梁凤超
- 作品数:44 被引量:84H指数:6
- 供职机构:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所更多>>
- 发文基金:国防科技技术预先研究基金中国科学院国防科技创新基金中国科学院长春光学精密机械与物理研究所创新工程资助项目更多>>
- 相关领域:电子电信自动化与计算机技术理学金属学及工艺更多>>
- 一种高性能频率选择雷达罩
- 一种高性能频率选择雷达罩,属于隐身技术领域,为了解决现有技术中单屏FSS结构在设计上的不足以及双侧介质加载FSS、双屏FSS由于结构复杂工艺难度大而难于实现FSS工程化的不足,提供一种用于飞行兵器隐身的高性能频率选择雷达...
- 王岩松高劲松陈新梁凤超冯晓国
- 文献传递
- 深凹曲面上导电网格相对电阻接触测量头及其测量方法
- 深凹曲面上导电网格相对电阻接触测量头及其测量方法。属于深凹曲面上测量金属网栅膜的相对电阻的测量工具和方法。电阻接触测量头的结构及连接关系:电极安装在卡簧上,支撑卡簧通过压簧调节接触应力的滑杆,外套为电极和滑杆提供支撑和运...
- 冯晓国高劲松梁凤超赵晶丽
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- 小型化吸波结构四频平面微带天线
- 小型化吸波结构四频平面微带天线,解决了现有技术中微带天线体积大,聚拢收集作用差,不适于多个频段的问题。该天线包括:介质基板;设定在介质基板上表面并用于接收电磁波的馈电线;与馈电线相连并用于辐射电磁波的四枝节辐射单元,设定...
- 汤洋高劲松王岩松梁凤超徐念喜陈新
- 文献传递
- 凹球面网栅激光直写设备伺服控制系统的研究
- 梁凤超
- 关键词:激光直写自动调焦模糊控制
- 凹球面涂布光刻胶均匀性研究被引量:6
- 2009年
- 通过对离心法在凹球面上涂布光刻胶过程进行分析,阐明了离心状态下光刻胶在凹球面基底上的流动机理,结合试验提出影响凹球面涂布光刻胶膜厚均匀性的主要因素有胶液粘度、旋涂速度、旋涂时间,列举了以上因素引起的各种现象,并进行了理论分析。引用凹球面旋涂光刻胶的膜厚公式,建立了膜厚与速度关系数学模型;利用流体力学原理解释了有限圆形空间中流体速度对膜层均匀性的影响,从而解决了大曲率凹球面上制备微细图形结构的关键工艺问题,对非球面上制备微细图形具有借鉴作用。
- 赵晶丽王惠卿冯晓国梁凤超
- 关键词:光刻胶涂胶旋涂
- 临界角法激光直写聚焦伺服系统静态特性研究被引量:3
- 2011年
- 为同时提高金属网栅屏蔽效率及红外透过率,要求激光直写线条细且均匀。而工件面型误差、光刻胶涂布不均匀性、机械轴系误差等会造成写入焦斑离焦,影响线条线宽及均匀性。需引入聚焦伺服系统来实时探测并补偿离焦,确保写入光束实时聚焦在光刻胶面上。给出了临界角法调焦的原理,搭建了由探焦光路、离焦信号前放、压电陶瓷微位移执行机构组成的聚焦伺服系统,进行了离焦误差静态特性实验研究。实验结果表明:系统的静态分辨力为±40 nm,线性范围为±5μm,均满足设计要求。
- 梁凤超
- 关键词:隐身技术激光直写自动调焦伺服系统
- 凹球面激光直写系统电控误差分析
- 高精度激光直写技术是光、机、电综合运用的前沿技术,广泛应用于精密仪器、设备等高新技术领域.而减小电控误差是凹球面激光直写技术的难点.介绍了凹球面自动调焦激光直写系统原理,分析了步进电机驱动的凹球面激光直写系统的电控误差,...
- 梁凤超胡君
- 关键词:步进电机激光直写自动调焦
- 文献传递
- ZnS光窗上增透与带通频率选择表面组合膜设计被引量:6
- 2010年
- 为满足红外和雷达复合制导飞行器带外隐身的要求,设计了一种ZnS基底上的红外高通雷达带通的频率选择表面(FSS)组合膜。设计并分析了作为初始结构的电感性网栅薄膜,运用含阻抗边界条件的谱域Galerkin法分析了网栅膜基底上的开孔十字FSS结构,该结构谐振频点为31.75GHz,透射率为-0.38dB,其对应的理想导体(PEC)表面FSS的谐振频点为33GHz;为提高此组合结构的红外透射率,运用薄膜光学理论设计了由YbF3与ZnSe两种膜料组成的红外增透膜,膜层厚度为1.085μm。结合光刻与镀膜工艺制作了实验件,测试表明,该组合薄膜在测试雷达频段平均传输系数小于-7.51dB(谐振频点外),在谐振频点31.5GHz的透射率达到了-0.63dB;在长波红外平均透射率达到了87.95%。
- 朱华新冯晓国赵晶丽梁凤超王岩松陈新高劲松
- 关键词:滤波器频率选择表面透明导电膜阻抗
- 曲率对柱面频率选择表面传输特性的影响
- 2013年
- 曲面频率选择表面(FSS)部件处于天线的非均匀照射下,容易造成传输特性对角度响应的不稳定。本文通过设计了一种柱面FSS结构,并利用时域有限差分法,研究了分别以圆环型、十字型和Y型单元构成柱面FSS结构下,曲率对其传射特性的影响。结果显示,随着曲率半径的减小,柱面FSS频点向低频漂移,透过率降低,其中以Y型单元的性质相对稳定。
- 梁凤超汪剑波王佳欢孙贯成
- 关键词:频率选择表面柱面曲率时域有限差分法
- 一种角度稳定性高的密集排布型十字环带通频率选择表面
- 一种角度稳定性高的密集排布型十字环带通频率选择表面属于微波技术领域,该频率选择表面以十字环为谐振单元,一个局部周期单元内存在两个等效十字环,每个局部周期单元的中心点处有一个完整十字环,各个顶点处有四分之一的十字环;局部周...
- 梁凤超焦健高劲松王岩松陈新
- 文献传递