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梅莉莎
作品数:
2
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供职机构:
郑州大学
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相关领域:
金属学及工艺
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合作作者
蔡彬
郑州大学
胡斌
郑州大学
辛荣生
郑州大学
贾晓林
郑州大学
董林
郑州大学
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磁控溅射
机构
2篇
郑州大学
作者
2篇
林钰
2篇
梅莉莎
2篇
董林
2篇
贾晓林
2篇
辛荣生
2篇
胡斌
2篇
蔡彬
年份
1篇
2012
1篇
2011
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金银镶嵌靶材及其薄膜的制备方法
本发明涉及一种金银镶嵌靶材及其薄膜的制备方法。金银镶嵌靶材成分中金占10%-30%、银占70%-90%。靶材制备时先用纯银靶进行磁控溅射获得溅射跑道,开设金槽,然后采用压入方法将金镶嵌到金槽内。制备合金薄膜时在磁控溅射条...
辛荣生
贾晓林
蔡彬
林钰
董林
胡斌
梅莉莎
金银镶嵌靶材及其薄膜的制备方法
本发明涉及一种金银镶嵌靶材及其薄膜的制备方法。金银镶嵌靶材成分中金占10%-30%、银占70%-90%。靶材制备时先用纯银靶进行磁控溅射获得溅射跑道,开设金槽,然后采用压入方法将金镶嵌到金槽内。制备合金薄膜时在磁控溅射条...
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