沈锋
- 作品数:75 被引量:271H指数:10
- 供职机构:中国科学院光电技术研究所更多>>
- 发文基金:国家高技术研究发展计划国家自然科学基金国防科技技术预先研究基金更多>>
- 相关领域:电子电信机械工程理学自动化与计算机技术更多>>
- 曲率波前传感器波前重构算法的研究被引量:8
- 2005年
- 运用衍射理论计算出两个离焦面上的光强分布,从而获得波前曲率和孔径边缘的波前径向倾斜。根据Zernike多项式的微分特性,采用两种不同的方法分别处理曲率和倾斜,使用积分的方法解决了在边界上δ函数很难处理的问题。由探测器的几何分布预先算出控制矩阵,用Zernike多项式曲线拟合的方法重构出波前。计算机仿真表明,波前残差小于5%,验证了此波前重构算法的可行性。
- 刘若凡沈锋
- 关键词:波前传感器波前重构ZERNIKE多项式
- 夏克-哈特曼波前传感器的探测误差被引量:40
- 1998年
- 夏克—哈特曼(S-H)传感器的探测误差是自适应光学系统的一个主要误差源。本文主要分析了S-H传感器的系统误差和随机误差,其误差源包括:CCD相机的读出噪声和背景电平,探测的像素数以及光子噪声。通过在计算哈特曼传感器子光斑质心时设定一个阈值可以大大提高传感器的探测精度。本文同时列举了实验数据和理论分析结果。
- 姜文汉鲜浩沈锋
- 关键词:自适应光学波前传感器误差分析
- 灰阶掩模实现光学邻近校正及计算模拟研究被引量:9
- 1999年
- 从光学邻近效应产生机理出发,提出用带灰阶衬线的灰阶掩模实现光学邻近效应精细校正的新方法,并指出掩模图形振幅信息的优化,即合理分布掩模图形的空间频谱,可以改善空间像的光强分布并获得高质量的光刻图样。计算表明,校正后的成像图样与理想像的偏差小于0.9%。
- 杜惊雷黄奇忠姚军粟敬钦郭永康崔铮沈锋
- 关键词:光学邻近校正光刻
- 夏克-哈特曼波前传感器的波前相位探测误差被引量:36
- 2000年
- 对夏克 -哈特曼 (Shack- Hartmann)波前传感器的相位探测误差进行了分析 ,并分析了它的理论相位探测极限。分析结果表明 ,夏克 -哈特曼波前传感器的相位探测精度与探测器的噪声水平、探测目标的亮度有关 ,还与被探测对象的特性、孔径波前分割有关。给出了它们的关系表达式。
- 沈锋姜文汉
- 关键词:自适应光学波前传感器相位误差
- 基于连续镜面变形镜生成模式可调的涡旋光束仿真研究被引量:1
- 2022年
- 使用连续镜面变形镜生成涡旋光束,根据涡旋光束相位的螺旋对称结构,变形镜驱动器设计成环形排布,通过生成环形螺旋波前来解决连续镜面变形镜不能拟合奇点的问题。在光路中加入4f滤波系统来滤去高频噪声和次级衍射旁瓣。推导了空间滤波的小孔半径的表达式,这可以保证在滤波过程中尽可能保留主瓣信息,并且完全消除旁瓣。仿真得到了拓扑荷数等于-5~5的无旁瓣的涡旋光束,得到的振幅分布具有破坏性的环形结构,相位分布是比较理想的螺旋结构,而且滤波之后的模式纯度接近理想值。该方法使用的连续镜面变形镜面形变化灵活,可以承受高功率,对于模式可调的高功率涡旋光束的生成有很好的应用前景。
- 唐奥兰斌沈锋
- 关键词:自适应光学涡旋光束空间滤波
- 一种大口径光学镜的夹具
- 本发明公开了一种大口径光学镜的夹具,涉及光学仪器技术领域,包括基板、伸缩臂和固定臂,伸缩臂和固定臂沿基板的周向间隔设置,伸缩臂和固定臂的一端固定于基板上,伸缩臂和固定臂的另一端均伸出基板的边缘且均连接有抵接板,伸缩臂能够...
- 陈柯李新阳胡诗杰罗曦董道爱缪洪波沈锋冯金昊
- 一种自适应光学系统稳定闭环控制方法
- 本发明公开了一种自适应光学系统稳定闭环控制方法,包含杂光的检测、斜率滤波、复原运算、控制运算等过程,通过对杂光的识别、判断处理及对斜率的滤波处理,实现在杂光干扰条件下的稳定闭环控制,本发明利用自适应光学系统中的现有条件,...
- 甘永东梅月沈锋李新阳马瑞浩董道爱缪洪波
- 一种生成高功率涡旋激光的方法和装置
- 本发明涉及一种生成高功率涡旋激光的方法和装置。本发明主要是利用连续表面变形镜来拟合环形的螺旋面形,针对非稳腔激光器出射的环形光场可以直接生成高功率涡旋激光,对于其他激光器出射的实心光场,需要将其预整形为环形光场,再加载到...
- 沈锋唐奥兰斌
- 点光源哈特曼最优阈值估计方法研究被引量:4
- 2017年
- 针对夏克-哈特曼波前传感器探测系统中噪声随时间及空间变化频率较快的特点,为了准确估计系统的最优阈值,根据高斯光斑与噪声的分布特性,提出一种以滑动窗口内像素均值及图像信号的局部梯度作为参数,构造关于噪声权重函数的方法,由此获得子孔径阈值的最优估计值,并详细分析了算法的基本原理和实现过程.以典型处理方法获取的阈值与理论最优阈值的误差作为评价标准,仿真和实验结果表明本文提出的阈值估计方法在不同信噪比、不同光斑大小的条件下,均能取得优于典型阈值处理方法获得的结果,且与理论最优阈值的误差小于10%.
- 周睿魏凌李新阳王彩霞李梅沈锋
- 关键词:最优阈值权重函数
- 基于多环完美涡旋光束的高维数字信号编解码方法与系统
- 本发明涉及一种基于多环完美涡旋光束的高维数字信号编解码方法与系统。本发明利用完美涡旋光束光环半径不随轨道角动量变化的特性,提出将轨道角动量模式和空间位置信息两个独立的维度同时作为编码特征,即轨道角动量编码与空分复用结合,...
- 沈锋唐奥熊光昀兰斌