曾毅波
- 作品数：27 被引量：58H指数：5
- 供职机构：厦门大学更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金福建省重大科技项目教育部“新世纪优秀人才支持计划”更多>>
- 相关领域：电子电信电气工程机械工程金属学及工艺更多>>
- 一种用于混合抛光液的机械分散方法
- 一种用于混合抛光液的机械分散方法。在无添加化学分散剂的前提下，基于混频，既中低频和高频超声相结合对于混合抛光液中磨料进行有效分散；混频频率的选择，其中混频中低频率为25～45KHz，可把数十微米至数微米的团聚磨料分散成数...
- 曾毅波
- 微型电容式压力传感器硅基薄膜的设计与制备被引量：3
- 2013年
- 获得均匀、平整的硅基薄膜是制备出高灵敏度的微型电容式压力传感器的关键步骤.首先在理论分析的基础上,确定了微型电容式压力传感器的基本参数,而后在制备中,发展了一种新型的硅基薄膜制作方法,即利用硅-玻璃键合工艺,结合浓KOH溶液超声腐蚀与化学机械抛光的方法,得到了厚度为10μm的均匀、平整的硅基薄膜,为制备微型压力传感器奠定了工艺基础,也可用于其他微机电系统(MEMS)压力传感器.
- 陶也曾毅波刘畅林杰郭航
- 关键词：微机电系统电容式压力传感器硅薄膜化学机械抛光
- 硅基微型直接甲醇燃料电池的研究
- 硅基微型直接甲醇燃料电池(简称μ-DMFC),具有发电效率高、能量密度大、环境污染少、安全、携带方便等优点,在小型民用电源和单兵携带电源上具有广泛的应用前景。本论文研究运用MEMS(微机电系统)技术,对μ-DMFC进行整...
- 曾毅波
- 关键词：微机电系统燃料电池封装结构
- 一种微型直接甲醇燃料电池的制作与测试
- 2012年
- 微型直接甲醇燃料电池(micro direct methanol fuel cell,μ-DMFC)具有发电效率高、环境污染少、安全、携带方便等优点,在小型民用电源和单兵携带电源上具有广泛的应用.讨论了微型直接甲醇燃料电池(micro direct methanol fuelcell,μ-DMFC)的特点,研究了运用微机电系统(micro-electro-mechanical systems,MEMS)工艺,设计并且制作μ-DMFC的过程.主要是运用MEMS工艺制作μ-DMFC的流场板;制备膜电极(membrane electrode assembly,MEA);通过改进μ-DMFC的封装结构,采用聚二甲基硅氧烷(polydimethylsiloxane,PDMS)和金属夹具对μ-DMFC进行封装,有效地避免甲醇的渗漏;并且通过测试μ-DMFC的I-V特性,比较了不同封装结构下,μ-DMFC的电性能.实验结果表明,封装结构改进后的μ-DMFC,最大电流密度为14.82mA/cm2,最大输出功率为0.661mW.
- 曾毅波刘俊陈观生郭航
- 关键词：微机电系统微型直接甲醇燃料电池封装
- 化学气相沉积法制备单层石墨烯的优化被引量：5
- 2017年
- 作为碳原子家族的最新成员,二维结构的石墨烯具备优异的物理化学性质和广阔的应用前景,成为新材料研究领域的热点研究对象。对化学气相沉积(CVD)法进行了优化,成功制备得到了高质量的单层石墨烯。优化后的实验工艺为:首先对铜箔进行化学抛光和退火预处理;然后将预处理后的铜箔加工成荷包状;氢气(H2)氛围下,以甲烷(CH4)为碳源,对石墨烯进行化学气相沉积;当甲烷和氢气体积流量分别为10 cm3/min和20 cm3/min时,在1 030℃条件下生长20 min制备得到最终样品。扫描电子显微镜(SEM)和激光喇曼光谱表征的结果显示:该方法制备的样品为大面积连续的单层石墨烯。
- 毕瑞可张杰吴玉玲曾毅波张为中郭航
- 关键词：石墨烯
- 基于Fluent的微型直接甲醇燃料电池阳极流场结构分析被引量：2
- 2013年
- 微型直接甲醇燃料电池中阳极流场结构对电池的性能有着重要的影响。为了合理设计阳极流场结构,改善甲醇燃料在阳极流场中的分布,采用计算流体动力学(CFD)软件Fluent对微型直接甲醇燃料电池进行建模并仿真分析。分析比较了点型、平行和蛇形3种不同流场图案下得到的压降与流速分布,得出蛇形流场能够更有利于甲醇燃料的均匀分配。在此基础上分别建立不同流道宽度(800,400,200,100μm)的蛇形流场模型,通过仿真计算甲醇燃料的分布情况来分析其对燃料电池性能的影响,并结合实验结果进行对比得出流道宽度为200～400μm之间为优化值。
- 陈观生曾毅波刘俊赵祖光林杰郭航
- 关键词：微型直接甲醇燃料电池流场结构计算流体动力学FLUENT
- 超声技术在硅湿法腐蚀中的应用被引量：9
- 2009年
- 为了获得平滑的硅湿法腐蚀表面，在硅湿法腐蚀中引入超声技术。对超声湿法腐蚀系统进行了改进，以确保腐蚀溶液的顶部和底部温差在0．5℃之内。采用60℃，10％质量分数的KOH溶液，在超声频率为59kHz，超声功率为60～180w（间隔10W）条件下对（100）硅片进行湿法腐蚀。最后，运用激光共聚焦扫描显微镜（LSCM）对腐蚀后硅片表面粗糙度进行测量，并探讨超声参数的选择对腐蚀表面质量的影响。实验结果表明：超声功率在120W时，可以获得平滑的腐蚀表面，表面粗糙度Rq值为0．020um。在湿法腐蚀系统中采用超声技术，可以明显改善腐蚀表面质量，在较低温度和较低浓度的KOH溶液中，选择合适的超声参数可获得高品质的腐蚀表面。
- 曾毅波王凌云谷丹丹孙道恒
- 关键词：湿法腐蚀超声技术表面粗糙度激光共聚焦扫描显微镜微机电系统
- 音箱前壳注塑模具的改进设计
- 2007年
- 分析音箱前壳塑件工艺性和模具设计中的难点。提出了塑件结构和模具结构的改进方案，避免塑件注不满、黏定模等缺陷。详细介绍型腔表面电火花加工技术和浇口设计方案。
- 曾毅波张艳蒋书森
- 关键词：潜伏浇口
- 采用硅和PDMS的堆栈式微型直接甲醇燃料电池的设计和制作被引量：5
- 2013年
- 在堆栈式微型直接甲醇燃料电池μ-DMFC(Micro-Direct Methanol Fuel Cell)中,为了避免硅基流场板因为封装压力过大而破裂,采用了硅和PDMS(Polydimethylsiloxane,聚二甲基硅氧烷)材料分别制作阳极和阴极流场板。首先,采用微机电系统MEMS(Micro-Electro-Mechanical Systems)技术制作硅基阳极流场板。其次,通过铜箔与阴极流场板一体成型、有机清洗和PDMS表面活化等改进措施显著提升了PDMS阴极流场板金属化的能力。最后,比较和分析阳极流场板上3种不同结构的流道形式的堆栈式μ-DMFC的输出性能。实验结果表明,活化后的PDMS阴极流场板与Cr/Au的粘附性能和粘接强度显著提高,同时阳极流场板的流道一半开设为凸台,一半开设为通孔时,其堆栈式μ-DMFC的输出性能最优。最大输出电流密度为81.25 mA/cm2,最大输出功率为7.73 mW/cm2。采用硅和PDMS材料分别制作流场板,不仅简化了堆栈式μ-DMFC的结构,而且能够缓冲锁紧力,有效保护硅基阳极流场板。同时优化阳极流场板上的流道结构,能够有效提升堆栈式μ-DMFC的输出性能。
- 曾毅波陈观生赵祖光刘畅刘俊王婷婷郭航
- 关键词：微机电系统金属化
- 用于承载铷原子钟滤光泡的高品质微腔体制备被引量：3
- 2014年
- 在芯片级铷原子钟中,需要微腔体来承载Rb—87滤光泡,为此,提出了一种用于制作高品质微腔体的新技术。为了获得光滑的腔体侧面和避免腐蚀过程中凸角处产生削角现象,研究中采用了超声腐蚀技术和凸角补偿技术。首先,分别在纯KOH溶液,并结合搅拌和超声等方法,对(100)硅片进行湿法腐蚀,并运用激光共聚焦扫描显微镜对腐蚀后的{111}表面进行粗糙度测量,表明运用超声腐蚀技术可以获得光滑的{111}腔体侧面。在此基础上,引入条形掩模凸角补偿方法进行微腔体腐蚀。实验结果表明:在80℃、质量分数为30%KOH、超声频率和功率分别为59 kHz和160 W的溶液中腐蚀,其{111}腐蚀表面粗糙度为0.117μm,同时条形的长度取1200μm时,可以获得平滑规整的微腔体。
- 王婷婷曾毅波王盛贵魏秀燕毕瑞可郭航
- 关键词：激光共聚焦扫描显微镜凸角补偿
