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基于微流体技术的FBAR微质量传感器被引量：1: 2013年; 基于微机电系统(MEMS)技术的薄膜体声波谐振器(FBAR)在无线通讯领域取得了巨大的成功后,由于其具备厚度薄,体积小,与IC兼容及谐振频率和灵敏度都远高于传统的微质量传感器(如石英晶体微天平)等优势,逐渐在微生物分子检测方面崭露头角。由于微生物分子大都生存于液体环境,而纵波模式下FBAR微质量传感器在液体环境中声波损耗大,其品质因数Q值只有3.53。因此,该文在分析了纵波模式下FBAR微质量传感器在气相和液相环境中的特性后,针对液相环境中传感器Q值较低问题,设计了一种具有微通道的FBAR微质量传感器,使其Q值达到30.85,增加了近9倍,从而提升了纵波模式下FBAR微质量传感器对液体中微生物分子检测的性能。; 吕启蒙吴光敏楚合群JOHN D Mai陈剑鸣; 关键词：微流体品质因数

纳米晶PZT薄膜叠层型体声波滤波器的研究: 2010年; 设计了一个以纳米晶PZT为压电薄膜的叠层型体声波滤波器（SCFBAF），并在ANSYS11．0中用3D有限元方法对其幅频特性进行仿真与研究，实验结果表明，该SCFBAF工作在682．64MHz时带宽约为280kHz，1781．36MHz时约为320kHz，能满足高工作频率、窄带宽的需要。相比传统滤波器，该种SCFBAF具有可集成和低功耗等优点，将在下一代无线通信射频前端系统中发挥重要作用。; 楚合群陈剑鸣吴光敏周莹; 关键词：体声波滤波器谐振器

一种全金属结构的固态装配型微质量传感器及其制备方法: 本发明公开了一种全金属结构的固态装配型微质量传感器及其制备方法，传感器包括衬底、布拉格反射层、下电极层、压电层、绝缘层、上电极层。本发明采用六或八层布拉格反射层构建全金属固态装配型微质量传感器，通过改变上电极厚度模拟质量...; 楚合群孙一帆赵映景李志刑维嘉欧阳菱静尚彦彤

晶体叠层型薄膜体声波滤波器的研究与仿真: 本文从单层压电振子的MASON等效模型出发，建立了晶体叠层型薄膜体声波滤波器（SCFBAF）的理论模型，并使用压电学理论对SCFBAF的特性进行分析，最后利用ANSYS有限元分析软件进行仿真，得到682.64MHZ 时...; 楚合群陈剑鸣吴光敏周莹; 关键词：体声波滤波器谐振器射频微机电系统有限元仿真; 文献传递网络资源链接

分子印迹型薄膜体声波谐振毒品检测传感器被引量：5: 2013年; 针对毒品探测的需求,对高灵敏度、高选择性及可工作于液相环境中的传感器进行了研究,利用分子印迹技术(MIT),结合薄膜体声波谐振器(FBAR)和微流体(micro fluidics)技术构造了新型传感器。首先,阐述了用分子印迹技术制作FBAR吸附层材料的原理,利用分子印迹技术制备了对特定毒品分子具有专一吸附性的印迹材料,将其作为吸附层涂覆在基于微机电系统(MEMS)及微流体技术的FBAR上。根据压电方程和运动学方程推导出了FBAR压电振子的等效电路及电学端口输入阻抗公式,构建了以AlN为压电材料的微流体结构FBAR毒品检测传感器模型。对该结构的FBAR传感器进行了理论研究和公式推导,并在理论模型的基础上进行了仿真实验,得到了单位面积质量响度达0.8 pg/Hz·cm2的FBAR传感器。得到的实验结果远高于石英晶体微天平这一传统的质量敏感型传感器,可实现对溶液中毒品分子的快速检测。; 陈剑鸣吕启蒙吴光敏楚合群John D Mai; 关键词：薄膜体声波谐振器分子印迹技术

计量器具智能管理系统设计与实现被引量：1: 2014年; 本文设计实现了一种对144个计量器具进行监控和管理的智能化系统,解决非固定场所使用的计量标准器传统人工管理中存在的问题。文章阐述了系统结构、实现原理等技术。系统具有成本低,使用方便等优点。经过测试,系统工作稳定可靠,节约开支,可以在计量相关院所推广使用。; 周莹许澍罗家伟楚合群; 关键词：计量器具智能管理信号采集

一种全金属结构的固态装配型微质量传感器: 本实用新型公开了一种全金属结构的固态装配型微质量传感器，传感器包括衬底、布拉格反射层、下电极层、压电层、绝缘层、上电极层。本实用新型采用六或八层布拉格反射层构建全金属固态装配型微质量传感器，通过改变上电极厚度模拟质量负载...; 孙一帆楚合群赵映景李志刑维嘉欧阳菱静尚彦彤

晶体叠层型薄膜体声波滤波器的设计与仿真研究: 当前无线通信系统正向高工作频率、大数据传输量、多信道和小信道带宽的方向发展,无线通信终端也日趋微型化、集成化和多功能化。这些发展趋势对通信系统中的频率器件提出了更高的要求,当前的滤波器需要具有高工作频率、窄带宽、可片内集...; 楚合群; 关键词：体声波压电薄膜谐振器滤波器有限元; 文献传递

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楚合群