孙潇
- 作品数：4 被引量：10H指数：3
- 供职机构：西安交通大学理学院光信息科学与技术系更多>>
- 发文基金：教育部“新世纪优秀人才支持计划”国家自然科学基金国家重点实验室开放基金更多>>
- 相关领域：机械工程电子电信理学更多>>
- 一种新的低成本微电子机械系统微针加工方法被引量：3
- 2007年
- 提出了一种新的空心微针阵列加工方法,利用三次同步辐射曝光和显影过程来加工微针．通过无掩膜曝光实现显影腐蚀的侧向扩展,从而获得微针的尖部形状;为克服因同步辐射光源的光束为近似椭圆高斯分布所造成的微针呈椭圆形及微针在各个方向上的强度不均匀问题,采用正交两次曝光方法来补偿同步辐射光源的光束分布不均匀性．这种方法工艺过程非常简单,并且无需任何特殊装置．文中所有实验是在日本立命馆大学的超导压缩存储环同步辐射光源AURORA的第13条线上完成的．实验结果表明,利用这种新方法可以非常方便地加工出高质量的空心微针,实现微针阵列的低成本、批量化制造．
- 贾书海李以贵朱军孙潇
- 关键词：微电子机械系统微针光刻
- 新型MEMS微针设计及其力学性能被引量：7
- 2007年
- 描述了三种新型MEMS微针的结构设计及制备方法.针对微针的实际使用要求,对微针的固体力学性质及微通道内液体的流动情况进行了理论分析和数值模拟.结果表明,所设计的三种微针的强度可以保证安全地进行皮肤注射,且适于进行药剂的微量传输.
- 孙潇贾书海朱军李以贵
- 关键词：微电子机械系统微针有限元
- MEMS微针研究被引量：3
- 2006年
- MEMS微针是目前的一个研究热点,是实现无痛给药、抽血和生化检验集成化的关键。本文探讨了MEMS微针的研究进展,给出了MEMS微针的研究结果,讨论了MEMS微针在实际中应用还应解决的关键问题。
- 贾书海李以贵朱军孙潇
- 关键词：高深宽比
- 一种新型梯度电场控制光开关的原理研究
- 2008年
- 基于LiNbO3晶体的电光效应,提出一种利用外加梯度电场控制的新型1×2电光开关的设计理论。采用理论计算及有限元数值模拟的方法对晶体的电光偏转效果及其内部梯度电场的分布进行了分析,讨论了外加电场强度、晶体尺寸、电极条数等对光线偏转角度的影响。分析结果表明,外加梯度电场可以在LiNbO3晶体内部形成折射率的梯度变化,造成光线逐步偏转,且外加电场强度越大,电极条数越多,偏转角度越大。对尺寸为2 mm×2 mm×4 mm的LiNbO3晶体施加的外部电场最大值在1 kV/mm的量级时,光线总偏转角可达到2°(340 mrad)左右,有效地实现了1×2光开关的效果。
- 孙潇贾书海
- 关键词：非线性光学光开关LINBO3晶体有限元
