朱鹏志
- 作品数:3 被引量:21H指数:2
- 供职机构:北京航天控制仪器研究所更多>>
- 发文基金:国家自然科学基金更多>>
- 相关领域:一般工业技术金属学及工艺更多>>
- 溅射工艺参数对TiAlSiN涂层硬度及膜基结合力的影响被引量:6
- 2016年
- 近年来超硬涂层的出现,为高速切削、干式切削的高质量刀具的发展,提供了契机。本文开展了磁控溅射法制备TiAlSiN涂层的工艺研究,在不同工艺下,获得了厚度2.0-4.0μm的TiAlSiN涂层,运用纳米压入硬度测试仪、划痕仪和洛氏硬度计等对涂层性能进行表征,研究了制备工艺参数对涂层硬度、膜基结合力的影响规律。结果表明:随着氮氩比、沉积温度和基体负偏压的增大,纳米硬度和弹性模量都是先升高后降低。靶基距为8 cm、温度为100℃、氮氩比为1/3、靶电流为1.5 A、基体负偏压为-100 V时涂层的平均纳米硬度超过40 GPa,达到了超硬水平;涂层与高速钢基体的膜基结合力随着靶基距的加大而降低,随着磁控电流的增大而增大;在沉积温度和基体负偏压由低到高变化时,涂层结合力变化趋势一致,都是先升高后降低。
- 马璇李刘合刘红涛许亿马全胜朱鹏志
- 关键词:磁控溅射
- 一种机床刀具微进给测微装置及方法
- 本发明涉及一种机床刀具精加工微进给测微装置及方法,由振动传感器、信号采集及发射器、信号接收及显示器组成。它是利用刀具的刀尖接触到被加工件时会导致刀杆振动,通过检测该振动信号的原理实现测微的。其中振动传感器将检测到的振动信...
- 段荣马琪薛凤举朱鹏志李卫国赵睿
- 文献传递
- TiAlSiN涂层刀具的发展与应用被引量:15
- 2014年
- 为满足更加复杂的工业应用需求,在现有刀具涂层中添加其他元素来改善涂层的力学性能,成为目前刀具涂层领域研究的热点。用多弧离子镀和磁控溅射等PVD方法,在TiAlN基中加入Si元素制备的TiAlSiN刀具涂层具有特殊的纳米结构,表现出了更加优异的力学性能、热稳定性和抗氧化性,适合于高速和干式切削,引起了极大的关注,具有广泛的应用前景。本文对TiAlSiN刀具涂层的组织结构、性能特点和制备方法,以及TiAlSiN涂层刀具的应用做了系统的介绍。
- 朱鹏志朱颖李刘合
- 关键词:PVD涂层刀具力学性能