徐临燕
- 作品数：38 被引量：61H指数：5
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- 相关领域：机械工程自动化与计算机技术一般工业技术电子电信更多>>
- 基于原子力显微镜力曲线的纳米梁厚度的非破坏测量方法
- 一种基于原子力显微镜力曲线的纳米梁厚度的非破坏测量方法，先通过扫描测量获取纳米梁区域的三维形貌信息，得到纳米梁上表面与基底之间的距离；再缩小扫描范围，将原子力显微镜探针精确定位在双端固支纳米梁的表面几何中心或纳米悬臂梁上...
- 栗大超徐临燕傅星胡小唐
- 文献传递
- 基于扭转谐振模式3D-AFM的微结构侧壁形貌检测
- 2016年
- 针对半导体器件微结构侧壁关键尺寸检测需求,设计了一套三维原子力显微镜(3D-AFM)系统.该系统采用针尖末梢为喇叭口形的悬臂梁探针,以扭转谐振模式实现横向轻敲扫描.介绍了该3D-AFM系统的结构组成和工作原理,对系统的横向检测灵敏度进行了标定,获得了喇叭口针尖与样品侧壁横向接近过程中探针扭转振幅的变化曲线.利用该系统对栅格标样侧壁局部形貌进行了线扫描和面扫描,所得轮廓具有较好的重复性,且测量所得形貌特征与常规轻敲模式扫描结果一致,表明本文所述3D-AFM系统及工作模式能够用于微结构侧壁形貌的检测.
- 刘璐徐建国吴森张锐徐临燕胡晓东
- 关键词：原子力显微镜
- 基于碳纳米管探针的超高真空快速扫描探针显微方法
- 本发明属于扫描探针显微术领域,涉及一种基于碳纳米管探针的超高真空快速扫描探针显微方法，包括：将碳纳米管固定于扫描隧道显微镜的探针端部；标定碳纳米管探针在Z向的场发射电流灵敏度曲线族；将碳纳米管探针固定到探针夹持器中，调整...
- 徐临燕傅星胡小唐
- 文献传递
- 一种光束跟踪式原子力显微镜扫描测头
- 一种光束跟踪式原子力显微镜扫描测头，是由光学检测模块和扫描模块构成，扫描模块有：进行水平一维扫描运动的Y向一维扫描机构和固定连接在Y向一维扫描机构上能够进行垂直一维扫描运动的Z向一维扫描机构，Z向一维扫描机构上固定有悬臂...
- 吴森胡晓东胡小唐徐临燕
- 文献传递
- 纳米梁谐振器的测试与表征方法研究
- 本论文在调研和分析NEMS测试技术研究现状的基础上，确定以一种重要的NEMS器件—纳米梁谐振器为测试对象，以原子力显微镜(AFM)和显微激光多普勒测振系统为测试平台开展NEMS力学特性和动态特性技术的研究，并将测试结果作...
- 徐临燕
- 关键词：原子力显微镜残余应力
- 文献传递
- 利用显微激光多普勒测量纳米梁的残余应力被引量：5
- 2009年
- 采用基于显微激光多普勒(MicroLD)技术的共振频率法,测量了纳米梁谐振器的残余应力。首先,根据梁的横向弯曲振动理论建立了轴向力作用下固支梁的振动偏微分方程,并根据轴向力的拉压性质解得方程的唯一解形式。随后,由被测梁的应力状况确定可采用最优化方法或数值迭代方法计算残余应力值,并提出结合有限元模态分析方法验证计算结果的正确性。最后,采用MicroLD测振系统对SiC-W固支梁谐振器的幅频响应特性进行了测试。计算结果表明,被测的一组梁的平均残余应力分散性较大,说明加工工艺不能消除结构内的残余应力,且不能控制残余应力的均匀性。
- 徐临燕栗大超刘瑞鹏邱晗傅星胡小唐
- 关键词：残余应力共振频率法
- 原子力显微镜的Z扫描器和探针装置及探针装置安装器
- 原子力显微镜的Z扫描器和探针装置及探针装置安装器，装置有Z扫描器和连接在Z扫描器下面的探针装置，Z扫描器有由下至上依次设置的环形铁片、环形压电陶瓷片和环形磁铁，环形铁片、环形压电陶瓷片和环形磁铁同轴设置，内周共同构成通光...
- 刘璐吴森胡晓东徐临燕胡小唐
- 基于显微激光多普勒的纳结构振动特性测试被引量：5
- 2008年
- 为了分析NEMS典型器件静电激励纳米梁谐振器的振动特性,建立了测试中的关键模型:静电激励纳米梁谐振器的等效电学模型、纳米梁谐振器的等效机械模型,以及静电激励纳米梁谐振器在受激状态下受到的静电力与静电激励的相互关系模型。利用基于显微激光多普勒的纳结构离面振动测试系统,对静电激励纳米梁谐振器的离面振动特性进行了测试,测试结果验证了建模的正确性,同时对NENS加工工艺进行了评价和表征。
- 徐临燕栗大超邱晗胡小唐赵大博
- 关键词：谐振频率
- 基于弯曲测试的纳米结构机械力学特性的表征
- 本文利用原子力显微镜对聚焦离子束刻蚀技术制备的不同纵横比的氮化硅纳米梁结构进行了弯曲测试,并讨论了一种标定原子力显微镜微悬臂梁弹簧常数的方法.实验中严格界定了欧拉细长梁的条件,在分析了纳米梁组纵横比对测试结果影响的基础上...
- 徐临燕栗大超胡小唐张海霞黄玉波
- 关键词：原子力显微镜力学性能杨氏模量
- 文献传递
- 一种适用于高速扫描的原子力显微镜系统
- 一种适用于高速扫描的原子力显微镜系统，包括有搭载在垂直升降电机上的用于对样品进行水平方向一维扫描的X向扫描器，还设置有对应于样品用于对样品进行Y、Z向扫描的二维扫描模块，以及与所述的二维扫描模块光路连接用于对样品进行光学...
- 吴森胡晓东徐临燕胡小唐刘璐
