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张科军
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中国科学院合肥物质科学研究院
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合作作者
戴建明
中国科学院合肥物质科学研究院
吴文彬
中国科学院合肥物质科学研究院
孙玉平
中国科学院合肥物质科学研究院
刘亲壮
中国科学院合肥物质科学研究院
盛志高
中国科学院合肥物质科学研究院
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作者
4篇
孙玉平
4篇
张科军
4篇
吴文彬
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戴建明
2篇
朱雪斌
2篇
邹键
2篇
方军
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盛志高
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刘亲壮
年份
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2015
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强磁场下脉冲激光沉积薄膜制备系统
本发明公开了一种强磁场下脉冲激光沉积薄膜制备系统,包括超导磁体、真空室、准分子脉冲激光器、激光束聚焦与扫描、高真空机组及各种控制系统等组成。真空腔内设有基片台、可旋转和升降的靶台等。在真空室内设有遮挡板,避免靶材的交叉污...
戴建明
方军
张科军
吴文彬
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强磁场下脉冲激光沉积薄膜制备系统
本发明公开了一种强磁场下脉冲激光沉积薄膜制备系统,包括超导磁体、真空室、准分子脉冲激光器、激光束聚焦与扫描、高真空机组及各种控制系统等组成。真空腔内设有基片台、可旋转和升降的靶台等。在真空室内设有遮挡板,避免靶材的交叉污...
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强磁场辅助脉冲激光沉积系统
本发明公开了一种强磁场辅助脉冲激光沉积系统,包括脉冲激光器、脉冲激光沉积柱状真空室,脉冲激光沉积柱状真空室包括带水冷却的双层夹套柱状腔,双层夹套柱状腔置入超导磁体的镗孔内;双层夹套柱状腔的一侧法兰盘装有基片加热台或激光加...
戴建明
张科军
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朱雪斌
吴文彬
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强磁场辅助脉冲激光沉积系统
本发明公开了一种强磁场辅助脉冲激光沉积系统,包括脉冲激光器、脉冲激光沉积柱状真空室,脉冲激光沉积柱状真空室包括带水冷却的双层夹套柱状腔,双层夹套柱状腔置入超导磁体的镗孔内;双层夹套柱状腔的一侧法兰盘装有基片加热台或激光加...
戴建明
张科军
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