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王富珍
作品数:
2
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供职机构:
永济电机厂
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相关领域:
电子电信
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合作作者
张德贤
西安交通大学
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王富珍
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张德贤
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1篇
1996
1篇
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晶闸管台面保护用液相钝化加溅射工艺的研究
王富珍
王丽莲
张德贤
关键词:
晶闸管
钝化
溅射
液相
硅
无机保护用硅晶闸管的研究
1996年
研究了直流溅射造成硅器件性能劣化的原因,探讨了用液相钝化预处理能提高溅射合格率的机理,提出了避免劣化的方法.试验证明。
张德贤
王富珍
王丽莲
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