田孟昆
- 作品数：4 被引量：13H指数：3
- 供职机构：中南大学材料科学与工程学院更多>>
- 发文基金：湖南省研究生创新基金粉末冶金国家重点实验室开放基金更多>>
- 相关领域：一般工业技术金属学及工艺更多>>
- HFCVD金刚石薄膜/铜复合材料的生长工艺及结合性能研究
- 随着当代电子产品朝着速度更快、体积更小、功率更高的方向发展，提高基片材料的热导率越来越引人关注。人工合成金刚石的技术日趋成熟使得金刚石产品应用在电子工业上逐渐成为可能。本文采用热丝化学气相沉积(HFCVD)系统，以CH4...
- 田孟昆
- 关键词：铜基复合材料金刚石薄膜薄膜生长气相沉积
- 热丝辐射距离与甲烷浓度对CVD金刚石薄膜的影响被引量：5
- 2011年
- 以H2和CH4作为反应气体,采用热丝化学气相沉积法(Hot filaments chemical vapor deposition,HFCVD),在WC-3%Co条状平板上制备金刚石薄膜,利用扫描电镜(SEM)、X射线衍射(XRD)、激光拉曼光谱(Raman)和洛氏硬度仪分析薄膜的形貌、结构、成分和附着性能,研究热丝辐射距离和反应气体中甲烷的体积分数对金刚石薄膜的影响。结果表明:热丝辐射距离和甲烷体积分数增加会使薄膜中金刚石相(sp3杂化)减少,且热丝辐射距离和甲烷体积分数显著影响薄膜中sp2杂化碳相的种类和含量。当热丝辐射距离约为9～13 mm时,薄膜的成分和结构受热丝辐射距离变化的影响较小;而在热丝辐射距离在13～17 mm范围内时,薄膜的成分和结构受热丝辐射距离的影响较大。压痕测试表明在WC-3%Co硬质合金基体上沉积的金刚石薄膜与基体的附着性能良好。
- 魏秋平田孟昆马莉陈中刘培植余志明
- 关键词：金刚石薄膜拉曼光谱热丝化学气相沉积
- 不同过渡层对钢基金刚石薄膜的影响被引量：4
- 2011年
- 采用超高真空热丝化学气相沉积(HFCVD)系统,以甲烷和氢气为反应气体,在高速钢W18Cr4V基体上利用3种不同的过渡层(WC、Cr、WC/Cr)制备金刚石薄膜。采用场发射扫描电子显微镜(FE–SEM)、X射线衍射仪(XRD)、显微激光拉曼光谱仪(Raman)以及洛氏硬度计对过渡层和金刚石薄膜进行检测分析,研究了不同过渡层对金刚石薄膜形貌质量和附着性能的影响。结果表明,3种过渡层均可以有效减少钢基中Fe对金刚石薄膜的负面影响,提高金刚石的形核率;其中,采用WC/Cr过渡层时膜基间残余应力最小,仅为0.25 Gpa,附着性能最好。
- 王玲余志明魏秋平田孟昆王志辉
- 关键词：金刚石薄膜高速钢过渡层化学气相沉积
- 过渡层对铜基金刚石薄膜的影响被引量：4
- 2011年
- 采用热丝化学气相沉积(HFCVD)在纯铜基体及4种不同的过渡层(Ti、Nb、Ni、W)上制备金刚石薄膜。利用场发射扫描电子显微镜(FE-SEM)、拉曼光谱仪(Raman)以及维氏硬度计对金刚石薄膜进行检测分析,研究了不同过渡层对金刚石薄膜形貌质量和附着性能的影响。结果表明,在纯铜基体以及多种过渡层上都能制备高纯度的金刚石薄膜;在形核率较高的基体上金刚石颗粒的尺寸较小,在Ni过渡层上金刚石颗粒的尺寸较大;金刚石薄膜在Ti过渡层上结合性能最好,但是非金刚石相最多。在Nb、W过渡层上的结合性能最差。
- 田孟昆余志明刘学璋葛婧萱王玲黄臣
- 关键词：金刚石薄膜铜过渡层化学气相沉积
