胡恒宁 作品数:4 被引量:20 H指数:1 供职机构: 成都工具研究所有限公司 更多>> 发文基金: 国家科技重大专项 国家科技支撑计划 更多>> 相关领域: 金属学及工艺 更多>>
沉积压强对类金刚石薄膜组织和性能的影响 被引量:1 2015年 使用等离子增强化学气相沉积的方法制备不同沉积压强下的类金刚石薄膜。反应气体为C2H2和CH4,辅助气体为Ar。通过控制气体流量来达到改变沉积压强的目的,沉积压强分别为2.5Pa、3.8Pa、5.0Pa和6.1Pa,为排除其它工艺参数对实验结果的影响,气体流量比C2H2∶CH4∶Ar=2∶2∶1保持不变。使用扫描电镜、拉曼光谱和纳米压痕等检测手段对薄膜的组织和性能进行分析。研究表明,薄膜均为非晶态结构;随着沉积压强的升高,薄膜沉积速率不断提高;随着沉积压强的升高,薄膜的ID/IG值不断下降,说明薄膜中的sp3键含量不断上升,与此同时,薄膜中的硬度和弹性模量不断提高;通过Rockwell压痕法测试膜基结合力,结果表明四组薄膜均有较高的结合力,其中沉积压强为5.0Pa的薄膜的结合力最好。 胡恒宁 杜昊 李洪林 周彤 熊计 赵海波关键词:类金刚石薄膜 形貌 拉曼 力学性能 全自动工业化沉积类金刚石涂层设备的研发 被引量:1 2015年 类金刚石涂层(DLC)是一种与金刚石涂层性能相似的新型涂层材料。传统的DLC沉积设备或是单一的物理气相沉积设备(PVD)或是单一的物理化学气相沉积设备(PCVD)。本文开发的改进型全自动化设备将两种沉积方式融合于一个沉积室内,可以根据需要制备不同种类的含有DLC的多层复合涂层。 李洪林 胡恒宁 周彤 杜昊关键词:结合力 拉曼光谱 盐雾腐蚀 刀具涂层技术的最新发展状况 被引量:18 2010年 介绍了国内外刀具涂层技术的最新发展状况和开发动向,并对我国切削刀具涂层技术的发展提出了建议。 李洪林 李波 胡恒宁 高见关键词:刀具 涂层 混合气体比例对脉冲直流PCVD制备TiN/TiSiN涂层的影响 2015年 采用工业用直流脉冲等离子体增强化学气相沉积PCVD技术在硅烷、氢气和氮气的混合气氛下成功制备了Ti Si N涂层,重点讨论了混合气体比例对薄膜性能的影响。结果表明:当混合气体中H2∶N2为4∶1、硅烷流量为2sccm时,Ti N/Ti Si N涂层中硅含量为8.01at%,此时,获得此工艺薄膜的最高硬度为28GPa。 吴春涛 周彤 曾祥才 薛峰 胡恒宁关键词:PCVD TI SI N