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李成斌

作品数：4 被引量：4H指数：1
供职机构：大连理工大学更多>>
相关领域：化学工程更多>>

合作作者

文献类型

  • 3篇专利
  • 1篇学位论文

领域

  • 1篇化学工程

主题

  • 4篇电铸
  • 3篇微电铸
  • 2篇真空
  • 2篇真空退火
  • 2篇退火
  • 2篇微结构
  • 2篇微器件
  • 2篇金属
  • 1篇电铸镍
  • 1篇度条件
  • 1篇套刻
  • 1篇内应力
  • 1篇镍金属
  • 1篇清洗机
  • 1篇煮沸
  • 1篇密度条件
  • 1篇光洁度
  • 1篇铜
  • 1篇MEMS技术
  • 1篇表面光洁度

机构

  • 4篇大连理工大学

作者

  • 4篇李成斌
  • 3篇杜立群
  • 3篇王翱岸
  • 1篇刘冲
  • 1篇刘剑飞
  • 1篇徐征
  • 1篇宋满仓

年份

  • 1篇2016
  • 3篇2013
共 4 条 记 录，以下是 1-4
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排序方式：
电铸铜、镍金属微器件的工艺研究
随着MEMS技术的发展，国防、半导体及生物工程等领域对金属微器件的需求日益强烈，同时，与UV-LIGA技术密切相关的微电铸工艺也得到了密切的关注。本课题主要研究电铸铜、镍金属微器件的制作工艺，具体包括微注塑模具制作技术、...
李成斌
关键词：MEMS技术
文献传递
一种提高微电铸铸层厚度均匀性的超声辅助电铸方法
一种提高微电铸铸层厚度均匀性的超声辅助电铸方法，属于微制造技术领域，涉及到微电铸金属类，特别涉及到一种提高微电铸铸层厚度均匀性的超声辅助电铸方法。其特征是在超声辅助微电铸的工序中，将装有阴极背板、阳极和电铸液的电铸槽置于...
杜立群刘冲刘剑飞王翱岸李成斌徐征宋满仓
文献传递
一种金属基底上制作多层金属可动微结构的方法
一种金属基底上制作多层金属可动微结构的方法，属于微制造技术领域，涉及金属基底微电铸金属器件类，特别涉及到一种金属基底上制作多层金属可动微结构的方法。其特征是在高纯镍板基底上，通过多次SU-8光刻胶套刻、制备导电层、多次微...
杜立群李成斌王翱岸
文献传递
一种金属基底上制作多层金属可动微结构的方法
一种金属基底上制作多层金属可动微结构的方法，属于微制造技术领域，涉及金属基底微电铸金属器件类，特别涉及到一种金属基底上制作多层金属可动微结构的方法。其特征是在高纯镍板基底上，通过多次SU-8光刻胶套刻、制备导电层、多次微...
杜立群李成斌王翱岸
文献传递
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