李晓伟 作品数:18 被引量:43 H指数:4 供职机构: 天津理工大学电子信息工程学院天津市薄膜电子与通信器件重点实验室 更多>> 发文基金: 国家自然科学基金 天津市科技计划 天津市高等学校科技发展基金计划项目 更多>> 相关领域: 理学 环境科学与工程 电子电信 一般工业技术 更多>>
金刚石薄膜压力和温度传感器研制 常明 陈希明 曲长庆 吴小国 朱宁 宁延一 李晓伟 熊英 潘鹏 李燕 杨保和 探索出利用灯丝法CVD制取应力敏元件的掺硼金刚石的合成工艺参数,表面处理、退火工艺与组织结构及各项性能间变化规律,为压力和热敏元件的合成、应用、生产提供实验和理论依据;研制出掺硼金刚石薄膜压力和热敏元件(根据掺硼金刚石薄...关键词:关键词:金刚石薄膜 压力传感器 温度传感器 硼掺杂金刚石电极及其电分析应用 被引量:20 2011年 一种新电极材料的发明往往会推动电分析测试的发展。硼掺杂金刚石(BDD)电极在电分析中具备宽电势窗口、低背景电流、耐腐蚀稳定性高和低吸附的特点,因而在电分析化学中引起了广泛的兴趣。本文对BDD电极的制备、表征和基本电分析性质进行了介绍,并对其在毛细管电泳、生物传感电极、痕量金属离子检测、化学修饰电极及化学需氧量快速测定方面的应用进行了综述。 高成耀 常明 李晓伟 李翠平关键词:毛细管电泳 电化学生物传感器 化学修饰电极 大面积均匀平坦纳米AlN薄膜的研制 2013年 采用射频磁控溅射法,通过优化沉积工艺,在n型(100)Si片上制备出(100)择优取向表面粗糙度均匀的氮化铝(AlN)薄膜。当溅射功率为120 W和N2∶Ar=12∶8时,制备的AlN薄膜的结晶性最好,101.6mm AlN薄膜样品的表面粗糙度为3.31-3.03nm,平均值为3.17nm。研究结果表明:射频磁控溅射能量和N2浓度是实现大面积、均匀平坦、纳米级AlN薄膜的重要制备工艺参数。 朱宇清 陈希明 李福龙 李晓伟 杨保和关键词:表面粗糙度 均匀性 适用于金刚石热沉膜片的薄膜沉积系统装置 本发明是一种适用于金刚石热沉膜片的薄膜沉积系统装置。本发明主要由真空室、真空泵抽与测量系统、水冷系统、气路系统和电控系统等组成。其特征是在真空室圆形电极的下方设置一个样品转台,二者组成电容式射频电极。在电容式电极间平行加... 杨保和 李晓伟 熊瑛 吴晓国 曲长庆文献传递 Ta衬底B掺杂金刚石薄膜电极极化特性 被引量:8 2009年 研究了热丝化学气相沉积(HFCVD)方法在Ta衬底上制备B掺杂金刚石(BDD/Ta)薄膜电极的极化特性。扫描电镜(SEM)和Raman光谱显示,BDD/Ta薄膜电极具有较好的成膜质量。电化学测试表明,BDD/Ta薄膜电极具有比常规电极如Pt、IrO2和RuO2更宽的电势窗口,在Na2SO4溶液中的电势窗口为4.1V(-1.8V~+2.3V vs SCE),电势窗口受沉积C源浓度和支持电解液PH值的影响。BDD/Ta薄膜电极在[Fe(CN)6]3-/4-体系中电化学反应具有良好的准可逆性,其动力学主要是受扩散过程所控制。紫外-可见吸收光谱显示,BDD/Ta薄膜电极能够有效阳极电催化降解苯酚,降解过程中化学需氧量(COD)去除率达98.6%。 高成耀 常明 李晓伟关键词:循环伏安 交流阻抗 适用于金刚石热沉膜片的薄膜沉积系统装置 本发明是一种适用于金刚石热沉膜片的薄膜沉积系统装置。本发明主要由真空室、真空泵抽与测量系统、水冷系统、气路系统和电控系统等组成。其特征是在真空室圆形电极的下方设置一个样品转台,二者组成电容式射频电极。在电容式电极间平行加... 杨保和 李晓伟 熊瑛 吴晓国 曲长庆文献传递 基于X射线sin^2φ法的择优取向金刚石膜残余应力分析 被引量:1 2010年 X射线sin2φ法是薄膜残余应力分析中比较理想的测量手段,但择优取向的存在导致薄膜各向异性,从而会影响测试曲线2~sin2φ的线性关系,表现为曲线的震荡现象。本文利用化学气相沉积(CVD)技术制备(110)择优取向金刚石膜样品,采用X射线sin2φ法对样品残余应力进行测试,通过合理选择衍射晶面和φ角避免择优取向对测量结果的影响,使测试曲线保持良好的线性。然后基于双金属和薄片弯曲理论模型对膜内热应力进行计算,进而得出样品内本征应力状态和大小。结果表明:金刚石薄膜内热应力总为压应力,择优取向使得晶粒排布的有序程度大大提高,本征应力主要来源于杂质的压应力,二者综合作用使得总残余应力表现为受压;随薄膜厚度增加,总应力绝对值变大,其中热压应力绝对值变小甚微,本征压应力绝对值增加显著。 李晓伟 常明关键词:金刚石膜 残余应力 金刚石膜电极的电化学研究 概述了电化学水处理方法、高硼掺杂金刚石膜电极的电化学研究。介绍了高硼掺杂金刚石膜电极的制备、金刚石膜电极在无机和有机废水处理方面的应用。实验表明金刚石膜电极对有代表性的污水具有明显的降解作用,可与其它处理方式结合。 潘鹏 孙伟 曲长庆 李晓伟 常明关键词:金刚石膜电极 电化学 硼掺杂 文献传递 一种过滤有机废水的复合型微孔滤膜制备方法 一种过滤有机污染物废水的复合型微孔滤膜制备方法,通过在多孔材料上沉积钽膜、掺杂金刚石薄膜,制备出具有良好导电特性的BDD-Ta-Ti复合型微孔滤膜,步骤包括:1)衬底预处理;2)钽膜溅射;3)掺杂金刚石薄膜制备:在沉积金... 李晓伟 田成璐 常明文献传递 抑制多孔钛基掺硼金刚石薄膜电极中碳化钛生成的方法 一种抑制多孔钛基掺硼金刚石薄膜电极中碳化钛生成的方法,采用在电解质溶液中的阳极氧化技术,使多孔钛衬底表面形成钝化层,步骤如下:1)将多孔钛基底分别用丙酮和去离子水超声清洗后干燥;2)将金刚石粉末均匀涂抹在多孔钛基底表面,... 李晓伟 田成璐 常明文献传递