王起维
- 作品数：5 被引量：4H指数：1
- 供职机构：哈尔滨工业大学机电工程学院精密工程研究所更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：金属学及工艺机械工程航空宇航科学技术更多>>
- 横向剪切干涉检测非球面波前数值模拟被引量：1
- 2012年
- 横向剪切干涉检测方法用于非球面加工过程中检测是经济且高效的方法。从数值模拟的角度,分析了基于像差最小原则的非球面度;模拟了非球面波前的横向剪切干涉图,并利用基于Zernike多项式拟合的最小二乘法进行了波前重建数值模拟,给出了数值模拟结果,为该方法的实际应用提供了理论依据。
- 王起维孙涛肖虹韩成顺董申
- 关键词：非球面检测数值模拟
- 一种光学零件加工与检测一体化制造装置及制造方法
- 一种光学零件加工与检测一体化制造装置及制造方法，属于光学零件加工领域，本发明为解决现有光学零件加工大多采用离线测量方式，加工效率低；现有的光学零件加工设备无法满足在线测量的要求的问题。本发明的工件主轴、刀具主轴和剪切干涉...
- 孙涛王起维韩成顺张龙江李国董申
- 文献传递
- 一种光学零件加工与检测一体化制造装置及制造方法
- 一种光学零件加工与检测一体化制造装置及制造方法，属于光学零件加工领域，本发明为解决现有光学零件加工大多采用离线测量方式，加工效率低；现有的光学零件加工设备无法满足在线测量的要求的问题。本发明的工件主轴、刀具主轴和剪切干涉...
- 孙涛王起维韩成顺张龙江李国董申
- 大型非球曲面在位横向剪切干涉检测方法与关键技术研究
- 非球面优良的光学性质使其在许多领域的应用具有不可替代性。长期以来,非球面的超精密加工和检测仍然存在许多困难,尤其是中、大型非球曲面,不但加工精度难以控制,而且成本高、效率低;一块φ300～φ600mm的非球面镜至少需3～...
- 王起维
- 关键词：超精密加工
- 文献传递
- 非球面非零位横向剪切干涉检测与波前重建被引量：3
- 2013年
- 本文分析了非球面非零位检测中3种典型的非球面度及其变化率、调整误差、回程误差以及干涉仪系统误差,提出了非球面度变化率是影响检测误差的主要因素,并给出了非球面非零位检测面形加工误差的确定方法.对基于Zernike多项式拟合的最小二乘法和系数转换法进行了对比研究,分析了剪切量和多项式拟合阶数对波前重建精度的影响,并给出了数值模拟结果.为了验证以上方法的可行性及检测精度,针对一单点金刚石车削的抛物面反射镜,利用顶点球作为测试波前进行非零位横向剪切干涉检测,并用最小二乘法进行波前重建.实验结果表明,在非球面度变化率最大的反射镜边缘处面形误差最大,达到0.203μm,研究结果为横向剪切干涉仪用于非球面加工过程中在位检测提供了技术支撑.
- 王起维董申孙涛韩成顺Shekhtman V N
- 关键词：非球面检测
