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杨丽颍

作品数：1 被引量：1H指数：1
供职机构：吉林大学电子科学与工程学院更多>>
发文基金：国家自然科学基金更多>>
相关领域：电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇电子电信

主题

  • 1篇计算机
  • 1篇计算机辅助设...
  • 1篇辅助设计
  • 1篇半导体
  • 1篇半导体材料
  • 1篇MOCVD

机构

  • 1篇吉林大学

作者

  • 1篇张冶金
  • 1篇汪爱军
  • 1篇杨丽颍
  • 1篇刘式墉
  • 1篇陈维友

传媒

  • 1篇固体电子学研...

年份

  • 1篇1999
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
MOCVD反应室的计算机辅助设计被引量：1
1999年
给出了ＭＯＣＶＤ反应室流体力学的模拟方法，介绍一个ＭＯＣＶＤ反应室设计软件。该软件通过模拟反应室内的气流分布、压力分布和温度分布情况，可用来检验现有反应室结构的合理性及设计新型反应室结构。作为分析实例，对入口区扩散气流对整个反应室气流分布的影响作了简单讨论。
陈维友杨丽颍张冶金曹晓光汪爱军刘式墉
关键词：计算机辅助设计半导体材料MOCVD
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共1页<1>
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