噪声。建立了包含运放和电路板非理想因素在内的接口电路的噪声模型。结合机械噪声模型和接口电路模型噪声,建立了包括结构参数和电路最小检测电容量在内的陀螺的噪声等效输入角速度模型,为陀螺的设计优化提供了参考。分析了结构参数对陀螺等效输入角速度噪声影响,并采用两个参数不同的电容式z轴微机械陀螺进行了实验。结果表明,通过结构参数的调整,将电容式z轴微机械陀螺的输出噪声从414μV/Hz降低至235μV/Hz。
- 蒋庆华苑伟政李晓莹
- 关键词:微机电系统电荷放大器热噪声微机械陀螺
- 高性能微加速度计接口电路的研究被引量:3
- 2006年
- 介绍一种可用于微机械电容式加速度计检测的接口电路,该电路利用电荷放大器把电容变化转变成电压变化,再对被加速度信号调制的载波信号进行解调,经过低通放大滤波,最后得到与加速度信号成正比的直流电压信号,具有测量差分电容变化的功能和灵敏度高、线性好的特点。整体电路通过Pspice进行了仿真,优化后制成PCB板进行实验。实验结果线性度为5%,灵敏度为19.5 V/pF,表明该电路是一种具有实用价值的电容式加速度计检测接口电路。
- 王涛李晓莹常洪龙蒋庆华
- 关键词:差分电容微加速度计电荷放大器